- Přehled
- Dotaz
- Související produkty

Argon (AR), fluor (F2), helium (He), neon (Ne) – Předem smíchané plyny používané k excitaci laseru v oftalmologických excimerových laserových zařízeních jsou převážně fluor a argon, zatímco neon slouží jako vyrovnávací plyn. Lahve dodávané naší společností jsou ocelové; bezpečnost je kontrolována před každým plněním a lahve nesplňující standardy nejsou znovu plněny, nýbrž recyklovány. Excimerové laserové plyny se skládají ze směsi vzácného plynu (inertního plynu) a halogenu. Laserové záření o vlnové délce 193 nm vzniká reakcí plynů Ar a F2 za vhodných podmínek elektrického vzbuzení a vysokého tlaku. Tento proces vyžaduje pokročilou technologii a je schopno ho provádět jen velmi málo plynárenských společností na světě
Excimerové plyny pro částečné modely |
||||||
Značka |
Vlnová délka |
Válec |
Ventil |
|||
Coherent |
193nm |
20 L |
DIN 8 |
|||
B & L |
193nm |
20 L/50 L |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
Zeiss |
193nm |
10L/20 L |
DIN 14 |
|||
VISX |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
NIDEK |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
LASERSIGHT |
193nm |
10 L |
CGA 679 |
|||
Alcon |
193nm |
20L |
DIN8 |
|||
SCHWIND |
193nm |
10 L |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
SUMMIT |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||






AGEM představuje přesně navržené řešení pro potřeby směsí plynů pro excimerové lasery: kalibrační plyn pro kryptonový excimerový laser složený z Xe, Kr a Ne, určený pro náročné aplikace v oblasti fotolitografie a technologických plynů pro polovodičové procesy. Jako důvěryhodný dodavatel specializovaných plynových řešení využívá AGEM desetiletí zkušeností z výroby plynů a výzkumu a vývoje k dodávce kalibračních směsí Kr/Xe/Ne, které splňují přísné požadavky na čistotu, stabilitu a stopovatelnost v průmyslových i laboratorních prostředích.
Přehled produktu a klíčové vlastnosti
Tato směs plynů pro excimerové lasery je formulována tak, aby podporovala systémy excimerových laserů s kryptonem a xenonem a poskytovala přesné kalibrační výsledky pro směsi Kr/Xe/Ne v optických a elektronických výrobních procesech. Kalibrační plyn AGEM pro excimerové lasery s kryptonem – směs Xe, Kr, Ne – je dostupný v přesně stanovených koncentracích s důkladnou verifikací. Směs plynů pro excimerové lasery využívá přísné kontroly kvality a dlouholeté zkušenosti AGEM se specializovanými plynovými řešeními, čímž zajišťuje spolehlivé dodávky a předvídatelné chování za provozních podmínek.
– Čistota a konzistence: AGEM zaručuje vysokou čistotu složek a přesné míchání, čímž vyrábí konzistentní směs plynů pro excimerové lasery. Kalibrační směs Kr/Xe/Ne je vyráběna pomocí ověřených postupů a pokročilých analytických metod, které minimalizují přítomnost nečistot, jež by mohly ovlivnit výkon laseru nebo přesnost kalibrace.
– Sledovatelná kalibrace: Každá lahve kalibračního plynu Kr/Xe/Ne obsahuje certifikát sledovatelnosti a dávkovou dokumentaci, které podporují postupy a systémy kvality v souladu s normou ISO pro polovodičové výrobní závody (Fabs) a laboratoře. Směs plynů pro excimerové lasery je vhodná pro kritickou metrologii, kde jsou nezbytné sledovatelnost a zdokumentovaná kvalita.
– Stabilita a trvanlivost: Složení a balení uchovávají integritu směsi plynů pro excimerové lasery během skladování i přepravy, čímž se snižuje riziko změny složení. Specializovaná řešení plynů od společnosti AGEM zahrnují správu lahví a doporučení pro skladování, aby se zachovala stabilita plynů během provozu.
– Bezpečnost a soulad: Kalibrační plyn Kr/Xe/Ne je vyráběn v souladu s regulačními požadavky a osvědčenými postupy a splňuje bezpečnostní, označovací a manipulační standardy nutné pro průmyslová prostředí a laboratoře. Společnost AGEM poskytuje bezpečnostní listy a technickou podporu pro začlenění do stávajících infrastruktur pro manipulaci s plyny.
Použití
Kalibrační plyn AGEM pro xenonový kryptonový excimerový laser Krypton, směs Xe Kr Ne, je navržen pro řadu aplikací, kde je zásadní přesné složení plynu a jeho kalibrační chování:
– Fotolitografie a mikrofabrikace: Jako směs pro excimerové lasery podporuje tento plyn systémy laserů KrF a XeCl a umožňuje přesné vytváření vzorů a kalibrační úkoly v polovodičovém průmyslu. Kalibrační plyn Kr/Xe/Ne je optimalizován tak, aby zajistil stálé charakteristiky expozice a ověřil parametry výstupu laseru.
