Усе катэгорыі

Газ C₄F₆ (гексафлуарбутадыен) высокай чысціні 99,999 % аб’ёмам 10 л і 8 л для высокатэхналага выкарыстання ў электроннай прамысловасці

  • Агляд
  • Запыт
  • ПАРУЖНЫЯ ПРЫЗНАЦКІ

Пра тавар

Асноўныя асаблівасці

Электронная ступень чысціні для вытворчасці паўправадніковых прылад. Наш C4F6 даступны ў вельмі высокай ступені чысціні да 5N (99,999 %), з вельмі нізкім узроўнем шкодных прымесей, у тым ліку кіслароду (O2), вадзяной пары (H2O) і вуглевадародаў, што забяспечвае выдатную стабільнасць плазмы, паслядоўнасць працэсу травлення і высокую паўтаральнасць тэхналагічных аперацый, неабходную для вытворчасці перадавых паўправадніковых прылад. Аптымізаваны для перадавых прыкладанняў плазменнага травлення: C4F6 спецыяльна распрацаваны для высокатакнага плазменнага травлення, у тым ліку травлення дыэлектрыкаў, травлення аксідных пластоў, малюнкавання матэрыялаў з нізкай дыэлектрычнай прапускной здольнасцю (low-k) і кантролю крытычных памераў. Параўноўваючы з традыцыйнымі фторугляроднымі газамі, такімі як CF4, C2F6 і C3F8, C4F6 прапануе лепшую селектыўнасць, анізатропныя ўласцівасці травлення і палепшаную дакладнасць профілю, што робіць яго ідэальным для вытворчасці перадавых лагічных прылад, памяці і МЭМС. Альтэрнатыва з нізкім патэнцыялам глабальнага цяплення (GWP): параўноўваючы з традыцыйнымі перфторугляроднымі газамі, C4F6 забяспечвае больш высокую эфектыўнасць травлення, меншы расход газу і зніжаны ўплыў на навакольнае асяроддзе, дапамагаючы вытворцам паўправадніковых прылад дасягнуць мэт у галіне ўстойлівага развіцця, захоўваючы пры гэтым высокую вытворную выкананасць і выхад прыдатных вырабаў. Строгі кантроль узроўню прымесей і вадзяной пары: мы выкарыстоўваем перадавыя сістэмы ачышчэння газа, высокатакныя аналітычныя прыборы і строгія пратаколы кантролю якасці, каб гарантаваць узровень вадзяной пары (H2O) ≤ 1 ppm, кіслароду (O2) ≤ 1 ppm і агульнай колькасці вуглевадародаў ≤ 1 ppm, што эфектыўна прадухіляе забруджванне пласцінак, нестабільнасць плазмы і тэхналагічныя дэфекты, забяспечваючы паслядоўнасць і надзейнасць працэсу апрацоўкі паўправадніковых прылад. Сертыфікаваныя балоны з паверхневай апрацоўкай пад паўправадніковыя прылады: наш C4F6 пастаўляецца ў стандартных балонах аб’ёмам 47 л і 10 л, а таксама ў балонах нестандартных памераў, вырабленых у адпаведнасці з міжнароднымі стандартамі ISO 9809, DOT 3AA і TPED EN, з дадатковай унутранай электролітычнай паліраванай і пасівацыйнай апрацоўкай для мінімізацыі ўтварэння часцінак, прадухілення забруджвання газу і падтрымання вельмі высокай чысціні газу падчас захоўвання і эксплуатацыі.
Specifications Scene image Specifications Scene image Specifications Scene image Scene image

