المiconductorات موجودة في كل شيء، من هواتفك الذكية وأجهزة الكمبيوتر الشخصية إلى أي نوع آخر من الأدوات الإلكترونية. يجب تصنيعها من خلال عملية محددة واستخدام مجموعة متنوعة من الغازات. يسلط ما يلي الضوء على تقرير عن أنواع الغازات المختلفة التي يستخدمها قطاع صناعي واحد وكيف أن هذه المواد التكنولوجية المتقدمة تُستخدم لإنشاء الأشياء التي نعتمد عليها فعليًا. أنواع الغاز المختلفة المستخدمة في عالم تصنيع المكونات شبه الموصلة يتم تشكيل المكونات شبه الموصلة باستخدام سلسلة معقدة من العمليات مثل الحفر، والترسيب، والتنظيف. تتباين الخصائص والاستخدامات المختلفة لهذه الغازات حسب الاستخدامات أو الظروف الجوية المحددة، سواء كانت حول موردي الغاز الصناعي، أو موردي غازات شبه الموصلات المتخصصة الشهيرة، أو في المختبر، مما يوفر طيفًا واسعًا يناسب جميعهم مع الخصائص الحرجة اللازمة لإنجاز المهام بشكل مرضٍ. بالنسبة ليومنا هذا، وفي هذا السياق، سنقدم بعض الغازات الرئيسية المستخدمة في عمليات تصنيع المواد. السيلان SiH4: هذا الغاز غير ملون ويُعتبر أيضًا مادة إلكترونية أساسية بالسيليكون. وهو معروف بأنه ديناميكي للغاية ويتفاعل بسرعة مع الأكسجين والماء لإنتاج أكسيد السيليكون SiO وغاز الهيدروجين. يمكن استخدام السيلان لوضع المواد السيليكونية مثل SiNx، إما بسرعة أو عند درجة حرارة منخفضة نسبيًا. عنصر النيتروجين N2: هذا الغاز خامل ومنع الأكسدة. يتم إنتاجه باستمرار ويُستخدم لتطهير الجهاز أثناء عملية الصيانة لإزالة زيادة O2 والرطوبة. سيُستخدم هذا الغاز أيضًا لتسهيل ونقل عمليات الغازات الأخرى، وكذلك كغاز حامل في ترسيب بخار النيكروم المعزز بالموجات الكهرومغناطيسية.
الهيدروجين (H2) - يتم استخدام الهيدروجين كغاز مخفض لإزالة الشوائب من المواد. في تصنيع أشباه الموصلات، يُعد خطوة مهمة لعدة عمليات مثل التلدين والتنظيف. بالإضافة إلى ذلك، يساعد الهيدروجين في صنع بوابات المعدن المستخدمة في إنتاج أجهزة CMOS المتقدمة.
الأكسجين المستقر (O2/O) - أدخل الأوقات المحددة للصفحات ومواصفات القيادة وما إلى ذلك. غاز الأكسجين بينما يستخدم في العديد من العمليات البلازما مثل الحفر وإزالة/اشتعال الأوساخ، فإنه أيضًا يُستخدم كعامل تفاعل لتآكل المواد السيليكونية إلى SiOx أو تثبيت سطوح المعادن عن طريق الأكسدة.
الكلور (Cl2): الكلور هو مادة غير معدنية ذات رائحة حادة، صفراء أو حمراء اللون مع بخار عند درجة حرارة الغرفة. هذا الغاز، الذي يتفاعل بشدة مع المواد السيليكونية وأكاسيد السيليكون والعديد من المعادن مثل الألومنيوم، لديه عدد من التطبيقات في حفر هيكل أشباه الموصلات.
الحقيقة أن الغازات تُستخدم في إنتاج شرائح السيليكون أدت إلى إنشاء إلكترونيات عالية الدقة، كما أنتجت زيادة قدرات تصنيع شرائح السيليكون. كما أن للغازات استخدامات ومزايا عديدة مهمة في صناعة شرائح السيليكون.
تُستخدم غازات مثل السيلان، الأمونيا والنيتروجين لترسيب أكسيد السيليكون أو النيتريد الذي سيكون الأغشية الرقيقة لشرائح السيليكون. الترسيب.
الحفر: يُستخدم لإزالة المواد أو الأنماط غير المرغوب فيها من شرائح السيليكون باستخدام غازات مثل الكلور، الفلورين والأكسجين.
