ΟΛΕΣ

Υψηλής καθαρότητας μείγμα αερίων 6N CF₄/O₂ σε φορέα υδρογόνου και αργού, για διαβάθμιση πλάσματος επεξεργασίας ημιαγωγών

Υψηλής καθαρότητας μείγμα αερίων 6N CF₄/O₂ σε φορέα υδρογόνου και αργού, για διαβάθμιση πλάσματος επεξεργασίας ημιαγωγών

Αίτημα

Επισκόπηση
Αίτημα
Συναφή προϊόντα

Σχετικά με το προϊόν

Χαρακτηριστικό

Αυτό το υπερυψηλής καθαρότητας μείγμα βαθμονόμησης 99,9999% (6N) είναι μια εξειδικευμένη λύση διεργασιακού αερίου που έχει σχεδιαστεί ειδικά για τις απαιτητικές ανάγκες της πλασματικής επεξεργασίας ημιαγωγών και των προηγμένων διεργασιών λεπτών υμενίων. Με την ακριβή ανάμειξη τετραφθοριούχου άνθρακα (CF4) και οξυγόνου (O2) σε ισορροπημένο μήτρα υδρογόνου (H2) και αργού (Ar), αυτό το μείγμα παρέχει την ακριβώς απαιτούμενη χημική συνεργία για τον έλεγχο της επιλεκτικότητας επεξεργασίας και της ανισοτροπίας προφίλ σε κατασκευές υπο-νανομετρικής κλίμακας. Η καθαρότητα βαθμού 6N διασφαλίζει ότι οι ίχνη μεταλλικών ακαθαρσιών και η υγρασία είναι σχεδόν μη υπάρχοντα, προλαμβάνοντας την μόλυνση των πλακιδίων και βελτιώνοντας σημαντικά την απόδοση των συσκευών σε πολύπλοκες αρχιτεκτονικές όπως οι 3D NAND και οι FinFET. Η προσθήκη αργού παρέχει την απαραίτητη ενέργεια πρόσκρουσης ιόντων για τη φυσική εκτόξευση (sputtering), ενώ ο λόγος υδρογόνου/οξυγόνου ρυθμίζεται με ακρίβεια για την προσαρμογή των στρωμάτων πασσίβωσης πολυμερών, διασφαλίζοντας αυλάκια υψηλού λόγου ύψους προς πλάτος με τελείως κατακόρυφες πλευρικές επιφάνειες. Κάθε κύλινδρος παρασκευάζεται με τη χρήση προηγμένης βαρυμετρικής ανάμειξης και υποβάλλεται σε εσωτερική πασσίβωση ιδιοκτησιακής τεχνολογίας, προκειμένου να διασφαλιστεί ότι αυτά τα αντιδραστήρια συστατικά παραμένουν σταθερά και δεν αποκλίνουν από τις καθορισμένες συγκεντρώσεις τους με την πάροδο του χρόνου. Παρέχεται με πλήρη Πιστοποιητικό Ανάλυσης (CoA) και είναι ελέγξιμο ως προς τα διεθνή πρότυπα. Αυτό το «all-in-one» ισορροπημένο μείγμα απλοποιεί τα συστήματα παροχής αερίου μειώνοντας τον αριθμό των ατομικών γραμμών αερίου που απαιτούνται, μειώνοντας έτσι τα δυνητικά σημεία διαρροής και απλοποιώντας τη διαδικασία βαθμονόμησης των ελεγκτών ροής μάζας (MFC).

Σχετικά με εμάς

Η AGEM ιδρύθηκε το 2008 ως πολυεθνικός επαγγελματικός κατασκευαστής και πάροχος υπηρεσιών εξοπλισμού αερίου, με έδρα την Ταϊβάν, Κίνα. Με 16 χρόνια αφοσίωσης στον κλάδο, η παγκόσμια παρουσία της, η ανώτερη τεχνική της κατασκευής και το εκτεταμένο φάσμα προϊόντων της έχουν καθιερώσει την εταιρεία ως πρότυπο στον τομέα του εξοπλισμού αερίου. Η εταιρεία ακολουθεί στρατηγική παγκοσμιοποίησης, δημιουργώντας σύγχρονες βιομηχανικές εγκαταστάσεις παραγωγής στην Κίνα (ηπειρωτική), την Ταϊβάν, Κίνα και την Ινδία, σχηματίζοντας ένα δίκτυο παραγωγής και υπηρεσιών που καλύπτει την Ασία και εκτείνεται παγκοσμίως. Κάθε εγκατάσταση είναι εξοπλισμένη με έξυπνες γραμμές παραγωγής και ακριβή εξοπλισμό δοκιμών, επιτρέποντας έλεγχο σε όλα τα στάδια, από την επεξεργασία των πρώτων υλών μέχρι την παράδοση των τελικών προϊόντων. Με ετήσια δυναμικότητα παραγωγής που κατατάσσεται συνεχώς ανάμεσα στους κορυφαίους του κλάδου, η εταιρεία μπορεί να ανταποκρίνεται γρήγορα στις ποικίλες ανάγκες των πελατών της σε παγκόσμιο επίπεδο. Η κύρια επιχειρηματική δραστηριότητα επικεντρώνεται σε βασικό εξοπλισμό σχετικό με το αέριο, καλύπτοντας ολόκληρο το φάσμα προϊόντων, συμπεριλαμβανομένων διαφόρων βιομηχανικών αερίων, ειδικών βαλβίδων αερίου, υψηλής πίεσης κυλίνδρων, ελαφρών αλουμινίου κυλίνδρων και υψηλής ακρίβειας ρυθμιστών πίεσης. Αυτά τα προϊόντα χρησιμοποιούνται ευρέως σε κρίσιμους τομείς όπως η χημική βιομηχανία, η ηλεκτρονική, η υγειονομική περίθαλψη και ο ενεργειακός τομέας. Με βάση την εμπεριστατωμένη τεχνική της εμπειρογνωμοσύνη, τα προϊόντα της έχουν λάβει πιστοποίηση του Συστήματος Διαχείρισης Ποιότητας ISO 9001 και πολλαπλές αρμόδιες διεθνείς πιστοποιήσεις, συμπεριλαμβανομένης της πιστοποίησης ASME για εξοπλισμό υψηλής πίεσης, της πιστοποίησης CE-PED για την πρόσβαση στην αγορά της ΕΕ και της πιστοποίησης IECEx για αντιεκρηκτική χρήση σε παγκόσμιο επίπεδο. Βασικοί δείκτες απόδοσης, όπως η αεροστεγής λειτουργία, η αντοχή στην πίεση και η προστασία ασφαλείας, έχουν φθάσει σε διεθνώς προηγμένα επίπεδα. Η εταιρεία δίνει συνεχώς προτεραιότητα στην τεχνολογική καινοτομία ως βασικό ανταγωνιστικό πλεονέκτημά της, συγκροτώντας διεθνή ομάδα έρευνας και ανάπτυξης και επενδύοντας συνεχώς σε τεχνολογικές διασπάσεις.

