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Nom du produit : |
Hexafluorure de soufre |
Pureté : |
99.9-99.999% |
N° CAS |
2551-62-4 |
Numéro EINECS |
219-854-2 |
MF : |
F6S |
Masse molaire |
2551-62-4.mol |
N° ONU : |
1080 |
Classe de danger |
2.2 |
Apparence : |
incolore |
Odeur : |
gaz incolore |
Élément d'inspection |
unité |
Pureté |
|
SF6 |
% |
≥99.999 |
≥99.99 |
O2+Ar |
ppmw |
≤2.0 |
≤10 |
N2 |
ppmw |
≤3.0 |
≤40 |
CF4 |
ppmw |
≤0.5 |
≤30 |
H2O |
ppmw |
≤2.0 |
≤10 |
HF |
ppmw |
≤40 |
≤0.3 |
THC(CH4) |
ppmw |
≤0.1 |
≤1.0 |
CO2 |
ppmw |
≤0.5 |
≤6 |
Co |
ppmw |
≤0.5 |
≤2 |
Application :
Semiconducteur |
gravure par plasma. L'agent de gravure/décomposition produit par le plasma fluoré peut effectuer la gravure |
||||||
Médecine |
Anesthésie, réparation de la déchirure rétinienne, imagerie par ultrasons |
||||||
Équipement électrique |
Interrupteurs à haute tension et équipements à isolation gazeuse |
||||||
Systèmes micro-ondes à haute puissance |
Présurise les guides d'ondes, isole le guide d'ondes, empêchant les décharges internes |
||||||

Dimensions de l'emballage |
cylindre de 40 L |
bouteille de 47Ltr |
cylindre de 50L |
||
Contenu de Remplissage/Cyl |
50kg |
52 kg |
55-60kg |
||
QTE dans un conteneur de 20 pieds |
260Cyl |
260Cyl |
260Cyl |
||
Vanne |
CGA580, CGA590, QF-2C |
||||








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