Усе

Высокачысты газавы раствор CF4 і O2 класу 6N у балансе вадароду і аргона для калібрацыі плазменнай траўлення ў паўправадніковай прамысловасці

Высокачысты газавы раствор CF4 і O2 класу 6N у балансе вадароду і аргона для калібрацыі плазменнай траўлення ў паўправадніковай прамысловасці

ЗАПЫТ

Агляд
ЗАПЫТ
ЗВЯЗАНЫЯ ПРАДУКТЫ

Пра тавар

Асноўныя асаблівасці

Гэта спецыялізаваная сумесь працэсных газаў з ультра-высокай чысцінёй 99,9999 % (6N) для калібравання распрацавана ў выключна для строгіх патрабаванняў плазменнага траўлення паўправаднікоў і перадавых тонкаплёнакавых працэсаў. Дакладна змяшаўшы тэтрафтарат вугляроду (CF4) і кісларод (O2) у збалансаванай матрыцы вадароду (H2) і аргона (Ar), гэтая сумесь забяспечвае дакладную хімічную сінергію, неабходную для кантролю селектыўнасці траўлення і анізатропіі профілю пры вытворчасці на паднанаметровым узроўні. Чысціня класу 6N гарантуе, што следы металічных забруджванняў і вільготнасць практычна адсутнічаюць, што прадухіляе забруджванне пласцінак і значна павышае выхад прылад для складаных архітэктураў, такіх як 3D NAND і FinFET. Уключэнне аргона забяспечвае неабходную энергію іоннага бамбардзіравання для фізічнага распылення, у той час як суадносіны вадароду да кіслароду дакладна адкалібраваны для рэгулявання палімерных пасіўных пластоў, што забяспечвае высокія траншэі з ідэальна вертыкальнымі бакавымі паверхнямі. Кожны балон падрыхтоўваецца з выкарыстаннем перадавога гравіметрычнага змяшання і падвяргаецца ўласнай унутранай пасіўнасці, каб гарантаваць, што гэтыя рэакцыйныя кампаненты застаюцца стабільнымі і не адхіляюцца ад зададзенай канцэнтрацыі з цягам часу. Пастаўляецца з поўным Сведчаннем аб аналізе (CoA) і мае магчымасць аднаўлення да міжнародных стандартаў. Гэтая сумесь «усё ў адным» з’яўляецца ідэальным выбарам для лабараторый НДІ і высокапрадукцыйных паўправадніковых вытворстваў, якія патрабуюць абсалютнай паслядоўнасці ў сваёй плазменнай хіміі. Такая збалансаваная сумесь спрашчае сістэмы падачы газаў, зменшваючы колькасць асобных газавых ліній, неабходных для эксплуатацыі, што, у сваю чаргу, зменшвае магчымасць уцечак і спрашчае працэс калібравання кантролера масавага расходу газа (MFC).

