EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Mezcla gaseosa de alta pureza (6N) de CF4 y O2 en equilibrio con hidrógeno y argón, para calibración de grabado por plasma en semiconductores
Consulta
Wuhan Air Gas Electronic
Wuhan Air Gas Electronic
Materials Enterprise Co., Ltd.
Contacto y ventas
Email
[email protected]
Tel. / WeChat / WhatsApp
+86 158 0713 4086
|
WhatsApp
Tel. / Fax
TEL:+886-7-621 8118En el fax:+886-7-621 8998
Habitación 02, planta 10, unidad 1, fase I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
- Resumen
- Consulta
- Productos relacionados
Acerca del producto
Destacado
Esta mezcla de calibración de ultraalta pureza al 99,9999 % (6N) es una solución especializada de gases de proceso diseñada específicamente para satisfacer las exigentes demandas de la grabación por plasma en semiconductores y los procesos avanzados de películas delgadas. Al mezclar con precisión tetrafluoruro de carbono (CF4) y oxígeno (O2) dentro de una matriz equilibrada de hidrógeno (H2) y argón (Ar), esta mezcla ofrece la sinergia química exacta necesaria para controlar la selectividad de grabado y la anisotropía del perfil en la fabricación subnanométrica. La pureza de grado 6N garantiza que las impurezas metálicas residuales y la humedad sean prácticamente inexistentes, evitando la contaminación de obleas y mejorando significativamente el rendimiento de dispositivos en arquitecturas complejas como NAND tridimensional y FinFET. La inclusión de argón aporta la energía de bombardeo iónico necesaria para la pulverización física, mientras que la relación H2/O2 se calibra minuciosamente para ajustar las capas de pasivación polimérica, asegurando zanjas de alta relación de aspecto con paredes laterales perfectamente verticales. Cada cilindro se prepara mediante mezcla gravimétrica avanzada y sometido a una pasivación interna patentada, lo que garantiza que estos componentes reactivos permanezcan estables y no se desvíen de la concentración especificada con el tiempo. Se suministra con un certificado completo de análisis (CoA) y es rastreable hasta estándares internacionales; esta mezcla constituye la opción ideal para laboratorios de I+D y fábricas de semiconductores de alta producción que requieren una consistencia absoluta en su química de plasma. Esta mezcla equilibrada «todo en uno» simplifica los sistemas de suministro de gas al reducir el número de líneas individuales necesarias, minimizando así los posibles puntos de fuga y agilizando el proceso de calibración de los controladores de flujo másico (MFC).
Sobre nosotros
AGEM fue fundada en 2008 como fabricante y proveedor de servicios profesional multinacional de equipos para gases, con sede central en Taiwán, China. Con 16 años de experiencia especializada en el sector, su presencia global, su excelencia en la fabricación y su amplia cartera de productos han consolidado su posición como empresa de referencia en el sector de los equipos para gases. La compañía sigue una estrategia de desarrollo globalizado, estableciendo bases modernas de producción en la China continental, Taiwán, China y la India, lo que le permite conformar una red de producción y servicios que abarca Asia y se extiende a nivel mundial. Cada base está equipada con líneas de producción inteligentes y equipos de ensayo de precisión, lo que posibilita un control integral del proceso, desde el tratamiento de las materias primas hasta la entrega del producto terminado. Con una capacidad anual de producción que constantemente figura entre las más altas del sector, la empresa puede responder con rapidez a las diversas necesidades de sus clientes globales. Su actividad principal se centra en equipos nucleares relacionados con los gases, abarcando una gama completa de productos que incluye diversos gases industriales, válvulas especializadas para gases, cilindros de alta presión, cilindros ligeros de aluminio y reductores de presión de alta precisión. Estos productos se aplican ampliamente en sectores críticos como el químico, el electrónico, el sanitario y el energético. Gracias a su profundo conocimiento técnico, los productos cuentan con la certificación del Sistema de Gestión de la Calidad ISO 9001 y múltiples certificaciones internacionales reconocidas, tales como la certificación ASME para equipos de alta presión, la certificación CE-PED para el acceso al mercado de la Unión Europea y la certificación IECEx para protección contra explosiones, válida a escala global. Indicadores clave de rendimiento, como el desempeño de estanqueidad, la resistencia a la presión y la protección de seguridad, han alcanzado niveles internacionalmente avanzados. La empresa prioriza constantemente la innovación tecnológica como su principal ventaja competitiva, contando con un equipo internacional de investigación y desarrollo e invirtiendo continuamente en avances tecnológicos.
Preguntas frecuentes
¿Cuál es el plazo de entrega para mezclas personalizadas de pureza 99,9999 % (6N)?
Para gases de ultraalta pureza (UHP), como CF4/O2, el plazo de entrega típico es de 10 a 15 días hábiles. Esto incluye la mezcla precisa y ensayos de estabilidad en varias etapas para garantizar la pureza grado 6N y la exactitud de la concentración.
¿Cómo garantizan la exactitud de la concentración de la mezcla CF4/O2?
Utilizamos el método gravimétrico (pesaje de alta precisión) durante el llenado, que es la técnica de mezcla más exacta. Cada cilindro se analiza mediante cromatografía de gases (GC) y se acompaña de un Certificado de Análisis (COA) rastreable hasta los estándares del NIST o estándares nacionales.
¿Es estable esta mezcla, dado que contiene tanto hidrógeno (H2) como oxígeno (O2)?
Sí. Seguimos estrictamente los protocolos de seguridad para mezclas, manteniendo la concentración de componentes inflamables y oxidantes dentro de límites seguros o equilibrándolos con argón (Ar) para garantizar la estabilidad química y prevenir cualquier reacción peligrosa dentro del cilindro.
¿Qué tipo de cilindro y válvula se utilizan para este gas semiconductor?
Utilizamos cilindros de aleación de aluminio con pasivación interna o cilindros de acero inoxidable pulido para evitar la adsorción superficial. Para gases de grado 6N, normalmente los equipamos con válvulas de acero inoxidable DISS (Sistema Digital Inteligente de Programación) 660 o SS 316L, garantizando cero fugas y evitando la contaminación.
¿Cuáles son los requisitos de almacenamiento para esta mezcla gaseosa?
Los cilindros deben almacenarse en un lugar fresco, seco y bien ventilado, lejos de la luz solar directa y de fuentes de calor (temperatura < 50 °C). Asegúrese de que los cilindros estén sujetos verticalmente para evitar caídas.
¿Ofrecen envío internacional para gases peligrosos?
Sí, nos especializamos en la logística de mercancías peligrosas Clase 2. Proporcionamos toda la documentación necesaria, incluida la FDS (Ficha de Datos de Seguridad), embalaje certificado por la ONU y declaraciones de mercancías peligrosas (DG) para transporte marítimo o aéreo.
