- Агляд
- Запыт
- ПАРУЖНЫЯ ПРЫЗНАЦКІ
C5F8 Октафлорцыклапентэн Газ
Шырока ўжываецца ў працэсе атрымвання палупроваднікаў, уключна і для розмяральнага і выбарога атрымвання найменшых геаметрычных характарыстык (такіх як шырыня ліній злучэнняў, кантактаў, канавак і т.д.)