Пра нас

AGEM была заснавана ў 2008 годзе як шматнацыянальны прафесійны вытворца і пастаўшчык паслуг у галіне газавага абсталявання з цэнтрам у Тайвані, Кітай. З 16-гадовым вопытам у галіне AGEM мае шырокі міжнародны ўплыў, выдатныя вытворчыя традыцыі і поўны асартымент прадукцыі, што замацавала яе статус эталоннага прадпрыемства ў сферы газавага абсталявання. Кампанія прытрымліваецца стратэгіі глабальнага развіцця, ствараючы сучасныя вытворчыя базы ў Кітайскай Народнай Рэспубліцы, на Тайвані, у Кітаі, а таксама ў Індыі, што дазваляе фарміраваць сетку вытворчасці і абслугоўвання, якая ахоплівае Азію і пашыраецца па ўсім свеце. Кожная вытворчая база абсталявана інтэлектуальнымі вытворчымі лініямі і высокадакладным выпрабавальным абсталяваннем, што забяспечвае поўны кантроль усіх этапаў — ад апрацоўкі сыравіны да дастаўкі канчатковай прадукцыі. Штогадавая вытворчая магутнасць кампаніі пастаянна ўваходзіць у лік лідараў галіны, што дазваляе хутка рэагаваць на разнастайныя патрэбы кліентаў па ўсім свеце. Асноўная дзейнасць засяроджана на ключавым газавым абсталяванні і ўключае поўны спектр прадукцыі: розныя прамысловыя газы, спецыялізаваныя газавыя краны, высоканапорныя балоны, лёгкія алюміневыя балоны і высокадакладныя рэдуцтары ціску. Гэтыя вырабы шырока выкарыстоўваюцца ў ключавых галінах, такіх як хімічная прамысловасць, электроніка, ахова здароўя і энергетыка. Благадарыць глыбокім тэхнічным ведам, прадукцыя атрымала сертыфікат сістэмы кіравання якасцю ISO 9001 і некалькі аўтарытэтных міжнародных сертыфікатаў, у тым ліку сертыфікат ASME для высоканапорнага абсталявання, сертыфікат CE-PED для доступу на рынак ЕС і міжнародны сертыфікат IECEx на выбухабяспечнасць для глабальнага выкарыстання. Ключавыя паказчыкі эфектыўнасці, такія як герметычнасць, стойкасць да ціску і сістэмы бяспекі, дасягнулі міжнародна прызнаных перадавых узроўняў. Кампанія пастаянна прытрымліваецца прынцыпу тэхналагічных інавацый як асноўнай конкурэнтнай перавагі, ствараючы міжнародную навукова-даследчую і інжынерна-канструктарскую каманду і пастаянна інвестуючы ў тэхналагічныя прарывы.
Customization capabilities Factory profile Competitive advantages Company overview Factory profile

Часта задаваемыя пытанні

Якія ступені чысціні C4F6 вы прапануеце

Мы прапануем C4F6 паўправадніковай чысціні, у тым ліку 4N (99,99 %), 4,5N (99,995 %) і 5N (99,999 %). Ступені вышэйшай чысціні даступныя па запыце

Якія тыпавыя прымяненні C4F6?

C4F6 у асноўным выкарыстоўваецца ў паўправадніковай плазменнай травленні, травленні дыэлектрычных пластоў, травленні аксідаў, травленні нізкакаэфіцыентных дыэлектрыкаў, вытворчасці МЭМС і перадавой вытворчасці інтэграваных мікросхем

Якія памеры балонаў даступныя?

Стандартная ўпакоўка ўключае балоны аб'ёмам 47 л, 10 л, 8 л, а таксама індывідуальна выкананыя балоны па запыце. Для паўправадніковых прыкладанняў даступна электролітычная шліфоўка ўнутранай паверхні балона

Якое тыповае давленне напаўнення і вага напаўнення?

Тыповыя параметры напаўнення ўключаюць давленне напаўнення да 13–15 МПа і вагу напаўнення прыблізна 20–25 кг у балоне аб'ёмам 47 л. Дакладная вага напаўнення залежыць ад ступені чысціні і патрабаванняў кліента

Які тып клапана выкарыстоўваецца для балонаў з C4F6?

Пашыраныя тыпы клапанаў уключаюць CGA 716, DISS 716 і адпаведныя клапаны палуправадніковай якасці. Выбар клапанаў можа быць адаптаваны з улікам рэгіянальных стандартаў

Як вы забяспечваеце чысціню і стабільнасць газу?

Мы забяспечваем якасць з дапамогай перадавых сістэм ачысткі газу, тэхналогій выдалення вільгаці і кіслароду, газавай храматаграфіі (ГХ) і сертыфіката аналізу (СА), які прыкладаецца да кожнага балона

Які тэрмін выканання замовы?

Тыпавы тэрмін дастаўкі — ад 15 да 25 дзён пасля атрымання прадплата. Паскарэная дастаўка магчымая ў залежнасці ад наяўнасці тавару на складзе і гатоўнасці балонаў

З якімі стандартамі сумяшчальныя вашы балоны?

Нашы балоны адпавядаюць стандартам ISO 9809, DOT 3AA, TPED і EN. Па запыце магчымая незалежная інспекцыя

Сувязацца