- Aireamh
- Fiosrúchán
- Daltaí Cineálacha
Faisnéis ar an bhforás:
Is gás críoigeach é an carbon tetrafluoride atá níos fearr ná céanna faoi chomhshuite is sinne, déanann pléasceartóir leis an n-ócsa agus úsáidtear freisin i gcásanna éagsúla de phróiseas snámh wafer.
Is é CF4 an t-gás etachta plasmóide is fhearr i bhfeidhm i gcúrsaí mhiicro-leictreacha faoi láthair. Is féidir a úsáid go héadrom san etacht ar mhéadaithe bainne mar silicon, diosca sílicin, nítreóg sílicin, glas fosfatosílicin agus tungsten, agus sa ghlanadh uillinn ar scileata leictreach agus solairithe. Úsáidear é chomh maith i bhfoirmiú teicneolaíochta laistiar, i gclúdaithe phríomhthearmach, i ritheacha íochtaracha, mar shuíomh talamh do sholéistí, agus mar shuíomh deimhnithe i bhfoirmiú círcéad prionta.
Mar dhea-bhunús na n-éadóireachta idirnáisiúnta atá ag fógar carbon tetrafluoride, is féidir úsáid a bhaint as carbon tetrafluoride sna ngréasa mealltaithe agus sna himléann plasteach