Všechny kategorie

Směsi plynů pro litografii v daleké ultrafialové oblasti (DUV) – laserové směsi ArF pro vlnovou délku 193 nm a KrF pro vlnovou délku 248 nm

  • Přehled
  • Dotaz
  • Související produkty

O produktu

Vyzdvižení

Přesné míchání v nanoměřítku: Využíváme pokročilé gravimetrické plnění a regulátory průtoku hmotnosti (MFC), abychom zajistili tolerance plynových směsí až 1 % až 2 %. To zaručuje stálou energii laserového pulzu a stabilitu pro DUV litografii. Vlastní pasivační technologie: F₂ je extrémně reaktivní.
Naše válce procházejí specializovaným procesem pasivace vnitřního povrchu, který vytváří stabilní fluoridovou vrstvu a zabrání reakci směsi se stěnou válce, čímž se zajišťuje dlouhá trvanlivost (až 12–24 měsíců).
Složky ultra-vysoké čistoty: Jako základní plyny používáme pouze neon a krypton/xenon čistoty 6N (99,9999 %), aby byly minimalizovány stopové nečistoty (O₂, H₂O, HF), jež by mohly laser potlačit nebo poškodit optické komponenty.
Odborné bezpečnostní balení: Dodáváme ve specializovaných vysokotlakých válcích z niklové slitiny nebo ošetřené oceli vybavených ventily DISS nebo speciálními ventily pro korozivní prostředí, čímž je zaručena nulová únikovost během mezinárodní dopravy.
Detail shot

O nás

Společnost AGEM byla založena v roce 2008 jako mezinárodní profesionální výrobce a poskytovatel služeb v oblasti plynového zařízení se sídlem na Tchaj-wanu, Čína. Díky 16leté specializované odbornosti v odvětví si její globální přítomnost, vysoce kvalitní výrobní řemeslná dovednost a komplexní sortiment produktů zajistily postavení referenční společnosti v oboru plynového zařízení. Společnost uplatňuje strategii globálního rozvoje a zřídila moderní výrobní základny na čínském pevninském území, na Tchaj-wanu, Čína, a v Indii, čímž vytvořila výrobní a servisní síť pokrývající Asii a sahající do celého světa. Každá z těchto základen je vybavena inteligentními výrobními linkami a přesnými zkušebními zařízeními, což umožňuje kompletní kontrolu celého výrobního procesu – od zpracování surovin až po dodání hotového výrobku. S roční výrobní kapacitou, která pravidelně patří mezi nejvyšší v odvětví, je společnost schopna rychle reagovat na rozmanité potřeby svých zákazníků po celém světě. Hlavní činnost se zaměřuje na klíčové plynové zařízení a zahrnuje kompletní škálu produktů, jako jsou různé průmyslové plyny, specializované plynové uzavírací kohouty, tlakové lahve pro vysoký tlak, lehké hliníkové lahve a vysokopřesné redukční ventily. Tyto produkty nacházejí široké uplatnění v kritických odvětvích, jako jsou chemický průmysl, elektronika, zdravotnictví a energetika. Díky hlubokým technickým znalostem získaly produkty certifikaci systému řízení kvality ISO 9001 a několik autoritativních mezinárodních certifikací, včetně certifikace ASME pro zařízení určená pro vysoký tlak, certifikace CE-PED pro uvedení na trh EU a mezinárodní certifikace IECEx pro výbušné prostředí. Klíčové ukazatele výkonu, jako je těsnicí výkon, odolnost vůči tlaku a bezpečnostní ochrana, dosáhly mezinárodně pokročilé úrovně. Společnost trvale považuje technologickou inovaci za svou základní konkurenční výhodu, shromáždila mezinárodní výzkumný a vývojový tým a neustále investuje do technologických průlomů.
Competitive advantages Customization capabilities Factory profile Company overview Factory profile

Nejčastější dotazy

Jak zajišťujete bezpečnost a odolnost válců vůči tlaku?

Naše válce jsou vyráběny z vysoce kvalitní bezševné legované oceli v přísném souladu se standardy ISO 9809, DOT a EN. Každý válec je před opuštěním továrny podroben hydrostatické zkoušce, zkoušce těsnosti a ultrazvukové kontrole, aby byla zaručena naprostá bezpečnost a spolehlivost za podmínek vysokého tlaku.

Jaké certifikační dokumenty poskytujete pro válce?

Bezpečnost je základním pilířem naší výroby. Naše válce a související produkty jsou plně certifikovány podle hlavních mezinárodních norem, včetně ISO, GB, TPED a DOT.

Můžeme válce vrátit do Číny k doplnění plynu?

Ano, samozřejmě. Nabízíme komplexní službu uzavřeného cyklu doplňování plynu. Jakmile se plyn spotřebuje, můžete prázdné válce zaslat zpět do naší továrny. My zajišťujeme veškeré postupy dovozního celního odbavení a následné operace v rámci Číny. Stačí nás pouze předem upozornit.

Jsou válce speciálně upraveny zevnitř?

U elektronických speciálních plynů poskytujeme zpracování vnitřních stěn broušením a sušením, aby se zabránilo kontaminaci vlhkostí a částicemi a zajistilo se udržení extrémně vysoké čistoty plynu během dlouhodobého skladování.

Můžete přizpůsobit připojení ventilů tak, aby odpovídala mému systému?

Ano. Podporujeme různá mezinárodní standardní připojení, například CGA, DISS, DIN nebo JIS. Před objednáním nás prosíme informujte o svých konkrétních požadavcích a my pro vás vybereme vhodné příslušenství.

KONTAKT