- Oversigt
- Forespørgsel
- Relaterede produkter

Excimer-laser gasblandinger er en kombination af sjældne gasser (argon, krypton, xeon eller neon) og halogengasser (fluor eller klør). Gasblandingen afgør bølgelængden af det producerede DUV-lys. Argon+fluor+neon (193nm) og Krypton+fluor+neon (248nm) er de to mest almindelige blandinger, der bruges. Set i forhold til volumen; udgør neon ca. 96–97,5% af blandingen.


Excimer gasser til delvise modeller |
||||||
Mærke |
Bølgelængde |
Cylindre |
Ventil |
|||
Coherent |
193nm |
20 l |
DIN 8 |
|||
B & L |
193nm |
20 L/50 L |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
Zeiss |
193nm |
10L/20 L |
DIN 8 |
|||
VISX |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
NIDEK |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
LASERSIGHT |
193nm |
10 L |
CGA 679 |
|||
Alcon |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
SCHWIND |
193nm |
20 l |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
SUMMIT |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||











AGEM præsenterer 99,999 % ren krypton-kalibreringsgas Xe Kr Ne-blanding til excimerlaser-gas – en omhyggeligt formuleret højrenhed-noblegasopløsning, der er udviklet til at opfylde de strenge krav inden for avanceret fotonik, halvlederproduktion og præcisionsgas-kalibreringsapplikationer. Denne krypton-kalibreringsgasblanding er konstrueret til ekstraordinær stabilitet og ydeevne og sikrer pålidelig kontrol af excimerlaser-gassystemer samt kalibreringslaboratorier, der kræver ultra-højrenhed-noblegasblandinger. Med årtiers ekspertise sikrer AGEM, at hver cylindervare af excimerlaser-gas leveres i overensstemmelse med strenge kvalitetskrav og giver konsekvente resultater for processer, der afhænger af præcis gas-sammensætning og sporbart dokumentationsniveau.
Produktegenskaber og sammensætning
Kernen i dette produkt er en omhyggeligt afbalanceret blanding af Xe, Kr og Ne, der er udviklet for at optimere excimerlaserens ydeevne, kalibreringsgentagelighed og detektionsfølsomhed. Renhedsgraden på 99,999 % afspejler AGEMs strenge produktionskontroller og avancerede rensningsteknologier. Denne Xe-Kr-Ne-blanding er designet som en krypton-kalibreringsgas og opfylder behovene for excimerlaserens gasforsyning ved at sikre forudsigelige udladningsegenskaber, stabil fotonudgang samt reduceret forureningbetinget nedbrydning. AGEMs sammensætning afpasser forholdet mellem krypton, xenon og neon for at skabe en stabil excimer-laseringsmiljø og samtidig fungere som en alsidig højrenhed-noblegasressource til kalibreringsformål.
Nøgle tekniske fordele
- Uforbeværet renhed: AGEMs krypton-kalibreringsgas opnår 99,999 % renhed gennem flertrinsrenning, fjernelse af forureninger og præcis blanding. Denne højt rene ædelgas minimerer urenheder, der kan ændre excimergasdynamikken eller påvirke kalibreringsresultaterne i analyseinstrumenter.
- Præcis sammensætningskontrol: Hver parti af excimerlaser-gasforsyning gennemgår en streng verifikation af sammensætningen for at sikre, at Xe/Kr/Ne-blandingen overholder de specificerede forhold. Præcis sammensætning er afgørende for konstante excimerlaserbølgelængder, stabil udgangseffekt og reproducerbare kalibreringsstandarder.
- Stramt sporbarhed og dokumentation: AGEM leverer omfattende analysecertifikater og sporbarhedsdokumentation med hver cylinder. Denne sporbarhed er afgørende for laboratorier og produktionssteder, der kræver dokumenteret overholdelse og reproducerbar ydeevne af krypton-kalibreringsgas.
- Lav udgassning og kontaminationskontrol: AGEM’s cylinderhåndtering, passiverings- og emballageprocesser er optimeret til at reducere udgassning og opretholde integriteten af denne højrenhed noble gas under opbevaring og brug.
- Kompatibilitet og tilpasningsevne: Dette excimerlaser-gasforsyningssystem er formuleret til at integreres nahtløst med eksisterende laserkabinetter, gasforsyningssystemer og kalibreringsopsætninger. Blandingen af Xe, Kr og Ne har en tendens til forbedret tændelse af udledning og øget stabilitet, hvilket gør integration nemmere og maksimerer systemets levetid.
Ansøgninger og Anvendelsessager
- Excimerlasere og fotolitografi: Kalibreringsgasblandingen med 99,999 % krypton er ideel til excimerlaser-gasforsyning i fotolitografi og mikromaskinering. Blandingen af Xe, Kr og Ne sikrer stabile laserforhold og konsekvent effekt, hvilket er afgørende for mønsterdannelse med høj opløsning og gentagelige fremstillingsudbytter.
