Як вы забяспечваеце, каб NF₃ заставаўся незагрозным у працэсе доўгатэрміновага захоўвання?
Мы карыстаемся перавагамі вертыкальнай інтэграцыі ў вытворчасці абсталявання. Мы не толькі вырабляем газ, але таксама вырабляем уласныя балоны. Спецыяльная пасівацыя і электропаліраванне ўнутраных сцен дазваляюць прадухіліць узаемадзеянне з вільготнасцю і забруджванне іонамі металу, што забяспечвае стабільнасць высокай чысціні 5N5 ад вытворчасці да дастаўкі на ваша прадпрыемства.
Ці лічыцца NF3 небяспечным матэрыялам для міжнародных перавозак?
Так. Згодна з Міжнародным кодэксам небяспечных грузаў для марскіх перавозак (IMDG), NF3 адносіцца да класу 2.2 (нягаручы, няшкодны газ) з дадатковай небяспекай класу 5.1 (акісліцель). Наша лагістычная каманда мае поўную кваліфікацыю па працы з небяспечнымі грузамі (DG), і кожная адпраўка суправаджаецца поўнымі матэрыяламі па бяспецы (MSDS) і сертыфікатам аналізу (COA).
Які звычайны тэрмін выканання заказу поўнага контейнера (FCL)?
Выкарыстоўваючы нашы вытворчыя базы ў Кітаі, Тайвані і Індыі, мы забяспечваем стабільную ланцуг паставак. У залежнасці ад порта прызначэння, тыпавы тэрмін выканання замовы складае ад 4 да 6 тыдняў. Мы падтрымліваем розныя таргавыя ўмовы, у тым ліку FOB, CIF і DDP для асноўных цэнтраў па вытворчасці паўправадніковых матэрыялаў.
Чаму NF3 лепшы за традыцыйныя газы для ачысткі, такія як CF4 ці C2F6?
Асноўная перавага NF3 заключаецца ў яго выключна высокай эфектыўнасці дысацыяцыі. У плазменным асяроддзі ён утварае больш высокую канцэнтрацыю актыўных атамаў фтору, што забяспечвае больш хуткія хуткасці травлення і змяншае час простоя абсталявання. Акрамя таго, NF3 мае адносна нізкі патэнцыял глабальнага цяплення (GWP), што лепш адпавядае тэндэнцыям экалагічнай устойлівасці.
З якімі міжнароднымі стандартамі адпавядаюць вашы балоны?
Наша ўпакоўка адпавядае нормам бяспекі ў асноўных сусветных рынках: DOT-3AA — для паўночнаамерыканскага рынку. TPED / EN ISO 9809 — для еўрапейскага рынку. ISO 9809 — міжнародна прызнаны стандарт. Стойкі / звязкі балонаў: распрацаваныя для задавальнення патрэбаў у высокапрадукцыйным і непарыўным вытворчасці на палуправадніковых заводах.
Якія ступені чысціні вы прапануеце для экспарту трыфлюарыду азоту (NF₃)?
Мы прапануем ступені высокай чысціні, якія спецыяльна распрацаваны для электроннай прамысловасці: Ступень высокай чысціні (4N, 99,99 %): падыходзіць для стандартнай ачысткі плоскіх дысплеяў (FPD) і сонечных элементаў. Ступень ультра-высокай чысціні (5N–5N5, 99,999 %–99,9995 %): стандарт для перадавых палуправадніковых працэсаў. Гэтая ступень строга абмяжоўвае ключавыя шкодныя прымесі, такія як вадзяная пара (H₂O), кісларод (O₂) і тэтрафлюарыд вугляроду (CF₄), якія могуць уплываць на выхад прадукцыі.