EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Korkealaatuinen, 99,999 %:n puhtausasteella varustettu 10 litran ja 8 litran C₄F₆-hexafluoributadieeni-kaasutoimitus korkeateknologisiin sovelluksiin ja elektroniikkateollisuuden valmistukseen
- Yleiskatsaus
- Kysely
- Aiheeseen liittyvät tuotteet
Tietoa tuotteesta
Korostettu
Elektroniikkaluokan puhdistusaste puolijohdevalmistukseen: Meidän C4F6-tuotteemme on saatavilla erinomaisen korkean puhdistusasteen versioissa, jopa 5N (99,999 %), joissa epäpuhtauksien määrä on erinomaisen alhainen, mukaan lukien happi (O2), kosteus (H2O) ja hiilivedyt. Tämä takaa erinomaisen plasman vakauden, yhtenäisen etäysuorituksen ja korkean prosessitoistettavuuden, jotka ovat välttämättömiä edistyneiden puolijohdelaitteiden valmistukseen. Optimoidu käsittelyyn edistyneissä plasma-etäyssovelluksissa: C4F6 on erityisesti suunniteltu tarkkoihin plasma-etäysprosesseihin, kuten dielektristen kerrosten etäytykseen, hapasokerkerrosten etäytykseen, alhaisen k-materiaalin kuvioinniin ja kriittisen mitan säätöön. Se tarjoaa paremman valikoitavuuden, anisotrooppisen etäyskyvyn ja parannetun profiilin tarkkuuden verrattuna perinteisiin fluorikarbonikaasuun, kuten CF4:ään, C2F6:een ja C3F8:aan, mikä tekee siitä ideaalin valinnan edistyneiden logiikka-, muisti- ja MEMS-valmistusten tarpeisiin. Alhainen ilmastovaikutus (GWP): Vertailussa perinteisiin perfluorikarbonikaasuihin C4F6 tarjoaa tehokkaamman etäyksen, pienemmän kaasukulutuksen ja vähäisemmän ympäristövaikutuksen, mikä auttaa puolijohdeteollisuutta saavuttamaan kestävyystavoitteensa säilyttäen samalla korkean tuotannon suorituskyvyn ja hyödyntävyyden. Tiukka epäpuhtauksien ja kosteuden hallinta: Käytämme edistyneitä kaasupuhdistusjärjestelmiä, tarkkoja analyysilaitteita ja tiukkoja laadunvalvontaprotokollia varmistaaksemme, että kosteuden (H2O) pitoisuus on ≤ 1 ppm, hapen (O2) pitoisuus on ≤ 1 ppm ja kokonaishiilivetyjen pitoisuus on ≤ 1 ppm. Tämä estää tehokkaasti piilevien levyjen kontaminaation, plasman epävakauden ja prosessivirheet, mikä taataan yhtenäisen ja luotettavan puolijohdeprosessointisuorituksen. Sertifioituja sylinterejä, joissa on puolijohdealuokan pinnankäsittely: C4F6-tuotteemme toimitetaan standardikokoisissa 47 litran ja 10 litran sylintereissä sekä asiakaskohtaisissa kokoissa. Sylinterit valmistetaan ISO 9809-, DOT 3AA- ja TPED EN -standardien mukaisesti, ja niissä on mahdollinen sisäinen elektropolttaminen ja passivaatio, joka minimoi hiukkasten muodostumisen, estää kaasun kontaminaation ja säilyttää erinomaisen kaasun puhdistusasteen varastoinnin ja käytön aikana.
