EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Korkean puhtauden (6N) CF4 ja O2 -kaasuseos vety- ja argontasapainossa puolijohteiden plasmaprosoissa käytettävää kalibrointia varten
Pyyntö
Wuhan Air Gas Electronic
Wuhan Air Gas Electronic
Materials Enterprise Co., Ltd
Yhteys ja myynti
Sähköposti
[email protected]
Puhelimen, WeChatin ja WhatsAppin numero
+ 86 158 0713 4086
|
Whatsapp
Puhelin / faksi
PUH:+886-7-621 8118Faksit:+886-7-621 8998
Huone 02, 10. kerros, yksikkö 1, vaihe I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, Kiina
- Yleiskatsaus
- Pyyntö
- Liittyvät tuotteet
Tuotteen tiedot
Erityispiirteet
Tämä erinomaisen korkean puhtauden (99,9999 %, 6N) kalibrointiseos on erityisesti suunniteltu prosessikaasuratkaisu, joka täyttää puolijohteiden plasmaprojektointi- ja edistettyjen ohutkalvoprosessien tiukat vaatimukset. Täsmällisesti sekoittamalla hiilitetrafluoridia (CF4) ja happikkaa (O2) tasapainoisessa vetyä (H2) ja argonia (Ar) sisältävässä matriisissa tämä seos tarjoaa tarkasti sen kemiallisen synergian, jota tarvitaan kaiverruksen valikoivuuden ja profiilin anisotropian hallintaan alananometrisessä valmistuksessa. 6N-luokan puhtaus takaa, että jäljellä olevat metallipitoisuudet ja kosteus ovat käytännössä olemattomia, mikä estää piilevyjen kontaminaation ja parantaa merkittävästi laitteen tuottavuutta monimutkaisissa arkkitehtuureissa, kuten 3D NAND- ja FinFET-rakenteissa. Argonin lisääminen tarjoaa tarvittavan ionipommitusenergian fysikaalista sputterointia varten, kun taas vetyyn/happoon -suhde on huolellisesti kalibroitu säätämään polymeeripassivoitumakerroksia, mikä varmistaa korkean suhteellisen syvyyden urat täydellisin pystysuorin sivuseinämin. Jokainen säiliö valmistetaan edistyneellä gravimetrisellä sekoitusmenetelmällä ja käsitellään omien sisäisten passivoitumismenettelyjemme mukaisesti, jotta nämä reaktiiviset komponentit pysyvät vakaina eivätkä poikkea määritellystä pitoisuudesta ajan myötä. Seos toimitetaan kattavan analyysitodistuksen (CoA) kanssa ja on jäljitettävissä kansallisilla standardeilla. Tämä seos on ideaalinen valinta tutkimus- ja kehityslaboille sekä suuritehoisille puolijohdefabrikoille, jotka vaativat absoluuttista yhtenäisyyttä plasmakemiassaan. Tämä "kaikki-yhdessä" -tasapainotettu seos yksinkertaistaa kaasutoimitusjärjestelmiä vähentämällä tarvittavien yksittäisten kaasuputkien määrää, mikä vähentää mahdollisia vuotoja ja tehostaa massavirtasäätimen (MFC) kalibrointiprosessia.