– Kalibrace procesních plynů pro polovodiče: Kalibrační směs Kr/Xe/Ne je vhodná pro kalibraci senzorů, regulátorů průtoku a analytických přístrojů používaných při správě procesních plynů v polovodičovém průmyslu. Specializované plynové řešení AGEM poskytuje spolehlivé referenční standardy, které jsou nezbytné pro řízení procesů a optimalizaci výtěžku.
- Výzkum a vývoj: Výzkumné a vývojové laboratoře zabývající se vývojem laserů, optickou metrologií a diagnostikou plynné fáze mohou spoléhat na směsi excimerových laserových plynů od AGEM pro reprodukovatelné experimentální podmínky. Kalibrační plyn Kr/Xe/Ne podporuje vývoj metod, ověřování přístrojů a srovnávací studie.
- Testování optických komponent: Kalibrace spektroskopických systémů, UV detektorů a dalších optických přístrojů využívá přesné formulace kalibračních plynů Kr/Xe/Ne od AGEM. Směs excimerových laserových plynů pomáhá stanovit základní odezvy a ověřit lineární chování přístrojů.
Inovace a technické výhody
AGEM kombinuje odborné znalosti z oblasti vědy o materiálech a inovace v oblasti míchání plynů, čímž poskytuje výrazné technické výhody:
- Pokročilá technologie míchání: AGEM využívá vysoce přesných technologií toku hmoty a míchání k dosažení přesných poměrů směsí excimerových laserových plynů. Tato přesnost při míchání snižuje rozdíly mezi dávkami a zajišťuje kalibrační plyny Kr/Xe/Ne, které spolehlivě fungují v citlivých přístrojích a laserech.
- Spolehlivá záruka kvality: Každá lahve s kalibračním plynem Kr/Xe/Ne je podrobena komplexní analýze pomocí nejmodernějších analytických přístrojů za účelem potvrzení složení a úrovně nečistot. Řešení AGEM pro speciální plyny jsou podporována důkladnou dokumentací a protokoly kontroly kvality navrženými pro prostředí vyžadující vysokou spolehlivost.
- Přizpůsobená řešení: AGEM nabízí individuálně konfigurované směsi kalibračních plynů Kr/Xe/Ne, které splňují konkrétní požadavky zákazníků týkající se koncentrace, velikosti lahve a certifikace. Směs excimerových laserových plynů lze upravit pro konkrétní laserové systémy nebo kalibrační standardy, čímž se dosahuje optimalizovaného výkonu v různých provozních scénářích.
– Globální podpora s místní reaktivitou: Výzkumné a vývojové schopnosti AGEM a jeho globální distribuční síť umožňují rychlou reakci a technickou podporu ve šesti oblastech. Zákazníci profitují z místního dodávání při zachování přístupu k odborným řešením AGEM pro speciální plyny a konzistentní kvalitě produktů.
Technické specifikace – reprezentativní
Kalibrační plyn pro kryptonové excimerové lasery AGEM – směs Xe, Kr, Ne – je dostupný v různých složeních a konfiguracích tlakových lahví. Typické vlastnosti zahrnují: ověřené koncentrace kryptonu, xenonu a neonu v přesně regulovaných poměrech; specifikace nečistot odpovídající požadavkům polovodičového průmyslu a laboratoří; a certifikovanou dokumentaci pro sledovatelnost. AGEM poskytne na vyžádání přesné analytické protokoly a certifikát analýzy.
Doporučení pro použití a manipulaci
– Instalujte a používejte směs plynů pro excimerový laser v souladu s pokyny výrobce pro laserové systémy a infrastrukturu pro manipulaci s plyny. – Dodržujte doporučení AGEM pro skladování a správu tlakových lahví, abyste zajistili neporušenost kalibračního plynu Kr/Xe/Ne. – Pro získání pomoci s kalibračními protokoly, výběrem koncentrací a bezpečnostními opatřeními přizpůsobenými vašemu provoznímu prostředí se obraťte na technický tým AGEM.
Proč si vybrat AGEM
AGEM se zavazuje k nekompromisnímu výkonu svých produktů. Jako tchajwanská společnost zabývající se výrobou plynů a výzkumem a vývojem, specializující se na řešení s využitím speciálních plynů, spojuje AGEM přísnou kontrolu kvality s hlubokými odbornými znalostmi v oblasti elektronických, velkosériových a kalibračních plynů. Zákazníci, kteří pro své kalibrační potřeby s použitím Kr/Xe/Ne vybírají AGEM, získávají přístup k vysoce čistým směsím plynů pro excimerové lasery, spolehlivé dokumentaci a technickou podporu pro polovodičové procesní plyny a přesné optické aplikace.
Pro organizace, které vyžadují spolehlivá řešení pro směsi plynů pro excimerové lasery a přesné kalibrační výkony Kr/Xe/Ne, představuje kalibrační plyn AGEM pro kryptonový excimerový laser – směs plynů Xe, Kr a Ne – vysoce kvalitní, stopovatelnou a přizpůsobitelnou možnost. Tato směs plynů pro excimerové lasery, podporovaná odborností AGEM v oblasti speciálních plynů a přísným zabezpečením kvality, slouží k zásadním aplikacím v oblasti fotolitografie, kalibrace procesních plynů pro polovodiče a výzkumu, kde jsou klíčové stabilita, čistota a dokumentace.
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