Meistä
AGEM perustettiin vuonna 2008 monikansalisena ammattimaisena kaasulaitteita valmistavana ja palveluita tarjoavana yrityksenä, jonka pääkonttori sijaitsee Taiwanissa, Kiinassa. Yrityksellä on 16 vuoden kokemus alalta, ja sen maailmanlaajuinen läsnäolo, erinomainen valmistustaito sekä kattava tuotevalikoima ovat vahvistaneet sen asemaa vertailukohtana kaasulaitteiden alalla. Yritys noudattaa globalisaatiota edistävää kehitysstrategiaa ja on perustanut modernit tuotantokeskuksensa Kiinan kiinteällä mantereella, Taiwanissa, Kiinassa ja Intiassa, muodostaen tuotanto- ja palveluverkoston, joka kattaa Aasian ja ulottuu maailmanlaajuisesti. Jokainen tuotantokeskus on varustettu älykkäillä tuotantolinjoilla ja tarkkuustestauslaitteistoilla, mikä mahdollistaa koko prosessin hallinnan raaka-aineiden käsittelystä valmiin tuotteen toimitukseen saakka. Vuotuinen tuotantokapasiteetti kuuluu jatkuvasti alan johtaviin, mikä mahdollistaa nopean reagoinnin maailmanlaajuisten asiakkaiden monimuotoisiin tarpeisiin. Yrityksen ydinalaan kuuluvat kaasuun liittyvät ydinlaitteet, mukaan lukien erilaiset teollisuuskaasut, erikoisvalmistetut kaasuvanntimet, korkeapaineiset säiliöt, kevyet alumiinisäiliöt ja korkean tarkkuuden paineenalennusventtiilit. Nämä tuotteet ovat laajalti käytössä kriittisissä aloissa, kuten kemian-, elektroniikka-, terveydenhuollon ja energiateollisuudessa. Syvällisen teknisen asiantuntemuksen ansiosta tuotteet ovat saaneet ISO 9001 -laatujärjestelmäsertifikaatin sekä useita tunnettuja kansainvälisiä sertifikaatteja, kuten ASME-sertifikaatin korkeapaineisille laitteille, CE-PED-sertifikaatin EU-markkinoille ja IECEx-rikkipäästösuojatun laitteiston sertifikaatin maailmanlaajuisiin sovelluksiin. Tärkeimmät suorituskykyindikaattorit, kuten tiukkuus, painekestävyys ja turvallisuussuojaus, ovat saavuttaneet kansainvälisesti edistyneen tason. Yritys pitää jatkuvasti teknologista innovaatiota keskitettynä kilpailuetunaan ja on koonnut kansainvälisen tutkimus- ja kehitystiimin sekä investoi jatkuvasti teknologisiin läpimurtoihin.
UKK
Mitä puhdistusasteikkoja C4F6-tuotetta tarjoatte?
Tarjoamme puolijohdeastetta olevaa C4F6-tuotetta, johon kuuluvat 4N (99,99 %), 4,5N (99,995 %) ja 5N (99,999 %). Korkeampia puhdistusasteikkoja on saatavilla pyynnöstä.
Mihin C4F6-tuotetta yleensä käytetään?
C4F6-tuotetta käytetään pääasiassa puolijohdeplasma-kaiverronnassa, eristekerrosten kaiverronnassa, okсидien kaiverronnassa, alhaisen k:n eristeiden kaiverronnassa, mikroelektromekaanisten järjestelmien (MEMS) valmistuksessa ja edistyneessä integroitujen piirien valmistuksessa.
Mitkä sylinterikoot ovat saatavilla?
Standardipakkaus sisältää 47 litran sylinterin, 10 litran sylinterin, 8 litran sylinterin sekä asiakaskohtaisesti mukautettuja sylintereitä pyynnöstä. Sylinterien sisäpinnan elektropolttaminen on saatavilla puolijohdesovelluksiin.
Mikä on tyypillinen täyttöpaine ja täyttöpaino?
Tyypillisiä täyttöparametrejä ovat täyttöpaine enintään 13–15 MPa ja täyttöpaino noin 20–25 kg 47 litran sylinterissä. Tarkka täyttöpaino riippuu puhdistusasteikosta ja asiakkaan vaatimuksista.
Minkä tyyppistä venttiiliä käytetään C4F6-sylintereihin?
Yleisiä venttiilityyppejä ovat muun muassa CGA 716, DISS 716 ja mukautetut puolijohdeasteikolliset venttiilit. Venttiilien valinta voidaan mukauttaa alueellisten standardien mukaan.
Miten varmistatte kaasun puhtauden ja vakauden?
Varmistamme laadun edistyneillä kaasupuhdistusjärjestelmillä, kosteuden ja hapen poistoteknologialla, kaasukromatografialla (GC) sekä analyysitodistuksella (COA), joka annetaan jokaisen sylinterin mukana.
Mikä on toimitusaika?
Tyypillinen toimitusaika on 15–25 päivää talletuksesta saamisen jälkeen. Nopeampi toimitus on mahdollista riippuen saatavuudesta ja sylinterien valmistuksesta.
Minkä standardien mukaisia sertifikaatteja sylintereinne noudattavat?
Sylinterimme noudattavat ISO 9809-, DOT 3AA-, TPED- ja EN-standardeja. Kolmannen osapuolen tarkastus on saatavilla pyynnöstä.