- Laserforskning og -udvikling: Laboratorier, der udvikler eksimerlaserkilder til næste generation, drager fordel af den reproducerbarhed, som denne højrengørede ædelgas tilbyder. Krypton-kalibreringsgassen understøtter eksperimentelle opstillinger, der kræver præcis kontrol med gasammensætning og udledningsegenskaber.
- Kalibreringslaboratorier og analytisk instrumentering: Som krypton-kalibreringsgas anvendes blandingen Xe Kr Ne til gaskalibreringsstandarder og referencegasprotokoller til masse-spektrometri, gaschromatografi og optiske emissionssystemer. Den dokumenterede renhed og sammensætning gør den velegnet til kalibrering af følsom analytisk udstyr.
- Halvlederproceskontrol: I halvlederproduktionen anvendes eksimerlasergasforsyningen til materialbehandlingsprocesser, der kræver nøjagtig energiindførsel og minimal forurening. Den højrengørede ædelgasnatur af denne blanding reducerer defektraterne og forbedrer procesreproducerbarheden.
- Specialiseret fremstilling og metrologi: Brancher, der kræver præcise gasblandinger til tyndfilmdeposition, overfladebehandling eller metrologiinstrumenter, kan stole på AGEM’s krypton-kalibreringsgas for stabil ydelse og langvarig konsekvens.
Innovation og R&D-styrker
AGEM’s baggrund som AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS understreger uafbrudt R&D og kvalitetskontrol, hvilket muliggør innovative tilgange til håndtering og formulering af ædelgasser. Virksomhedens globale serviceområde og forskningskapacitet har drevet forbedringer i leveringen af excimerlaser-gas, herunder næste-generations-Xe-Kr-Ne-blandinger, der fokuserer på forlænget laserlevetid, reducerede mørkstrømme relateret til urenheder og bedre udslagshomogenitet. AGEM investerer i analytisk instrumentering, isotophåndteringsteknikker og avancerede cylindertilberedelsesprocesser for at sikre, at hvert krypton-kalibreringsgasprodukt ikke blot opfylder, men ofte overgår kundens forventninger til ydelse med højren ædelgas.
Kvalitetssikring og overholdelse af lovgivningen
AGEM’s produktions- og testprotokol for denne kalibreringsgas med 99,999 % ren krypton omfatter strengt lækkagetestning, analyse af urenheder ved hjælp af højsensitive detektorer samt certificering på batchniveau. Fornyelseslaser-gasforsyningen fremstilles i kontrollerede miljøer med dokumenterede kvalitetsstyringssystemer. AGEM tilpasser sine praksisfor gasbehandling og mærkning til internationale standarder og leverer sikkerhedsdata samt vejledning til håndtering for kunderne, hvilket sikrer overholdelse af branchens regler og sikre drift af Xe Kr Ne-blandingen i forskellige anvendelsesområder.
Tilgængelighed i forsyningskæden og kundesupport
AGEM's globale distributions- og regionale R&D-tilstedeværelse sikrer pålidelig levering af krypton-kalibreringsgas og omfattende teknisk support. Kunder har adgang til AGEM's ekspertise inden for gasvalg, integrationsstrategier for excimerlaser-gasforsyning samt fejlfinding ved applikationsspecifikke udfordringer. AGEM's logistik- og lagerstyring reducerer risikoen for nedetid i kritiske fremstillingsprocesser, mens tekniske kontaktpersoner hjælper kunder med at tilpasse Xe Kr Ne-blandingsudviklingen til ændrede proceskrav.
Hvorfor vælge AGEM's 99,999 % ren krypton-kalibreringsgas
- Afprøvet sammensætning: Xe Kr Ne-blandingen er optimeret til excimerlaser-gasforsyning og kalibreringsapplikationer og giver gentagelig ydelse i mange forskellige miljøer.
- Højrenhedens pålidelighed: Streng rensning og test sikrer edelgas-ydelse uden forureninger, hvilket understøtter følsomme instrumenter og præcisionsprocesser.
- Dokumenteret sporbarthed: Omfattende analysecertifikater og kvalitetsdokumentation understøtter regulerede arbejdsgange og reproducerbare resultater.
- Ekspertstøtte og global rækkevidde: AGEM’s forsknings- og udviklingsdrevne tilgang samt servicekapacitet i flere regioner muliggør hurtig teknisk assistance og skalerbare leveringsløsninger.
Samlet set betyder det, at AGEMs kalibreringsgas til excimerlaser med 99,999 % ren krypton (Xe Kr Ne-blanding) er en pålidelig og højtydende løsning til kalibrering af krypton, der er tilpasset behovene for excimerlasergasforsyning og præcisionskalibrering. Den højt ren noble gas-sammensætning, de præcise fremstillingskontroller samt AGEMs engagement for produktmæssig fremragende kvalitet gør denne Xe Kr Ne-blanding til et foretrukket valg for brugere, der søger konsekvent og vel-dokumenteret ydeevne inden for avanceret fotonik, halvlederfremstilling og analytiske laboratorier. AGEM følger fortsat udviklingen inden for Xe Kr Ne-blandinger og forbedrer løbende sin excimerlasergasforsyning for at imødegå de ændrede krav fra industrier, der kræver høj præcision.
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