غازات العملية: يتم استخدام الهيدروجين والنيتروجين لتشغيل معدات تنظيف شرائح السيليكون (التقشير) بهدف تقليل الشوائب التي قد تؤثر على أداء الجهاز.
التطهير: أحد الاستخدامات الرئيسية هو أنه يعمل كغاز تطهير أثناء قيام الصيانة على المعدات، وذلك لإزالة الأكسجين والرطوبة من النظام وبالتالي الحفاظ على المواد داخل الخطوط خالية من الشوائب.
بالتالي، لا نهاية للبحث عن مواد ومعالجات أكثر تطوراً مع تقدم صناعة شرائح الدوائر المتكاملة. تعتبر الغازات المحسنة ضرورية لتطويرات الشرائح المستقبلية. فيما يلي بعض هذه الغازات عالية التقنية المستخدمة في تصنيع شرائح الدوائر المتكاملة:
الكربونات الهالوجينية: السبب في كون الغازات المحتوية على الفلور جيدة لتصنيع تصاميم الدوائر الحديثة هو أنها تتصرف بشكل عدواني واختياري لكل من الحفر (إزالة الأجزاء) والترسيب (إضافة الأجزاء).
ثاني أكسيد الكربون - غاز غير نشط يستخدم في التطبيقات مثل التحلل الرذاذ، والترسيب الكيميائي البخاري و التنظيف.
بينما يجب اعتباره خطوة للأمام في تصنيع شرائح الدوائر المتكاملة، وذلك بسبب أنظمة التوصيل الجديدة المتاحة اليوم فقط. دائماً ما يبحث المصنعون عن طرق لتحسين الكفاءة، وتقليل الهدر وزيادة السلامة. يتم سرد بعض من أحدث الغازات المتقدمة وأنظمة التوصيل الكيميائي مباشرة تحت هذا النص.
نظام توصيل الغاز (للغازات التي تتحكم بدقة في كميات صغيرة من الغاز أو المواد الكيميائية السائلة المطلوبة في شرائح الدوائر المتكاملة)
المصدر: أنظمة تنظيف الأقراص الرطبة المتقدمة باستخدام بلازما الأوزون والبيروكسيد الهيدروجيني لأكثر الطرق فعالية لتنظيف الشوائب من مادة شرائح الدوائر المتكاملة.
يمكن أن تؤدي غازات شرائح الدوائر المتكاملة إلى زيادة الطلب على الإلكترونيات أكثر فعالية، لكنها تمثل أيضًا تهديدات بيئية خطيرة. هناك بعض البرامج المعمول بها لتقليل النفايات وإعادة تدوير الغازات وغيرها من الأمور داخل صناعة شرائح الدوائر المتكاملة. وهذا لا يختلف عن كيفية عمل الشركات المصنعة لتهدئة المخاوف البيئية المرتبطة بغازات شرائح الدوائر المتكاملة؛
الأولى والأكثر مباشرة هي تقليل النفايات -> دائمًا ما تكون الشركات المصنعة على البحث عن طرق لتقليل كمية النفايات المنتجة أثناء تصنيع شرائح الدوائر المتكاملة. مثل تقليل كميات المواد الكيميائية والغازات المستخدمة، إعادة تدويرها عند الإمكان أو إنشاء أنظمة دورة مغلقة.
إعادة التدوير: إعادة تدوير الغازات والكيميائيات ستكون طريقة حاسمة أخرى تساعد في تقليل الآثار البيئية. يمكن تقليل إنتاج النفايات بشكل أكبر من قِبل الشركات المصنعة التي تتيح استرداد، تنقية وتدوير الغازات أو المواد الكيميائية المستخدمة أثناء الإنتاج.
ملخص: الغازات ضرورية لتصنيع بعض الإلكترونيات الأكثر تقدمًا. تلتزم الشركات المصنعة بتحسين كل من الغازات المتقدمة وحلول التوصيل التي تدعم العمليات الأمثل وتقليل الهدر وسلامة المجتمع. ستسير صناعة شرائح السيليكون أيضًا على طريق تقليل استهلاك الغازات، وقد أطلقت الأثر البيئي العام لهذه الغازات العديد من حملات الاستدامة في السنوات الأخيرة.
