Mélange gazeux haute pureté (6N) de CF₄ et O₂ dans un mélange d’hydrogène et d’argon, utilisé pour l’étalonnage dans la gravure plasma des semi-conducteurs

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À propos du produit

Mise en avant

Ce mélange d’étalonnage à ultra-haute pureté (99,9999 %, grade 6N) est une solution de gaz de procédé spécialisée, conçue spécifiquement pour répondre aux exigences rigoureuses de la gravure plasma des semi-conducteurs et des procédés avancés de dépôt de couches minces. En mélangeant avec précision du tétrafluorure de carbone (CF4) et de l’oxygène (O2) au sein d’une matrice équilibrée d’hydrogène (H2) et d’argon (Ar), ce mélange fournit la synergie chimique exacte nécessaire pour contrôler la sélectivité de gravure et l’anisotropie du profil dans la fabrication à l’échelle sub-nanométrique. La pureté de grade 6N garantit que les impuretés métalliques résiduelles et l’humidité sont pratiquement absentes, évitant ainsi toute contamination des wafers et améliorant significativement le rendement des dispositifs pour des architectures complexes telles que la mémoire 3D NAND et les transistors FinFET. La présence d’argon fournit l’énergie d’impact ionique requise pour la pulvérisation physique, tandis que le rapport hydrogène/oxygène est calibré avec une grande précision afin de régler l’épaisseur des couches polymères passivantes, assurant ainsi la formation de tranchées à fort rapport hauteur/largeur dotées de parois latérales parfaitement verticales. Chaque bouteille est préparée selon une méthode de mélange gravimétrique avancée et subit un traitement interne de passivation propriétaire, garantissant la stabilité de ces composants réactifs et leur maintien constant à la concentration spécifiée dans le temps. Fourni avec un certificat d’analyse (CoA) complet et traçable aux normes internationales, ce mélange constitue le choix idéal pour les laboratoires de recherche-développement (R&D) et les usines de semi-conducteurs à forte capacité, exigeant une cohérence absolue dans leur chimie plasma. Ce mélange équilibré « tout-en-un » simplifie les systèmes de distribution de gaz en réduisant le nombre de lignes de gaz individuelles nécessaires, minimisant ainsi les points de fuite potentiels et rationalisant le processus d’étalonnage des débitmètres massiques (MFC).

À propos de nous

AGEM a été fondée en 2008 en tant que fabricant professionnel multinational et prestataire de services spécialisé dans les équipements à gaz, dont le siège social est situé à Taïwan, Chine. Forte de 16 années d’expertise dédiée dans le secteur, sa présence mondiale, son savoir-faire manufacturier supérieur et son portefeuille complet de produits ont consolidé son statut d’entreprise de référence dans le domaine des équipements à gaz. L’entreprise applique une stratégie de développement mondial, établissant des bases de production modernes sur le continent chinois, à Taïwan (Chine) et en Inde, ce qui lui permet de constituer un réseau de production et de services couvrant l’Asie et s’étendant à l’échelle mondiale. Chaque base est équipée de lignes de production intelligentes et d’équipements de test de précision, assurant ainsi un contrôle intégral de l’ensemble du processus, depuis le traitement des matières premières jusqu’à la livraison des produits finis. Avec une capacité de production annuelle régulièrement classée parmi les plus élevées du secteur, l’entreprise est en mesure de répondre rapidement aux besoins variés de ses clients internationaux. Son activité principale porte sur les équipements centraux liés aux gaz, couvrant une gamme complète de produits incluant divers gaz industriels, des vannes à gaz spécialisées, des bouteilles sous haute pression, des bouteilles en aluminium légères et des réducteurs de pression à haute précision. Ces produits sont largement utilisés dans des secteurs critiques tels que la chimie, l’électronique, la santé et l’énergie. Grâce à une expertise technique approfondie, ils bénéficient de la certification ISO 9001 relative au système de management de la qualité, ainsi que de plusieurs certifications internationales reconnues, notamment la certification ASME pour les équipements sous haute pression, la certification CE-PED pour l’accès au marché européen et la certification IECEx pour les équipements antidéflagrants destinés à une utilisation mondiale. Des indicateurs clés de performance tels que l’étanchéité, la résistance à la pression et la protection de sécurité ont atteint des niveaux avancés sur le plan international. L’entreprise place systématiquement l’innovation technologique au cœur de sa compétitivité, constituant une équipe internationale de recherche et développement et investissant continuellement dans des percées technologiques.

Questions fréquemment posées

Quel est le délai de livraison pour les mélanges sur mesure de pureté 99,9999 % (6N) ?

Pour les gaz à ultra-haute pureté (UHP), tels que le CF4/O2, le délai de livraison habituel est de 10 à 15 jours ouvrables. Celui-ci inclut le mélange précis et des essais de stabilité en plusieurs étapes afin de garantir la pureté de grade 6N et la précision de la concentration.

Comment garantissez-vous la précision de la concentration du mélange CF4/O2 ?

Nous utilisons la méthode gravimétrique (pesée haute précision) lors du remplissage, qui constitue la technique de mélange la plus précise. Chaque bouteille est analysée par chromatographie en phase gazeuse (GC) et accompagnée d’un certificat d’analyse (COA) traçable aux normes NIST ou aux normes nationales.

Ce mélange est-il stable, étant donné qu’il contient à la fois de l’hydrogène (H2) et de l’oxygène (O2) ?

Oui. Nous suivons rigoureusement des protocoles de sécurité lors du mélange : la concentration des composants inflammables et oxydants est maintenue dans des limites sûres, ou équilibrée avec de l’argon (Ar), afin d’assurer la stabilité chimique et d’éviter toute réaction dangereuse à l’intérieur de la bouteille.

Quel type de bouteille et de vanne sont utilisés pour ce gaz semi-conducteur ?

Nous utilisons des cylindres en alliage d’aluminium passivé en interne ou des cylindres en acier inoxydable poli afin d’éviter l’adsorption à la surface. Pour les gaz de grade 6N, nous les équipons généralement de vannes en acier inoxydable DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 ou SS 316L afin de garantir une étanchéité parfaite et d’empêcher toute contamination.

Quelles sont les conditions de stockage requises pour ce mélange gazeux ?

Les cylindres doivent être entreposés dans un endroit frais, sec et bien ventilé, à l’abri de la lumière directe du soleil et des sources de chaleur (température < 50 °C). Veillez à maintenir les cylindres en position verticale et à les fixer correctement afin d’éviter qu’ils ne tombent.

Proposez-vous une expédition mondiale pour les gaz dangereux ?

Oui, nous sommes spécialisés dans la logistique des marchandises dangereuses de classe 2. Nous fournissons l’intégralité de la documentation requise, notamment la fiche de données de sécurité (MSDS), des emballages certifiés ONU et des déclarations de marchandises dangereuses (DG) pour le transport maritime ou aérien.