Mélanges gazeux pour lasers de lithographie DUV : ArF à 193 nm, KrF à 248 nm

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À propos du produit

Le point

Précision de mélange à l’échelle nanométrique : Nous utilisons un remplissage gravimétrique avancé et des débitmètres massiques (MFC) afin d’assurer des tolérances sur les mélanges gazeux aussi serrées que 1 % à 2 %. Cela garantit une énergie et une stabilité constantes des impulsions laser pour la lithographie DUV. Technologie de passivation brevetée : Le F₂ est extrêmement réactif.
Nos cylindres subissent un procédé de passivation spécial de leur surface interne afin de créer une couche stable de fluorure, empêchant ainsi le mélange de réagir avec la paroi du cylindre et garantissant une longue durée de conservation (jusqu’à 12 à 24 mois).
Composants d’ultra-haute pureté : nous utilisons exclusivement du néon et du krypton/xénon de pureté 6N (99,9999 %) comme gaz de base afin de minimiser les impuretés résiduelles (O₂, H₂O, HF) susceptibles d’étouffer le laser ou d’endommager les composants optiques.
Emballage sécurisé expert : expédiés dans des cylindres spécialisés en alliage de nickel à haute pression ou en acier traité, équipés de vannes DISS ou de vannes spécialisées pour services corrosifs, garantissant une étanchéité parfaite pendant le transport international.

À propos de nous

AGEM a été fondée en 2008 en tant que fabricant professionnel multinational et prestataire de services spécialisé dans les équipements à gaz, dont le siège social est situé à Taïwan, Chine. Forte de 16 années d’expertise dédiée dans le secteur, sa présence mondiale, son savoir-faire manufacturier supérieur et son portefeuille complet de produits ont consolidé son statut d’entreprise de référence dans le domaine des équipements à gaz. L’entreprise applique une stratégie de développement mondial, établissant des bases de production modernes sur le continent chinois, à Taïwan (Chine) et en Inde, ce qui lui permet de constituer un réseau de production et de services couvrant l’Asie et s’étendant à l’échelle mondiale. Chaque base est équipée de lignes de production intelligentes et d’équipements de test de précision, assurant ainsi un contrôle intégral de l’ensemble du processus, depuis le traitement des matières premières jusqu’à la livraison des produits finis. Avec une capacité de production annuelle régulièrement classée parmi les plus élevées du secteur, l’entreprise est en mesure de répondre rapidement aux besoins variés de ses clients internationaux. Son activité principale porte sur les équipements centraux liés aux gaz, couvrant une gamme complète de produits incluant divers gaz industriels, des vannes à gaz spécialisées, des bouteilles sous haute pression, des bouteilles en aluminium légères et des réducteurs de pression à haute précision. Ces produits sont largement utilisés dans des secteurs critiques tels que la chimie, l’électronique, la santé et l’énergie. Grâce à une expertise technique approfondie, ils bénéficient de la certification ISO 9001 relative au système de management de la qualité, ainsi que de plusieurs certifications internationales reconnues, notamment la certification ASME pour les équipements sous haute pression, la certification CE-PED pour l’accès au marché européen et la certification IECEx pour les équipements antidéflagrants destinés à une utilisation mondiale. Des indicateurs clés de performance tels que l’étanchéité, la résistance à la pression et la protection de sécurité ont atteint des niveaux avancés sur le plan international. L’entreprise place systématiquement l’innovation technologique au cœur de sa compétitivité, constituant une équipe internationale de recherche et développement et investissant continuellement dans des percées technologiques.

Questions fréquemment posées

Comment garantissez-vous la sécurité et la résistance à la pression de vos cylindres ?

Nos bouteilles sont fabriquées en acier allié sans soudure de haute qualité, conformément strictement aux normes ISO 9809, DOT et EN. Chaque bouteille subit des essais hydrostatiques, des essais d’étanchéité et des inspections par ultrasons avant sa sortie d’usine, afin de garantir une sécurité et une fiabilité absolues en conditions de haute pression.

Quels documents de certification fournissez-vous pour les bouteilles ?

La sécurité constitue la pierre angulaire de notre production. Nos bouteilles et produits connexes sont entièrement certifiés selon les principales normes internationales, notamment ISO, GB, TPED et DOT.

Pouvons-nous renvoyer les bouteilles en Chine pour recharge ?

Oui, absolument. Nous proposons un service complet de recharge en boucle fermée. Une fois le gaz épuisé, vous pouvez expédier les bouteilles vides vers notre usine. Nous nous chargeons de toutes les formalités douanières d’importation ainsi que des opérations suivantes en Chine. Vous n’avez qu’à nous en informer à l’avance.

Les bouteilles bénéficient-elles d’un traitement spécial à l’intérieur ?

Pour les gaz électroniques spécialisés, nous fournissons des traitements de meulage et de séchage des parois internes afin d’éviter toute contamination par l’humidité et les particules, garantissant ainsi que le gaz conserve une pureté extrêmement élevée pendant un stockage à long terme.

Pouvez-vous personnaliser les raccords de valve pour qu’ils s’adaptent à mon système ?

Oui. Nous prenons en charge divers raccords normalisés internationaux, tels que les normes CGA, DISS, DIN ou JIS. Veuillez nous indiquer vos exigences spécifiques avant de passer commande, et nous vous fournirons les raccords appropriés.