Směsi plynů pro litografii v daleké ultrafialové oblasti (DUV) – laserové směsi ArF pro vlnovou délku 193 nm a KrF pro vlnovou délku 248 nm
- Přehled
- Dotaz
- Související produkty
O produktu
Vyzdvižení
Naše válce procházejí specializovaným procesem pasivace vnitřního povrchu, který vytváří stabilní fluoridovou vrstvu a zabrání reakci směsi se stěnou válce, čímž se zajišťuje dlouhá trvanlivost (až 12–24 měsíců).
Složky ultra-vysoké čistoty: Jako základní plyny používáme pouze neon a krypton/xenon čistoty 6N (99,9999 %), aby byly minimalizovány stopové nečistoty (O₂, H₂O, HF), jež by mohly laser potlačit nebo poškodit optické komponenty.
Odborné bezpečnostní balení: Dodáváme ve specializovaných vysokotlakých válcích z niklové slitiny nebo ošetřené oceli vybavených ventily DISS nebo speciálními ventily pro korozivní prostředí, čímž je zaručena nulová únikovost během mezinárodní dopravy.
O nás
Nejčastější dotazy
Jak zajišťujete bezpečnost a odolnost válců vůči tlaku?
Jaké certifikační dokumenty poskytujete pro válce?
Můžeme válce vrátit do Číny k doplnění plynu?
Jsou válce speciálně upraveny zevnitř?
Můžete přizpůsobit připojení ventilů tak, aby odpovídala mému systému?
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