Meistä
AGEM perustettiin vuonna 2008 monikansalisena ammattimaisena kaasulaitteita valmistavana ja palveluita tarjoavana yrityksenä, jonka pääkonttori sijaitsee Taiwanissa, Kiinassa. Yrityksellä on 16 vuoden kokemus alalta, ja sen maailmanlaajuinen läsnäolo, erinomainen valmistustaito sekä kattava tuotevalikoima ovat vahvistaneet sen asemaa vertailukohtana kaasulaitteiden alalla. Yritys noudattaa globalisaatiota edistävää kehitysstrategiaa ja on perustanut modernit tuotantokeskuksensa Kiinan kiinteällä mantereella, Taiwanissa, Kiinassa ja Intiassa, muodostaen tuotanto- ja palveluverkoston, joka kattaa Aasian ja ulottuu maailmanlaajuisesti. Jokainen tuotantokeskus on varustettu älykkäillä tuotantolinjoilla ja tarkkuustestauslaitteistoilla, mikä mahdollistaa koko prosessin hallinnan raaka-aineiden käsittelystä valmiin tuotteen toimitukseen saakka. Vuotuinen tuotantokapasiteetti kuuluu jatkuvasti alan johtaviin, mikä mahdollistaa nopean reagoinnin maailmanlaajuisten asiakkaiden monimuotoisiin tarpeisiin. Yrityksen ydinalaan kuuluvat kaasuun liittyvät ydinlaitteet, mukaan lukien erilaiset teollisuuskaasut, erikoisvalmistetut kaasuvanntimet, korkeapaineiset säiliöt, kevyet alumiinisäiliöt ja korkean tarkkuuden paineenalennusventtiilit. Nämä tuotteet ovat laajalti käytössä kriittisissä aloissa, kuten kemian-, elektroniikka-, terveydenhuollon ja energiateollisuudessa. Syvällisen teknisen asiantuntemuksen ansiosta tuotteet ovat saaneet ISO 9001 -laatujärjestelmäsertifikaatin sekä useita tunnettuja kansainvälisiä sertifikaatteja, kuten ASME-sertifikaatin korkeapaineisille laitteille, CE-PED-sertifikaatin EU-markkinoille ja IECEx-rikkipäästösuojatun laitteiston sertifikaatin maailmanlaajuisiin sovelluksiin. Tärkeimmät suorituskykyindikaattorit, kuten tiukkuus, painekestävyys ja turvallisuussuojaus, ovat saavuttaneet kansainvälisesti edistyneen tason. Yritys pitää jatkuvasti teknologista innovaatiota keskitettynä kilpailuetunaan ja on koonnut kansainvälisen tutkimus- ja kehitystiimin sekä investoi jatkuvasti teknologisiin läpimurtoihin.
Usein kysytyt kysymykset
Mikä on toimitusaika räätälöityihin 99,9999 % (6N) puhtausseoksiin?
Erittäin korkean puhtaustason (UHP) kaasuille, kuten CF4/O2-seokselle, tyypillinen toimitusaika on 10–15 arkipäivää. Tähän sisältyy tarkka sekoitus ja monitasoinen vakauskoe, jolla varmistetaan 6N-luokan puhtaus ja pitoisuuden tarkkuus.
Miten taatte pitoisuuden tarkkuuden CF4/O2-seoksessa?
Käytämme täytön aikana gravimetristä menetelmää (korkean tarkkuuden punnitus), joka on tarkin sekoitustekniikka. Jokainen säiliö analysoidaan kaasukromatografialla (GC) ja toimitetaan NIST:n tai kansallisten standardien mukaisella analyysitodistuksella (COA).
Onko tämä seos vakaa, koska siinä on sekä vetyä (H2) että happia (O2)?
Kyllä. Noudatamme tiukasti turvallisia sekoitusprotokollia, joissa syttyvien ja hapettavien komponenttien pitoisuudet pidetään turvallisissa rajoissa tai tasapainotetaan argonilla (Ar), mikä varmistaa kemiallisen vakauden ja estää vaarallisiat reaktiot säiliössä.
Minkä tyyppistä säiliötä ja venttiiliä käytetään tähän puolijohdekaasuun?
Käytämme sisäisesti passivoituja alumiiniseoksensisäisiä säiliöitä tai kiillotettuja ruostumatonta terästä -säiliöitä pinnan adsorption estämiseksi. 6N-luokan kaasuille varustamme yleensä DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 -tai SS 316L -ruostumatonta terästä -venttiileillä varmistaaksemme nollatihentymän ja kontaminaation eston.
Mitkä ovat tämän kaasuseoksen säilytysvaatimukset?
Säiliöt tulee säilyttää viileässä, kuivassa ja hyvin tuuletetussa paikassa, suorilta auringonsäteiltä ja lämmönlähteiltä (lämpötila < 50 °C). Varmista, että säiliöt ovat kiinnitettyjä pystyasentoon kaatumisen estämiseksi.
Tarjoatteko maailmanlaajuista kuljetusta vaarallisille kaasuille?
Kyllä, erikoistumme luokan 2 vaarallisten aineiden logistiikkaan. Tarjoamme täydelliset asiakirjat, mukaan lukien MSDS (Material Safety Data Sheet), YK-todistetun pakkausmateriaalin ja DG (Dangerous Goods) -ilmoitukset meri- tai ilmakuljetuksia varten.
