Палупроваднікі ёсць у ўсём, ад вашых смартфонав і персанальных камп'ютараў да любога іншага тыпу электронных гаджэт. Іх трэба вырабляць праз дакладны працэс і карыстаць многаснаці газоў. Наступнае падчыння рахунка багата на розныя тыпы газоў, якія карыстуецца толькі адной промысловасцю, і якімі высокатэхналогічнымі субстанцыямі ствараюцца рэчы, ад якіх мы залежым. Розныя тыпы газоў, якія выкарыстоўваюцца ў светавых вобласцях вытворчасці палупроваднікаў Палупроваднікі фармуюцца з дапамогай складанай серыі працэсаў, таких як этчынга, депазыцыя і чыстанне. Разныя ўласцівыя ўмовы і застосаванні гэтых газоў зменляюцца ў спецыфічных умовах выкарыстання ці атмасферных умовах, хто бы не былі, ці ў навуковай лабараторыі, забезпечваючы шырокі спектр, які падыходзіць для ўсіх іх з крытычнымі ўласцівасцямі, необходzymі для выканання задачы з намерамі задаволення. Дзённы сёння, па гэтай прычыне, мы прадстаўляем некалькі лідэрскіх газоў, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе вытворчасці матэрыялаў. Сілан SiH4: Гэты газ колерны і таксама прадстаўляецца значным сіліконовым электронным матэрыяlem. Вядома, што ён дужа дынаамічны і хутка реагуе з кіслародам і водай, каб стварыць сіліконавы аксид SiO і кіслародны газ. Сілан можна выкарыстоўваць для размяшчэння сіліконавага матэрыяла, як SiNx, абодрана шырока ці ў досыць нізкай температуре. Элемент азот N2: Гэты газ инертны і прадупрашчае аксыдацыю. Яго непрэрыўна вырабляюць і карыстаюць для чысткі прылада ў працэсе абслугоўвання, каб выдаліць наплыв O2 і вадністасці. Такі газ будзе выкарыстоўвацца для аблегчэння і транспартавання дзеянняў іншых газоў, працягваючы як перавозны газ у депазыцыі паравага nichrome і плазма-падзейніцаяй депазыцыі паравага nichrome.
Водаген (H2) - Водаген выкарыстоўваецца як рэдукцыйны газ для адабрання нячыстасцей з матэрыялаў. У вытворэнні паўpraваднікаў, гэта важны крок для некалькіх працэсав, таких як анеляцыя і чыстанне. Кропка водаген стварае metallічны вярата, які необходны для вытвору сучасных cmos-прыладаў.
Стабільны кисляк (O2/O) - ўводзіце лісты і спецыяльныя часы даступу і т.д. Газ O, пакуль кисляк выкарыстоўваецца ў багато плазменных процесах, такіх як етчынг і strip/ash, яно таксама служыць рэактантом для аksідацыі сіліканых матэрыялаў да SiOx ці passівацыі metallічных паверхнасцей праз aksідацыю.
Хлар (Cl2): Хлар - гэта жовты ці чырвоны парачністы, неметалічны газ з рэзкім запахам у стане руску. Гэты газ, які шырока выкарыстоўваецца з сіліканымі матэрыяламі, сілікавымі аksідамі і багата металаў, такімі як алюміній, мае шырокую прымену ў етчынгу структураў паўpraваднікаў.
Факт выкарыстання газоў у вытвору сімікандар прывёў да стварэння высокаякаснай электронікі, якую атрымліваюць завяшчанымі магчымасцямі ў вытвору сімікандараў. Газы таксама маюць некалькі значных карыстаў і пераваг у промысловасці сімікандараў.
Газы, такія як сілан, амія і азот, выкарыстоўваюцца для нанесення сільванага оксіду ці нітрыду, які стане тонкімі плёнкамі сімікандараў. Нанесенне.
Этчынг: Выкарыстоўваецца для выбраннага адбырання непатрэбных матэрыялаў ці патэрніў з сімікандараў з дапамогай газоў, таких як хлор, флерын і кісень.
Тэхналагічныя газы: Водагад і азот неабходныя для працягнення апаратуры для чысткі сімікандараў (пурывацыя), каб змяншыць забруднення, якія могуць уплыўнуць на працэс прылад.