Пра нас

AGEM была заснавана ў 2008 годзе як шматнацыянальны прафесійны вытворца і пастаўшчык паслуг у галіне газавага абсталявання з цэнтрам у Тайвані, Кітай. З 16-гадовым вопытам у галіне AGEM мае шырокі міжнародны ўплыў, выдатныя вытворчыя традыцыі і поўны асартымент прадукцыі, што замацавала яе статус эталоннага прадпрыемства ў сферы газавага абсталявання. Кампанія прытрымліваецца стратэгіі глабальнага развіцця, ствараючы сучасныя вытворчыя базы ў Кітайскай Народнай Рэспубліцы, на Тайвані, у Кітаі, а таксама ў Індыі, што дазваляе фарміраваць сетку вытворчасці і абслугоўвання, якая ахоплівае Азію і пашыраецца па ўсім свеце. Кожная вытворчая база абсталявана інтэлектуальнымі вытворчымі лініямі і высокадакладным выпрабавальным абсталяваннем, што забяспечвае поўны кантроль усіх этапаў — ад апрацоўкі сыравіны да дастаўкі канчатковай прадукцыі. Штогадавая вытворчая магутнасць кампаніі пастаянна ўваходзіць у лік лідараў галіны, што дазваляе хутка рэагаваць на разнастайныя патрэбы кліентаў па ўсім свеце. Асноўная дзейнасць засяроджана на ключавым газавым абсталяванні і ўключае поўны спектр прадукцыі: розныя прамысловыя газы, спецыялізаваныя газавыя краны, высоканапорныя балоны, лёгкія алюміневыя балоны і высокадакладныя рэдуцтары ціску. Гэтыя вырабы шырока выкарыстоўваюцца ў ключавых галінах, такіх як хімічная прамысловасць, электроніка, ахова здароўя і энергетыка. Благадарыць глыбокім тэхнічным ведам, прадукцыя атрымала сертыфікат сістэмы кіравання якасцю ISO 9001 і некалькі аўтарытэтных міжнародных сертыфікатаў, у тым ліку сертыфікат ASME для высоканапорнага абсталявання, сертыфікат CE-PED для доступу на рынак ЕС і міжнародны сертыфікат IECEx на выбухабяспечнасць для глабальнага выкарыстання. Ключавыя паказчыкі эфектыўнасці, такія як герметычнасць, стойкасць да ціску і сістэмы бяспекі, дасягнулі міжнародна прызнаных перадавых узроўняў. Кампанія пастаянна прытрымліваецца прынцыпу тэхналагічных інавацый як асноўнай конкурэнтнай перавагі, ствараючы міжнародную навукова-даследчую і інжынерна-канструктарскую каманду і пастаянна інвестуючы ў тэхналагічныя прарывы.

Часта задаваемыя пытанні

Які тэрміны выканання замовы на індывідуальныя сумесі чысціні 99,9999 % (6N)?

Для газаў ультра высокай чысціні (UHP), такіх як CF4/O2, тыпавы тэрмін выканання замовы складае 10–15 рабочых дзён. Гэта ўключае дакладнае змяшанне і шматступеневыя выпрабаванні стабільнасці, каб забяспечыць чысціню класу 6N і дакладнасць канцэнтрацыі.

Як Вы забяспечваеце дакладнасць канцэнтрацыі сумесі CF4/O2?

Падчас напаўнення мы выкарыстоўваем гравіметрычны метад (высокадакладнае зважванне) — гэта самы дакладны метад змяшання. Кожны балон падлягае аналізу метадам газавай храматаграфіі (GC) і дастаўляецца з Сведчаннем аб аналізе (COA), якое мае аднакроўнасць з стандартамі NIST ці нацыянальнымі стандартамі.

Ці з'яўляецца гэтая сумесь стабільнай, улічваючы, што ў ёй прысутнічаюць як вадарод H2, так і кісларод O2?

Так. Мы строга дотрымваемся пратаколаў бяспечнага змяшання, пры якіх канцэнтрацыя плаўленых і акісліцельных кампанентаў захоўваецца ў межах бяспечных лімітаў або балансуецца аргонам (Ar), каб забяспечыць хімічную стабільнасць і прадухіліць любыя небяспечныя рэакцыі ўнутры балона.

Які тып балона і клапана выкарыстоўваецца для гэтага паўправадніковага газу?

Мы выкарыстоўваем унутрана пасіваваныя алюмініевыя сплавы ці паліраваныя цыліндры з нержавеючай сталі, каб прадухіліць паверхневую адсорбцыю. Для газаў ступені чысціні 6N мы звычайна ўсталяўваем клапаны з нержавеючай сталі DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 або SS 316L, каб забяспечыць поўнае адсутнасць пракачкі і прадухіліць забруджванне.

Якія патрабаванні да захоўвання гэтай сумесі газаў?

Цыліндры трэба захоўваць у халодным, сухім і добра вентыляваным месцы, далёка ад прамых сонечных прамянёў і крыніц цяпла (тэмпература < 50 °C). Трэба забяспечыць, каб цыліндры стаялі ў вертыкальным становішчы, каб прадухіліць іх падзенне.

Ці ажыцяўляеце вы дастаўку небяспечных газаў па ўсім свеце?

Так, мы спецыялізуемся на лагістыцы небяспечных грузаў класа 2. Мы забяспечваем поўную дакументацыю, у тым ліку MSDS (Material Safety Data Sheet), упакоўку, сэртыфікаваную UN, і дэкларацыі на небяспечныя грузы (DG) для марскіх або паветраных перавозак.