Hoogsuiwer 6N CF4/O2-gasmengsel in waterstof- of argonbalans vir halfgeleierplasma-etsingkalibrasie

Navraag

Oorsig
Navraag
Verwante produkte

Oor Produkte

Beklemtoon

Hierdie ultra-hoë suiwerheids 99,9999% (6N) Kalibrasie Mengsel is ’n gespesialiseerde prosesgasoplossing wat spesifiek ontwerp is vir die streng vereistes van halfgeleierplasma-etsprosesse en gevorderde dunlaagprosesse. Deur koolstoftetrafluoried (CF4) en suurstof (O2) presies te meng binne ’n gebalanseerde matriks van waterstof (H2) en argon (Ar), verskaf hierdie mengsel die presiese chemiese sinergie wat benodig word om ets-selektiwiteit en profielanisotropie in sub-nanometervervaardiging te beheer. Die 6N-graad suiwerheid verseker dat spoorvlakke van metaalverontreinigers en vog feitlik nie bestaan nie, wat skyfverontreiniging voorkom en toestelopbrengs aansienlik verbeter vir ingewikkelde argitekture soos 3D NAND en FinFET. Die insluiting van argon verskaf die nodige ioonbotsingsenergie vir fisiese sputtering, terwyl die waterstof/suurstof-verhouding noukeurig gekalibreer word om polimeerpassiveringslae aan te pas, wat hoë-aspekverhoudinggroewe met perfek vertikale sywande verseker. Elke silinder word voorberei deur middel van gevorderde gravimetriese menging en ondergaan ’n eie interne passiveringsproses om te verseker dat hierdie reaktiewe komponente stabiel bly en nie van die gespesifiseerde konsentrasie met verloop van tyd afwyk nie. Verskaf met ’n volledige Sertifikaat van Ontleding (CoA) en traceerbaar na internasionale standaarde, is hierdie mengsel die ideale keuse vir navorsings- en ontwikkelingslabboratoria en hoë-volumehalfgeleierfabrieke wat absoluut konsekwentheid in hul plasma-chemie vereis. Hierdie "alles-in-een" gebalanseerde mengsel vereenvoudig gasafleweringstelsels deur die aantal individuele gaspype wat benodig word te verminder, wat moontlike lekpunte tot ’n minimum beperk en die massa-vloei-beheer (MFC)-kalibrasieproses stroomlyn.

Oor ons

AGEM is in 2008 gestig as 'n multinasionale professionele vervaardiger en diensverskaffer van gasuitrusting, met sy hoofkantoor in Taiwan, China. Met 16 jaar se toegewyde bedryfsekspertise het sy wêreldwye voetspoor, uitstaande vervaardigingsvaardighede en omvattende produkportefeulje sy status as 'n maatstafonderneming in die gasuitrustingsektor vasgelê. Die maatskappy volg 'n globaliseringsontwikkelingsstrategie en het moderne vervaardigingsbasisse in die Chinese vasteland, Taiwan, China en Indië gevestig, wat 'n vervaardigings- en diensnetwerk vorm wat Asië dek en wêreldwyd strek. Elke basis is toegerus met intelligente vervaardigingslyne en presisietoetsuitrusting, wat volledige prosesbeheer vanaf grondstofverwerking tot finale produkaflewering moontlik maak. Met 'n jaarlikse vervaardigingskapasiteit wat konsekwent onder die nywerheidsleiers rangskik word, kan die maatskappy vinnig reageer op die uiteenlopende behoeftes van globale kliënte. Die kernbesigheid fokus op gasverwante kernuitrusting en sluit 'n volledige reeks produkte in, soos verskeie industriële gasse, spesialiseerde gasafsluiters, hoëdruk-silinders, liggewig-aluminiumsilinders en hoëpresisiedrukverlaagders. Hierdie produkte word wyd in kritieke sektore soos chemikalieë, elektronika, gesondheidsorg en energie toegepas. Deur middel van diep tegniese kundigheid het die produkte ISO9001-kwaliteitsbestuurstelselsertifisering en verskeie outoritêre internasionale sertifikasies verkry, insluitend ASME-sertifisering vir hoëdruk-uitrusting, CE-PED-sertifisering vir toegang tot die EU-markt en IECEx-ontploffingsveilige sertifisering vir wêreldwye toepassing. Sleutelprestasie-indikators soos sealingsprestasie, drukweerstand en veiligheidsbeskerming het internasionaal gevorderde vlakke bereik. Die maatskappy stel voortdurend tegnologiese innovering boaan as sy kernmededingende voordeel, en het 'n internasionale navorsings- en ontwikkelingspan saamgestel wat voortdurend in tegnologiese deurbraak investeer.

VEE

Wat is die lewertermyn vir aangepaste mengsels met ’n suiwerheid van 99,9999% (6N)?

Vir ultra-hoë-suiwerheid (UHP)-gasse soos CF4/O2, is die tipiese lewertermyn 10–15 werkdae. Dit sluit presisie-blending en multi-stadium-stabiliteitstoetse in om die 6N-suiwerheidsgraad en konsentrasieakkuraatheid te verseker.

Hoe verseker julle die akkuraatheid van die CF4/O2-mengsel se konsentrasie?

Ons gebruik die gravimetriese metode (hoë-presisie-weeging) tydens vul, wat die akkuraatste blendingtegniek is. Elke silinder word deur gaschromatografie (GC) ontleed en word saam met ’n Analise-sertifikaat (COA) verskaf wat teruggevoer kan word na NIST- of nasionale standaarde.

Is hierdie mengsel stabiel, aangesien dit beide waterstof (H2) en suurstof (O2) bevat?

Ja. Ons volg streng veiligheidsblendingprotokolle waarvolgens die konsentrasie van brandbare en oksiderende komponente binne veilige grense gehou word of gebalanseer word met argon (Ar) om chemiese stabiliteit te verseker en gevaarlike reaksies binne die silinder te voorkom.

Watter tipe silinder en klep word vir hierdie halfgeleiergas gebruik?

Ons gebruik binne-gepasseerde aluminiumlegering-silinders of gepoleerde roestvrystaal-silinders om oppervlakadsorpsie te voorkom. Vir 6N-graad-gasse versien ons hulle gewoonlik met DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660- of SS 316L-roestvrystaal-kranse om nul lekkasie te verseker en kontaminasie te voorkom.

Wat is die bergingsvereistes vir hierdie gasmengsel?

Silinders moet in ’n koel, droë en goed geventileerde area gestoor word, weg van direkte sonskyn en hittebronne (temperatuur < 50 °C). Maak seker dat die silinders regop vasgemaak is om val te voorkom.

Verskaf julle wêreldwye vervoer vir gevaarlike gasse?

Ja, ons spesialiseer in logistiek vir Klas 2-gevaarlike goedere. Ons verskaf volledige dokumentasie, insluitend MSDS (Material Safety Data Sheet), UN-gesertifiseerde verpakking en DG (Dangerous Goods)-verklarings vir see- of lugvrag.