EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Παροχή αερίου Εξαφθοροβουταδιενίου (C4F6), καθαρότητας 99,999%, όγκου 10 L ή 8 L, για εφαρμογές υψηλής τεχνολογίας και κατασκευή ηλεκτρονικών
- Επισκόπηση
- Ερώτηση
- Σχετικά Προϊόντα
Για το προϊόν
Να τονίσει
Καθαρότητα Ηλεκτρονικής Βαθμίδας για την Κατασκευή Ημιαγωγών: Το C4F6 της εταιρείας μας διατίθεται σε βαθμίδες υπερυψηλής καθαρότητας μέχρι 5N (99,999 %), με εξαιρετικά χαμηλά επίπεδα ακαθαρσιών, συμπεριλαμβανομένων οξυγόνου (O2), υγρασίας (H2O) και υδρογονανθράκων, διασφαλίζοντας ανώτερη σταθερότητα πλάσματος, συνεπή απόδοση κατεργασίας με πλάσμα και υψηλή επαναληψιμότητα διαδικασίας, που απαιτούνται για την προχωρημένη κατασκευή ημιαγώγιμων συσκευών. Βελτιστοποιημένο για Προχωρημένες Εφαρμογές Κατεργασίας με Πλάσμα: Το C4F6 έχει σχεδιαστεί ειδικά για διαδικασίες κατεργασίας με πλάσμα υψηλής ακρίβειας, συμπεριλαμβανομένης της κατεργασίας διηλεκτρικών, της κατεργασίας οξειδίου, της προτυποποίησης υλικών χαμηλής διηλεκτρικής σταθεράς (low-k) και του ελέγχου κρίσιμων διαστάσεων (critical dimension), προσφέροντας ανώτερη εκλεκτικότητα, ισχυρή ικανότητα ανισότροπης κατεργασίας και βελτιωμένη ακρίβεια προφίλ σε σύγκριση με συμβατικά φθοροϋδρογονάνθρακα όπως το CF4, το C2F6 και το C3F8, καθιστώντάς το ιδανικό για την κατασκευή προχωρημένων λογικών κυκλωμάτων, μνημών και συστημάτων MEMS. Εναλλακτικό Αέριο με Χαμηλό Δυναμικό Θέρμανσης του Πλανήτη (GWP): Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά περιφθοροϋδρογονάνθρακα, το C4F6 προσφέρει υψηλότερη απόδοση κατεργασίας, χαμηλότερη κατανάλωση αερίου και μειωμένη περιβαλλοντική επίδραση, βοηθώντας τους κατασκευαστές ημιαγωγών να επιτύχουν τους στόχους τους για βιωσιμότητα, διατηρώντας παράλληλα υψηλή απόδοση παραγωγής και απόδοση. Αυστηρός Έλεγχος Ακαθαρσιών και Υγρασίας: Χρησιμοποιούμε προηγμένα συστήματα καθαρισμού αερίων, ακριβή αναλυτικά όργανα και αυστηρά πρωτόκολλα ελέγχου ποιότητας για να διασφαλίσουμε υγρασία (H2O) ≤ 1 ppm, οξυγόνο (O2) ≤ 1 ppm και συνολικούς υδρογονάνθρακες ≤ 1 ppm, αποτρέποντας αποτελεσματικά την μόλυνση των πλακιδίων, την αστάθεια του πλάσματος και τα ελαττώματα διαδικασίας, και διασφαλίζοντας συνεπή και αξιόπιστη απόδοση κατεργασίας ημιαγωγών. Πιστοποιημένοι Κύλινδροι με Επεξεργασία Επιφάνειας Βαθμίδας Ημιαγωγών: Το C4F6 μας παρέχεται σε τυπικά μεγέθη κυλίνδρων 47 L, 10 L και προσαρμοστικά μεγέθη, κατασκευασμένα σύμφωνα με τα πρότυπα ISO 9809, DOT 3AA και TPED EN, με προαιρετική εσωτερική ηλεκτρολυτική λείανση (electropolishing) και παθητικοποίηση (passivation) για την ελαχιστοποίηση της παραγωγής σωματιδίων, την πρόληψη μόλυνσης του αερίου και τη διατήρηση υπερυψηλής καθαρότητας του αερίου κατά την αποθήκευση και τη χρήση.
