- Přehled
- Dotaz
- Související produkty
Pro polovodičový proces plazmového nasycování plynu a etchantu 99,9% C318 perfluorocyclobutan chladičský plyn C4F8
V produkci polovodičových materiálů a zařízení slouží oktafluorocyclobutan jako deposiční plyn a etchant. Byl také zkoumán jako chladič v specializovaných aplikacích, jako náhrada pro ozon ničící chlorofluorkarbonské chladiče. Využívaje jeho volatility a chemickou inercnost, může být oktafluorocyclobutan nalezen v některých aerosolizovaných potravinách. Je uveden v Kodexu Alimentarius pod číslem 946 (E946 pro EU). Je zkoumán jako možná náhrada za hexafluorid síry jako dielektrický plyn.
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