Approvisionnement en gaz hexafluorobutadiène C4F6 haute pureté (99,999 %), 10 L ou 8 L, destiné aux applications de haute technologie et à la fabrication électronique

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À propos du produit

Le point

Pureté de grade électronique pour la fabrication de semi-conducteurs : Notre C4F6 est disponible dans des grades de pureté ultra-élevée jusqu’à 5N (99,999 %), caractérisés par des niveaux d’impuretés extrêmement faibles, notamment en oxygène (O2), en humidité (H2O) et en hydrocarbures, garantissant ainsi une stabilité supérieure du plasma, des performances de gravure cohérentes et une grande reproductibilité des procédés, nécessaires à la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Optimisé pour les applications avancées de gravure plasma : Le C4F6 est spécifiquement conçu pour les procédés de gravure plasma haute précision, notamment la gravure diélectrique, la gravure de couches d’oxyde, la structuration de matériaux à faible constante diélectrique (low-k) et le contrôle des dimensions critiques. Il offre une sélectivité supérieure, une capacité de gravure anisotrope améliorée et une meilleure précision des profils par rapport aux gaz fluorocarbonés conventionnels tels que le CF4, le C2F6 et le C3F8, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication avancée de circuits logiques, de mémoires et de systèmes microélectromécaniques (MEMS). Alternative à faible potentiel de réchauffement planétaire (PRP) : Comparé aux gaz perfluorocarbures traditionnels, le C4F6 offre une efficacité de gravure supérieure, une consommation de gaz réduite et un impact environnemental moindre, aidant ainsi les fabricants de semi-conducteurs à atteindre leurs objectifs de durabilité tout en maintenant des performances de production élevées et un rendement optimal. Contrôle strict des impuretés et de l’humidité : Nous utilisons des systèmes avancés de purification des gaz, des instruments analytiques de précision et des protocoles rigoureux de contrôle qualité afin de garantir une teneur en humidité (H2O) inférieure ou égale à 1 ppm, en oxygène (O2) inférieure ou égale à 1 ppm, et en hydrocarbures totaux inférieure ou égale à 1 ppm, prévenant efficacement la contamination des wafers, l’instabilité du plasma et les défauts de procédé, et assurant ainsi des performances fiables et constantes lors du traitement des semi-conducteurs. Bouteilles certifiées avec traitement de surface de grade semi-conducteur : Notre C4F6 est fourni dans des bouteilles standard de 47 L et de 10 L, ainsi que dans des tailles sur mesure, fabriquées conformément aux normes ISO 9809, DOT 3AA et TPED EN, avec, en option, un polissage électrolytique interne et un traitement de passivation visant à minimiser la génération de particules, à prévenir la contamination du gaz et à maintenir une pureté ultra-élevée pendant le stockage et l’utilisation.

À propos de nous

AGEM a été fondée en 2008 en tant que fabricant professionnel multinational et prestataire de services spécialisé dans les équipements à gaz, dont le siège social est situé à Taïwan, Chine. Forte de 16 années d’expertise dédiée dans le secteur, sa présence mondiale, son savoir-faire manufacturier supérieur et son portefeuille complet de produits ont consolidé son statut d’entreprise de référence dans le domaine des équipements à gaz. L’entreprise applique une stratégie de développement mondial, établissant des bases de production modernes sur le continent chinois, à Taïwan (Chine) et en Inde, ce qui lui permet de constituer un réseau de production et de services couvrant l’Asie et s’étendant à l’échelle mondiale. Chaque base est équipée de lignes de production intelligentes et d’équipements de test de précision, assurant ainsi un contrôle intégral de l’ensemble du processus, depuis le traitement des matières premières jusqu’à la livraison des produits finis. Avec une capacité de production annuelle régulièrement classée parmi les plus élevées du secteur, l’entreprise est en mesure de répondre rapidement aux besoins variés de ses clients internationaux. Son activité principale porte sur les équipements centraux liés aux gaz, couvrant une gamme complète de produits incluant divers gaz industriels, des vannes à gaz spécialisées, des bouteilles sous haute pression, des bouteilles en aluminium légères et des réducteurs de pression à haute précision. Ces produits sont largement utilisés dans des secteurs critiques tels que la chimie, l’électronique, la santé et l’énergie. Grâce à une expertise technique approfondie, ils bénéficient de la certification ISO 9001 relative au système de management de la qualité, ainsi que de plusieurs certifications internationales reconnues, notamment la certification ASME pour les équipements sous haute pression, la certification CE-PED pour l’accès au marché européen et la certification IECEx pour les équipements antidéflagrants destinés à une utilisation mondiale. Des indicateurs clés de performance tels que l’étanchéité, la résistance à la pression et la protection de sécurité ont atteint des niveaux avancés sur le plan international. L’entreprise place systématiquement l’innovation technologique au cœur de sa compétitivité, constituant une équipe internationale de recherche et développement et investissant continuellement dans des percées technologiques.

Questions fréquemment posées

Quels degrés de pureté de C4F6 proposez-vous ?

Nous proposons du C4F6 de qualité semi-conducteur, notamment les grades 4N (99,99 %), 4,5N (99,995 %) et 5N (99,999 %). Des degrés de pureté supérieurs sont disponibles sur demande.

Quelles sont les applications typiques du C4F6 ?

Le C4F6 est principalement utilisé dans la gravure plasma des semi-conducteurs, la gravure des couches diélectriques, la gravure des oxydes, la gravure des diélectriques à faible constante k (low-k), la fabrication de systèmes microélectromécaniques (MEMS) et la fabrication avancée de circuits intégrés.

Quelles tailles de bouteilles sont disponibles ?

L’emballage standard comprend des bouteilles de 47 L, 10 L et 8 L, ainsi que des bouteilles personnalisées sur demande. Un polissage électrolytique interne des bouteilles est disponible pour les applications semi-conductrices.

Quelle est la pression de remplissage et le poids de remplissage typiques ?

Les paramètres de remplissage typiques comprennent une pression de remplissage allant jusqu’à 13 à 15 MPa et un poids de remplissage d’environ 20 à 25 kg dans une bouteille de 47 L. Le poids exact de remplissage dépend du degré de pureté et des exigences du client.

Quel type de valve est utilisé pour les bouteilles de C4F6 ?

Les types de vannes courants comprennent les vannes CGA 716, DISS 716 et des vannes sur mesure de qualité semi-conducteur. La sélection des vannes peut être personnalisée en fonction des normes régionales.

Comment garantissez-vous la pureté et la stabilité des gaz ?

Nous garantissons la qualité grâce à des systèmes avancés de purification des gaz, à des technologies d’élimination de l’humidité et de l’oxygène, à l’analyse par chromatographie en phase gazeuse (CPG) et à un certificat d’analyse (CA) fourni avec chaque bouteille.

Quel est le délai de livraison ?

Le délai de livraison habituel est de 15 à 25 jours après réception de l’acompte. Une livraison accélérée est possible, selon la disponibilité en stock et la préparation des bouteilles.

À quelles certifications vos bouteilles sont-elles conformes ?

Nos bouteilles sont conformes aux normes ISO 9809, DOT 3AA, TPED et EN. Une inspection par un tiers est disponible sur demande.