Σχετικά με εμάς
Η AGEM ιδρύθηκε το 2008 ως πολυεθνικός επαγγελματικός κατασκευαστής και πάροχος υπηρεσιών εξοπλισμού αερίου, με έδρα την Ταϊβάν, Κίνα. Με 16 χρόνια αφοσίωσης στον κλάδο, η παγκόσμια παρουσία της, η ανώτερη τεχνική της κατασκευής και το εκτεταμένο φάσμα προϊόντων της έχουν καθιερώσει την εταιρεία ως πρότυπο στον τομέα του εξοπλισμού αερίου. Η εταιρεία ακολουθεί στρατηγική παγκοσμιοποίησης, δημιουργώντας σύγχρονες βιομηχανικές εγκαταστάσεις παραγωγής στην Κίνα (ηπειρωτική), την Ταϊβάν, Κίνα και την Ινδία, σχηματίζοντας ένα δίκτυο παραγωγής και υπηρεσιών που καλύπτει την Ασία και εκτείνεται παγκοσμίως. Κάθε εγκατάσταση είναι εξοπλισμένη με έξυπνες γραμμές παραγωγής και ακριβή εξοπλισμό δοκιμών, επιτρέποντας έλεγχο σε όλα τα στάδια, από την επεξεργασία των πρώτων υλών μέχρι την παράδοση των τελικών προϊόντων. Με ετήσια δυναμικότητα παραγωγής που κατατάσσεται συνεχώς ανάμεσα στους κορυφαίους του κλάδου, η εταιρεία μπορεί να ανταποκρίνεται γρήγορα στις ποικίλες ανάγκες των πελατών της σε παγκόσμιο επίπεδο. Η κύρια επιχειρηματική δραστηριότητα επικεντρώνεται σε βασικό εξοπλισμό σχετικό με το αέριο, καλύπτοντας ολόκληρο το φάσμα προϊόντων, συμπεριλαμβανομένων διαφόρων βιομηχανικών αερίων, ειδικών βαλβίδων αερίου, υψηλής πίεσης κυλίνδρων, ελαφρών αλουμινίου κυλίνδρων και υψηλής ακρίβειας ρυθμιστών πίεσης. Αυτά τα προϊόντα χρησιμοποιούνται ευρέως σε κρίσιμους τομείς όπως η χημική βιομηχανία, η ηλεκτρονική, η υγειονομική περίθαλψη και ο ενεργειακός τομέας. Με βάση την εμπεριστατωμένη τεχνική της εμπειρογνωμοσύνη, τα προϊόντα της έχουν λάβει πιστοποίηση του Συστήματος Διαχείρισης Ποιότητας ISO 9001 και πολλαπλές αρμόδιες διεθνείς πιστοποιήσεις, συμπεριλαμβανομένης της πιστοποίησης ASME για εξοπλισμό υψηλής πίεσης, της πιστοποίησης CE-PED για την πρόσβαση στην αγορά της ΕΕ και της πιστοποίησης IECEx για αντιεκρηκτική χρήση σε παγκόσμιο επίπεδο. Βασικοί δείκτες απόδοσης, όπως η αεροστεγής λειτουργία, η αντοχή στην πίεση και η προστασία ασφαλείας, έχουν φθάσει σε διεθνώς προηγμένα επίπεδα. Η εταιρεία δίνει συνεχώς προτεραιότητα στην τεχνολογική καινοτομία ως βασικό ανταγωνιστικό πλεονέκτημά της, συγκροτώντας διεθνή ομάδα έρευνας και ανάπτυξης και επενδύοντας συνεχώς σε τεχνολογικές διασπάσεις.
Συχνές Ερωτήσεις
Ποια βαθμίδα καθαρότητας C4F6 προσφέρετε;
Προσφέρουμε C4F6 βαθμού ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων των βαθμίδων 4N (99,99 %), 4,5N (99,995 %) και 5N (99,999 %). Υψηλότερες βαθμίδες καθαρότητας είναι διαθέσιμες κατόπιν αιτήματος.
Ποιες είναι οι τυπικές εφαρμογές του C4F6;
Το C4F6 χρησιμοποιείται κυρίως στην πλάσμα ετσινγκ ημιαγωγών, την ετσινγκ διηλεκτρικού στρώματος, την ετσινγκ οξειδίων, την ετσινγκ χαμηλού-k διηλεκτρικού, την κατασκευή ΜΕΜS και την προχωρημένη κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
Ποια μεγέθη κυλίνδρων είναι διαθέσιμα;
Η τυπική συσκευασία περιλαμβάνει κύλινδρο 47 L, κύλινδρο 10 L, κύλινδρο 8 L και προσαρμοστικούς κυλίνδρους κατόπιν αιτήματος. Η ηλεκτρολυτική λείανση του εσωτερικού του κυλίνδρου είναι διαθέσιμη για εφαρμογές ημιαγωγών.
Ποια είναι η τυπική πίεση γεμίσματος και το τυπικό βάρος γεμίσματος;
Οι τυπικές παράμετροι γεμίσματος περιλαμβάνουν πίεση γεμίσματος έως 13–15 MPa και βάρος γεμίσματος περίπου 20–25 kg σε κύλινδρο 47 L. Το ακριβές βάρος γεμίσματος εξαρτάται από τη βαθμίδα καθαρότητας και τις απαιτήσεις του πελάτη.
Ποιος τύπος βαλβίδας χρησιμοποιείται για τους κυλίνδρους C4F6;
Οι συνηθέστεροι τύποι βαλβίδων περιλαμβάνουν τις CGA 716, DISS 716 και εξειδικευμένες βαλβίδες για ημιαγωγούς. Η επιλογή βαλβίδων μπορεί να προσαρμοστεί βάσει περιφερειακών προτύπων.
Πώς διασφαλίζετε την καθαρότητα και τη σταθερότητα των αερίων;
Διασφαλίζουμε την ποιότητα μέσω προηγμένων συστημάτων καθαρισμού αερίων, τεχνολογίας αφαίρεσης υγρασίας και οξυγόνου, ανάλυσης με χρωματογραφία αερίων (GC) και παρέχουμε Πιστοποιητικό Ανάλυσης (COA) με κάθε κύλινδρο.
Ποιος είναι ο χρόνος παράδοσης;
Ο τυπικός χρόνος παράδοσης είναι 15 έως 25 ημέρες μετά τη λήψη της προκαταβολής. Επιταχυνόμενη παράδοση είναι διαθέσιμη, ανάλογα με τη διαθεσιμότητα αποθέματος και την ετοιμότητα των κυλίνδρων.
Με ποια πιστοποιητικά συμμορφώνονται οι κύλινδροί σας;
Οι κύλινδροί μας συμμορφώνονται με τα πρότυπα ISO 9809, DOT 3AA, TPED και EN. Εξωτερική επιθεώρηση από τρίτο μέρος είναι διαθέσιμη κατόπιν αιτήματος.