Працяг: Адна з яго головых карыстаў — гэта яго выкарыстанне як газам для працягу падчас правядзення сервісных ра бот над абраднікамі, каб выдаліць кісень і ваду з сістэмы, што трыміць матэрыялы ў лініі свабоднымі.
Як наслідак, пошук усё больш складаных матэрыялаў і працэсав не мае канца з ростам прамысловасці па вытвору палупроваднікаў. Удосконаленыя газы ўжытковыя для майбутніх дасягненняў у галіне палупроводнікаў. Ось некалькі з гэтых високатэхналогічных газоў, якія выкарыстоўваюцца ў вытвору палупроводнікаў:
Фторалканы: Прычынай таго, што фторавыя газы дабра адпавядаюць для стварэння сучасных дэзайніў ціркуітаў, з'яўляецца той факт, што яны агрэсіўна і выбрана реагуюць абодва на этчынг (выдаленне частак) і напыленне (даданне частак).
CO2 - Нярэактыўны газ, які выкарыстоўваецца для прымененьняў, таких як сплэшарванне, ХДП і чыстка.
Хоць гэта трэба лічыць крокам уперад у вытвору палупроводнікаў, праста з-за новых сістэм дастаўкі, якія магуць быць зastosаваны сёння. Вытворцы завсёды шукаюць спосабаў удасканаліць эфектыўнасць, зменшыць адходы і павялічыць безпеку. Некаторыя з найновейшых удосконаленых газоў і хімічных сістэм дастаўкі, якія доступныя сёння, пералічаныя пад ніжэй.
Сістэма дастаўкі газу (для газоў, якія з цілінасцю кантрулююць малыя колькасці газа\/ хімічных рушынкаў у супраўдзе, неабходных для палупроваднікаў)
Джэрышча: Сучасныя сістэмы магчымай чыстаньня пластаў з выкарыстаннемм озона плазмы і пераксыда водару для найбуйнейшых метадаў адмятаю імкавасцей з матэрыяла палупроводніка.
Палуправоднікавыя газы могуць ствараць запатрабаванне на больш афіцыйную электроніку, але таксама прэдставляюць небезпеку для сродавішча. Існуюць некаторыя праграмы для зменшэння адметкаў і перапрацоўкі газаў у промысле палуправоднікаў. Гэта жаданне не адмінняецца тым, як вытворцы працуюць, каб абярватаць экалагічныя ліканьні, звязаныя з палуправоднікавымі газамі;
Першае і найпростшая, гэта Зменшэнне адметкаў -> Вытворцы захопленыя пошукамі шляхав зменшэнні колькасці адметкаў, вытворэнных падчас вядомай вобласці палуправоднікаў. Такія рэчы як зменшэнне колькасці хімічных рушынкаў і газаў, выкарыстоўваных, перапрацоўкі таму дзе магчыма ці стварэнне замкнутых сістэм.
Паўторнае выкарыстанне ' Перапрацоўка газоў і хімічных рэчаўін стане ўжо ўзягнутым метадам, які дапамагае зменшыць экалагічны ўплыв. Фармаванне адметкаў можа быць значна апрацавана пры застаўленні выработкі, чысцення і перапрацоўкі газоў ці хімічных рэчаўін, выкарыстоўванных падчас вытвору.
Уклад: Газы ёсць незаменнымі для вытвору некалькіх з найлепшых электронічных прылад. Вытворцы прымаюць удзел у паслядоўным удосконаленні сучасных газоў і спосабаў іх дастаўкі, якія спабарваюць аптымалізаваным процесам, зменшэнню адметкаў і безпекай суспольства. Сектар паўпральнікаў таксама будзе паўольваць колькасць выкарыстання газоў, а абсяг экалагічнага ўплыву гэтых газоў запусціў шэраг кампаній з магчымасцюў траўляльнасці ў останні час.