AGEM هي مصنع لإنتاج الغازات والبحث والتطوير مقرها في تايوان، ولديها أكثر من 25 عامًا من الخبرة الواسعة في مجال البحث والتطوير في هذا المجال، مع معرفة لا مثيل لها بالغازات الإلكترونية المتخصصة والم Calibration والغازات الخاصة في جميع أنحاء العالم في ست مناطق مميزة: تايوان - مدينة كاوهسيونغ (المقر الرئيسي، مركز البحث والتطوير) الهند - مومباي، Vadodara، Coimbatore، بيون، بنغالور، دلهي الصين - ووهان الشرق الأوسط - دبي (الإمارات العربية المتحدة) ومملكة السعودية المملكة المتحدة - كامبريدج الحلول الغازية التي نقدمها تشمل الاستشارات الفنية. التجميع والتشغيل. اختبار العينات. التعبئة والإرسال. تصميم الرسومات. التصنيع.
بالنسبة للغازات المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات، يُعد تسرب الغاز إحدى أكبر المشكلات، ولذلك نقوم باختبار التسرب أكثر من خمس مرات لضمان الجودة. ولدينا خط إنتاج وظيفي بالكامل مع نظام صارم لمراقبة الجودة، ونظام شامل لخدمات ما بعد البيع. وهذا يضمن حصول عملائنا على منتجات ذات جودة عالية جدًّا. ونحن فخورون بالتزامنا بالتميز وخدمة العملاء. ويكون متخصصونا ذوو المهارات العالية دائمًا في خدمتكم لمساعدتكم وضمان تلبية احتياجاتكم. كما أن خدمتنا المتوفرة على مدار 24 ساعة يوميًّا هي ما يميزنا عن غيرنا. ونحن متاحون لعملائنا في أي وقت.
توفر AGEM مجموعة متنوعة من الأسطوانات الباردة للغاية، والتي يمكنها التعامل مع السوائل والغازات المبردة بشكل شائع مثل الأكسجين السائل، والأرجون، وثاني أكسيد الكربون، والنيتروجين وأكسيد النيتروز. نستخدم صمامات ومعدات مستوردة لضمان الأداء الأمثل. يتم استخدام أجهزة توفير الغاز وتُعطى أولوية للضغط الزائد للغاز في منطقة الغاز. يوفر الصمام الآمن المزدوج ضمانًا قويًا لتشغيل آمن. لدينا مجموعة متنوعة من الأسطوانات الباردة للغاية، والتي يمكنها احتواء السوائل المبردة الشائعة: السعة الكاملة: 80لتر/100لتر/175لتر/195لتر/210لتر/232لتر/410لتر/500لتر/1000لتر الضغط التشغيلي: 1.37مبا/2.3مبا/2.88مبا/3.45مبا درجة حرارة تصميم خزان الداخلي: (-196 درجة حرارة تصميم خزان القشرة: 50°س+20°س العزل: عزل متعدد الطبقات ملفوف بالVacuum insulation وسائل التخزين: LO2, LN2, LAr, LCO2, LNG
تعترف AGEM بأن كل عميل يحتاج إلى أشياء مختلفة في مجال الغازات الخاصة، مثل غاز الت headibration. نقدم حلولًا مخصصة لتلبية احتياجات عملائنا المحددة. إذا كنت بحاجة إلى كمية نقية معينة، أو حجم أنبوب أو خيارات تغليف، يمكن لـ AGEM العمل معك لتخصيص منتجاتهم وفقًا لمتطلباتك الدقيقة. هذا المستوى من التخصيص سيضمن حصولك على أفضل أنبوب غاز headibration لتطبيقاتك، مما يحسن الكفاءة والأداء العام. لا تقتصر مجموعة منتجات AGEM على غازات headibration. يتضمن كتالوج AGEM غازات الهيدروكربون، والهالوكاربونات، والغازات الكيميائية، والغازات النادرة. يمكنك أن تكون متأكدًا أن AGEM لديها النوع المحدد من الغاز الذي تحتاجه.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) هو مصنع لإنتاج الغازات وأبحاث التطوير موجود في تايوان، ولديه خبرة فريدة في مجال الغازات الخاصة والإلكترونية والمجمعة وغازات الت head across العالم في 6 مناطق مختلفة
الغرفة 1002، المبنى أ، بلازا هوانغتشونغ الدولي، رقم 182 طريق هوانغشياوهي، مقاطعة جيانغان، ووهان 430014، الصين
حقوق النشر © شركة Air Gas Electronic Materials Enterprise المحدودة. سياسة الخصوصية
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
