EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Gásanna Díthreachta do Léinte Monofluoromethane 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl Fluoride CH3F
- Aireamh
- Fiosrúchán
- Daltaí Cineálacha
Gásanna Díthreachta do Léinte Monofluoromethane 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl Fluoride CH3F
AGEM ag dearadh agus ag díol gaze Monofluoromethane glan-ard (CH3F) chun úsáid a bheith inti san phróiseas fáilteoireachta de chipí semi-chonduit.
Fluoromethane, a chur leis go bhfuil sé fós inmharthanach mar mhéadla fhuar, Freon 41, Halocarbon-41 agus HFC-41, is gaísce neamh-tóksaí a d’fhásann i gcrích líne sa téamh agus i gcás. Tá sé ar bheagán de thráchtáil, hidreán agus flúor. Thosaíonn an t-ainm uaidh ón méid go bhfuil sé mionscáth (CH4) lena n-athraítear ceann amháin de na heatromacha le h-atom flúor. Úsáidear é san fhorbairt seimpiótach mar ghaís scailp i bhfeabhsaithe plasma scailp.
Fluoromethane, níos tréan úsáidtear mar mhéadla fhuar (MeF) nó Halocarbon 41, is gaísce neamh-tóksaí atá in úsáid i bhforbairt seimpiótach agus pródach eiletróinic. Scailpeann sé faoi láthair RF i ndáiríre faoi ionanna flúor do scailp roghnaithe filmí sceimhle siúil.
Cur i bhfeidhm :CH3F is é gas speisialta a úsáidear sa phróiseas fhorbartha de chipeanna séimeantach le haghaidh máicniú nitride film trí eitigh. CH3F úsáidtear go mion le forbairt chiptheoiric séimeantach, lena n-áirítear NAND flash agus DRAM a bhfuil neart mháicniú teicneolaíochta acu. Mar atá a roghnaitheacht eitigh níos airde ná na gásacha eile, is féidir le CH3F comhréireacht don máicniú réad-mhéadrach 3D NAND flash. Tá an méid iarrata ag dul suas ar CH3F lá atá againn seo as tosú an méid mhór líneál amach chun 3D NAND flash a chríochnú.
