Vysoce čistý CF₄ a O₂ (čistota 6N) ve směsi s vodíkem a argonem pro kalibraci plazmového leptání polovodičů

Dotaz

Přehled
Dotaz
Související produkty

O produktu

Vyzdvižení

Tato ultra-vysoké čistoty kalibrační směs s čistotou 99,9999 % (6N) je specializované technologické plynové řešení navržené speciálně pro náročné požadavky plazmového leptání polovodičů a pokročilých tenkovrstvých procesů. Přesným mícháním tetrafluoridu uhlíku (CF4) a kyslíku (O2) v vyvážené matrici vodíku (H2) a argonu (Ar) tato směs poskytuje přesnou chemickou synergii potřebnou ke kontrole selektivity leptání a anisotropie profilu při výrobě podnanometrových struktur. Čistota stupně 6N zajišťuje, že stopové množství kovových nečistot a vlhkosti jsou prakticky nepřítomny, čímž se zabrání kontaminaci waferů a výrazně se zvyšuje výtěžnost zařízení u komplexních architektur, jako jsou 3D NAND a FinFET. Přítomnost argonu poskytuje nutnou energii iontového bombardování pro fyzikální sputterování, zatímco poměr vodíku a kyslíku je pečlivě kalibrován tak, aby se řídily polymerní pasivační vrstvy, čímž se zaručují výřezy s vysokým poměrem výšky ku šířce a dokonale svislými bočními stěnami. Každá lahve je připravena pomocí pokročilé gravimetrické metody míchání a podrobena proprietární interní pasivaci, aby byla zajištěna stabilita těchto reaktivních složek a aby se jejich koncentrace v průběhu času neodchylovala od stanovené hodnoty. Směs je dodávána s komplexním certifikátem analýzy (CoA) a je stopovatelná do mezinárodních standardů. Je proto ideální volbou pro laboratoře výzkumu a vývoje (R&D) i pro výrobní závody polovodičů s vysokým objemem výroby, které vyžadují absolutní konzistenci své plazmové chemie. Tato „vše-v-jednom“ vyvážená směs zjednodušuje systémy dodávky plynů snížením počtu jednotlivých plynových potrubí, čímž se minimalizují potenciální místa úniku a zefektivňuje se proces kalibrace hmotnostních průtokoměrů (MFC).

O nás

Společnost AGEM byla založena v roce 2008 jako mezinárodní profesionální výrobce a poskytovatel služeb v oblasti plynového zařízení se sídlem na Tchaj-wanu, Čína. Díky 16leté specializované odbornosti v odvětví si její globální přítomnost, vysoce kvalitní výrobní řemeslná dovednost a komplexní sortiment produktů zajistily postavení referenční společnosti v oboru plynového zařízení. Společnost uplatňuje strategii globálního rozvoje a zřídila moderní výrobní základny na čínském pevninském území, na Tchaj-wanu, Čína, a v Indii, čímž vytvořila výrobní a servisní síť pokrývající Asii a sahající do celého světa. Každá z těchto základen je vybavena inteligentními výrobními linkami a přesnými zkušebními zařízeními, což umožňuje kompletní kontrolu celého výrobního procesu – od zpracování surovin až po dodání hotového výrobku. S roční výrobní kapacitou, která pravidelně patří mezi nejvyšší v odvětví, je společnost schopna rychle reagovat na rozmanité potřeby svých zákazníků po celém světě. Hlavní činnost se zaměřuje na klíčové plynové zařízení a zahrnuje kompletní škálu produktů, jako jsou různé průmyslové plyny, specializované plynové uzavírací kohouty, tlakové lahve pro vysoký tlak, lehké hliníkové lahve a vysokopřesné redukční ventily. Tyto produkty nacházejí široké uplatnění v kritických odvětvích, jako jsou chemický průmysl, elektronika, zdravotnictví a energetika. Díky hlubokým technickým znalostem získaly produkty certifikaci systému řízení kvality ISO 9001 a několik autoritativních mezinárodních certifikací, včetně certifikace ASME pro zařízení určená pro vysoký tlak, certifikace CE-PED pro uvedení na trh EU a mezinárodní certifikace IECEx pro výbušné prostředí. Klíčové ukazatele výkonu, jako je těsnicí výkon, odolnost vůči tlaku a bezpečnostní ochrana, dosáhly mezinárodně pokročilé úrovně. Společnost trvale považuje technologickou inovaci za svou základní konkurenční výhodu, shromáždila mezinárodní výzkumný a vývojový tým a neustále investuje do technologických průlomů.

Často kladené otázky

Jaká je doba dodání na míru připravených směsí s čistotou 99,9999 % (6N)?

U plynů ultra vysoké čistoty (UHP), jako je CF4/O2, je typická doba dodání 10 až 15 pracovních dnů. Tato doba zahrnuje přesné míchání a vícestupňové testování stability, aby byla zaručena čistota třídy 6N a přesnost koncentrace.

Jak zaručujete přesnost koncentrace směsi CF4/O2?

Při plnění používáme gravimetrickou metodu (vysoce přesné vážení), což je nejpřesnější technika míchání. Každá lahve je analyzována pomocí plynové chromatografie (GC) a dodává se s certifikátem analýzy (COA), který je stopovatelný k národním standardům nebo ke standardům NIST.

Je tato směs stabilní, i když obsahuje jak vodík H2, tak kyslík O2?

Ano. Přísně dodržujeme bezpečnostní protokoly pro míchání, při nichž je koncentrace hořlavých a oxidačních složek udržována v rámci bezpečných limitů nebo vyvážena argonem (Ar), aby byla zajištěna chemická stabilita a zabráněno jakýmkoli nebezpečným reakcím uvnitř lahve.

Jaký typ lahve a ventilu se používá pro tento polovodičový plyn?

Používáme vnitřně pasivované válce z hliníkové slitiny nebo leštěné nerezové ocelové válce, aby nedocházelo k adsorpci na povrchu. Pro plyny třídy 6N obvykle používáme ventily DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 nebo z nerezové oceli SS 316L, čímž zajišťujeme nulové úniky a zabráníme kontaminaci.

Jaké jsou požadavky na skladování této směsi plynů?

Válce je třeba uchovávat v chladném, suchém a dobře větraném prostředí, mimo přímé sluneční světlo a zdroje tepla (teplota < 50 °C). Válce musí být pevně upevněny ve svislé poloze, aby nedošlo k jejich pádu.

Nabízíte mezinárodní dopravu nebezpečných plynů?

Ano, specializujeme se na logistiku nebezpečných výrobků třídy 2. Poskytujeme kompletní dokumentaci, včetně listů bezpečnostních údajů (MSDS – Material Safety Data Sheet), balení certifikovaného podle norem OSN a prohlášení o nebezpečných výrobcích (DG – Dangerous Goods) pro námořní i leteckou dopravu.