AGEM — гэта завод па вытворніцтву газаў і розвітку (R and D), розмешчаны ў Тайвані, з балей 25 гадоў шырокага досведу ў гэтай сферы, маючы незаменную ведомасць аб спецыяльных электронных масавых, калібруючых і спецыяльных газах усёх краінах света ў шасці асобных рэгіёнах: Тайвань - горад Каохsiung (галоўны кантор, цэнтр R и D) Індыя - Мумбаі, Вадодара, Коімбатарэ, Пунэ, Бэнгалуру, Дэлі Кітай - Ухань Срэдняя Азія - Дубаі (ОАЭ) і Каралеўства Саудаўскай Арабіі Вялікабрытанія - Кембрыдж Газавыя рашэнні, якія мы прапановаем, уключаюць тэхнічную консультую. Мантараж і камісіянаванне. Тэstsамплiў. Пакаванне і адправка. Дызайн малюнкаў. Вытвор.
Для газаў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправадніковых прыладаў, прабой газу — адна з найбуйнейшых праблем, таму мы праводзім тэставанне на герметычнасць больш за пяць разоў, каб гарантаваць якасць. У нас ёсць поўнафункцыянальная вытворчая лінія з суворым кантролем якасці, а таксама камплексная сістэма паслепрадажнага абслугоўвання. Гэта гарантуюе, што нашы кліенты атрымліваюць прадукцыю вышэйшай якасці. Мы гордзімся сваёй прысвечанасцю выдатнасці і абслугоўванню кліентаў. Нашы высокакваліфікаваныя фахоўцы заўсёды гатовыя дапамагчы вам і забяспечыць выкананне ўсіх вашых патрабаванняў. Наша абслугоўванне 24/7 вылучае нас сярод канкурэнтаў. Мы заўсёды даступныя для нашых кліентаў.
AGEM прадстаўляе шырокі асортымент краягенных цыліндраў, якія магут працаваць з узвешчанымі растварамі і газамі, такімі як тэчучы кисэн, аргон, угладзенны карбон, азот і адышковы карбон. Мы выкарыстоўваем ўвезеныя клапаны і абладнанне, каб забяспечыць найвышэйшую эфектыўнасць. Ужывается прылада для захавання газу, а пераварот газу ў вышэйшай фазе мае прыорытэт. Дубліруючы бяспекны клапан забяспечвае надзейную безпеку пры эксплуатацыі. У нас ёсьць шырокі выбар краягенных цыліндраў, якія можаць трzymaць узвешчаныя раствары: Полны аб'ём: 80Л/100Л/175Л/195Л/210Л/232Л/410Л/500Л/1000Л Рабочае ціск: 1.37МПа/2.3МПа/2.88МПа/3.45МПа Температура праектавання внешняга бака: (-196°C) Температура праектавання наружнага бака: 50°C+20°C Тэрмазахашэнне: Багатаслоёвае вакуумнае тэрмазахашэнне Храненне срэд: LO2, LN2, LAr, LCO2, LNG
AGEM разумее, што кожны кліент патрабуе розных рэчоў у галіне спецыяльных газаў, уключая калібравочны газ. Мы прынікаем у выніковыя рашэнні, каб задаволіць спецыфічныя патрабаванні нашых кліентаў. Калі вам патрэбна спецыфічная чысціна, розмір цыліндра ці варыянты ўпаковкі, AGEM можа працаваць з вами, каб адгутарыць іх produkты па вашым таксама патрабаванням. Такая ступень персоналізацыі забяспечыць, што вы атрымаеце найlepшы цыліндр калібравальнага газа для вашых застасаванняў, што павялічыць агульную эфектыўнасць і якасць. Асцяжка продуктаў AGEM не абмежоўваецца калібравальнымі газамі. Каталог AGEM уключае Углевадодныя газы, Галакарбы, Хімічныя газы і Рэдкія газы. Вы можаце быць пэўнымі, што AGEM мае дазволеную колькасць газа, які вам патрэбен.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) — газадобываючы завод з R&D, розмяшчаны ў Тайвані, маючы незваротныя вядомасці ў галіне спецыяльных, электронных, масавых і калібравальных газоў па ўсёму свету ў 6 розных рэгіёнах.
Пакой 1002, будынак А, Хуанчжонг інтэрнэшнл Пляц, №182. Вуліца Хуансяохэ, раён Цзяньган, горад Ухань, 430014, Кітай
Права захоплены © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Палітыка прыватнасці
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
