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- Descripción general
- Consulta
- Productos relacionados
C5F8 Gas Octafluorociclopenteno
Ampliamente utilizado en el proceso de etching de fabricación de dispositivos semiconductores, especialmente para el tamaño y etching selectivo de las características geométricas más pequeñas (como el ancho de las líneas de interconexión, contactos, trincheras, etc.)