Συχνές Ερωτήσεις

Ποια είναι η προθεσμία παράδοσης προσαρμοσμένων μειγμάτων καθαρότητας 99,9999 % (6N);

Για αέρια υπερυψηλής καθαρότητας (UHP), όπως το CF4/O2, η τυπική προθεσμία παράδοσης είναι 10–15 εργάσιμες ημέρες. Αυτό περιλαμβάνει την ακριβή ανάμειξη και δοκιμές σταθερότητας σε πολλαπλά στάδια, για να διασφαλιστεί η καθαρότητα βαθμού 6N και η ακρίβεια της συγκέντρωσης.

Πώς εγγυάστε την ακρίβεια της συγκέντρωσης του μείγματος CF4/O2;

Χρησιμοποιούμε την γραβιμετρική μέθοδο (υψηλής ακρίβειας ζύγιση) κατά τη γέμιση, η οποία είναι η πιο ακριβής τεχνική ανάμειξης. Κάθε κύλινδρος αναλύεται με Χρωματογραφία Αερίων (GC) και συνοδεύεται από Πιστοποιητικό Ανάλυσης (COA) ελέγξιμο έως τα πρότυπα NIST ή εθνικά πρότυπα.

Είναι σταθερό αυτό το μείγμα, δεδομένου ότι περιέχει ταυτόχρονα Υδρογόνο (H2) και Οξυγόνο (O2);

Ναι. Ακολουθούμε αυστηρά τα πρωτόκολλα ασφαλούς ανάμειξης, σύμφωνα με τα οποία η συγκέντρωση εύφλεκτων και οξειδωτικών συστατικών διατηρείται εντός ασφαλών ορίων ή ισορροπείται με Αργό (Ar), προκειμένου να εξασφαλιστεί η χημική σταθερότητα και να αποτραπούν ενδεχόμενες επικίνδυνες αντιδράσεις εντός του κυλίνδρου.

Ποιου τύπου κύλινδρος και βαλβίδα χρησιμοποιούνται για αυτό το αέριο ημιαγωγών;

Χρησιμοποιούμε εσωτερικά παθιβοποιημένους κυλίνδρους αλουμινίου ή λεπτοπολυμένους κυλίνδρους ανοξείδωτου χάλυβα για να αποτρέψουμε την επιφανειακή πρόσληψη. Για αέρια βαθμού 6N, εξοπλίζουμε συνήθως με βαλβίδες ανοξείδωτου χάλυβα DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 ή SS 316L, για να διασφαλίσουμε μηδενική διαρροή και να αποτρέψουμε τη μόλυνση.

Ποιες είναι οι απαιτήσεις αποθήκευσης για αυτό το μείγμα αερίων;

Οι κύλινδροι πρέπει να αποθηκεύονται σε δροσερό, στεγνό και καλά αεριζόμενο χώρο, μακριά από την άμεση ηλιακή ακτινοβολία και από πηγές θερμότητας (θερμοκρασία < 50 °C). Να διασφαλίζεται ότι οι κύλινδροι είναι στερεωμένοι κατακόρυφα για να αποτρέπεται η πτώση τους.

Προσφέρετε παγκόσμια αποστολή επικίνδυνων αερίων;

Ναι, ειδικευόμαστε στην εφοδιαστική αλυσίδα επικίνδυνων αγαθών κατηγορίας 2. Παρέχουμε πλήρη τεκμηρίωση, συμπεριλαμβανομένου του MSDS (Material Safety Data Sheet), συσκευασίας πιστοποιημένης από τα Ηνωμένα Έθνη και δηλώσεων DG (Dangerous Goods) για μεταφορά με θάλασσα ή αέρα.