Míosca Gáis Ardnua 6N CF₄/O₂ le cothromú hidrigin/agóin do chalaforáid eitíniú plasma do thionscadal semiconductors

Fiosrúchán

Forbhreathnú
Fiosrúchán
Táirgí gaolmhara

Maidir leis an Táirge

A chur i bhfolach

Is é an mheascán calibrála seo, le glanmhalartacht an-ard (99.9999% – 6N), réiteach gás próiseas speisialta a dhearadh go sonrach chun freastal ar na riachtanais dian a bhaineann le hEitseáil Plaiméid na Seimiconnacht agus le próisis Chloch-thanaí Chasta. Trí chumasc cruinn Carbon Tetrafluoride (CF4) agus Ocsaigine (O2) laistigh de mhaitrís cothromaithe Hydrogine (H2) agus Argóin (Ar), soláthraíonn an meascán seo an comhtháthú ceimiceach cruinn is gá chun rogha an eitseála agus an t-aingeal anisitréach an phróifíl a rialú i bhforgábáil fho-ineolach. Tá an glanmhalartacht 6N cinnte go mbíonn impiríochtaí iadach agus fuarainne gan bheith ann, rud a chuireann bac ar tharlaíocht aon gharáiste ar na wafer agus a mhéadaíonn torthaí na gceannach go mór do tharchuracha casta mar 3D NAND agus FinFET. Cuireann an t-Argóin an fuinneamh ion bombardment is gá don sputtering fisiciúil, agus tá an comhréir idir Hydrogin agus Ocsaigin measctha go cúramach chun na cinniúintí pasiúnaithe polimeir a rialú, ag cinnti trincheanna ar airde ard le hatacha taobh iomlán ingearacha. Ullmhaítear gach cilindir ag baint úsáide as meascadh gráiméadrach chun a chinntiú go mbíonn na comhpháirtí freagartha seo staible agus nach n-athraíonn siad ón gconcentracht shonraithe le haimsir. Soláthraítear le Cáipéis Anailíse iomláin (CoA) agus is féidir a lorg ar chaighdeáin idirnáisiúnta. Is é an rogha is fearr é seo do theilgeáin R&D agus do thionscadail mórchumhachta na seimiconnachta a dtiománaítear ar chonsainteacht iomlán sa cheimic plaiméid. Simplíonn an meascán cothromaithe ‘uile-i-ndia’ seo córas soláthair gásanna trí línte gás a laghdú, agus mar sin laghdaíonn sé pointí sealúcháin agus éascaíonn sé próiseas calibrála an rialaithe sruth-mhaisse (MFC).

Fúinn

Bunaíodh AGEM sa bhliain 2008 mar mhonaróir gairmiúil ilnáisiúnta agus soláthraí seirbhísí do thiomáin gháis, le a phríomhoifig i Táiwán, na hSín. Le 16 bliain d’ábhar eolais thionscail dhedicated, tá a réimse domhanda, a chur chuige tionsclaíochta ardnuaíochta, agus a chuid táirgí iomlána chun cinn, ag cruthú a stádas mar fhoireann tomhas i réimse thiomáin gháis. Leanann an chuideachta straitéis forbartha domhanda, ag bunú bunáití tionsclaíochta nua-aimseartha sa Mhianlann Shíneach, i Táiwán, na hSín, agus in India, ag cruthú líonra tionsclaíochta agus seirbhísí atá scaipthe ar Asia agus atá leathnaithe go domhanda. Tá gach bunáit équipéithe le línte tionsclaíochta intleachtúla agus le hairm uallach tástála, ag cur cumhacht ar an gceannaireacht iomlán ó phróiseáil na mbunábhar go dtí an t-umhal a sholáthar. Le cumas tionsclaíochta bhliantúil atá i gcónaí ar cheann de na ceannairí i ndiagaileacht, is féidir leis an gcuideachta freagairt go tapa ar riachtanais éagsúla cliant na domhaine. Is é an gníomhaíocht lárnach a dhíriú ar thiomáin gháis lárnacha, lena n-áirítear raon iomlán táirgí lena n-áirítear gásanna tionsclaíocha éagsúla, válfaí gáis speisialta, cilindirí ard-bhreise, cilindirí alúmanaim éadrom, agus laghdaithe brú ardnuaíochta. Úsáidtear na táirgí seo go forleathan i seachtaí criticiúla amhail ceimiceáin, leictreonics, sláinte, agus fuinniú. Trí úsáid a bhaint as saineolas teicniúil dochríona, tá cáil ar na táirgí don chóras bainistíochta cháil ISO9001 agus ar chuid mhaith de na tionscnaimh idirnáisiúnta údara, lena n-áirítear an t-aicmiú ASME do thiomáin ard-bhreise, an t-aicmiú CE-PED chun rochtain ar thịr an AE, agus an t-aicmiú IECEx chun forbairt a dhéanamh ar fud an domhain. Tá taispeántas iad na taispeántais príomhghnéithe cosúil le taispeántas sealála, tacaíocht ar bhrú, agus cosaint slándála ag baint amach leibhéil idirnáisiúnta ard. Leanann an chuideachta i gcónaí ar nuálaíocht theicniúil mar a chumhacht comórtas lárnach, ag cruinniú foireann idirnáisiúnta R&D agus ag infheistíocht leanúnach i dtuiscintí teicniúla.

Ceisteanna Coitianta

Cé fhad is é an turas túsúla do mheascáin shaincheapa 99.9999% (6N)?

Dona gásanna ar airdeanachta an-ard (UHP) mar shampla CF4/O2, is iad na laethanta oibre 10-15 an turas túsúla coitianta. Cuimsíonn sé seo meascadh cruinn agus tástáil stádach i bhfad éagsúla chun cinntiú go mbaineann an grád 6N le hísealacht agus le cruinneas an chumais.

Conas a chinntítear an cruinneas cumais do mheascán CF4/O2?

Úsáideann muid an modh tromlach (measadh ar airdeanachta ard) le during an líonadh, a bhfuil an meascadh is cruinn ann. Meastar gach cilindir trí Ghás Chromatography (GC) agus tagann sé le Teastas Anailíse (COA) a dtagann ó NIST nó ó na caighdeáin náisiúnta.

An bhfuil an meascán seo seasmhach agus é ag teacht i gcomhábhar le hidrigin (H2) agus ocsaigine (O2)?

Tá. Leanaimid i gcruinneas na protacail slándála meascadh ina ndéantar an cumais comhábhair ina dtugtar tine leis an cumais ocsaíochta laistigh de theorainneacha sábháilte nó a chothromú le argón (Ar) chun an seasmhacht cheimiceach a chinntiú agus aon imoibriú mearbhallach laistigh den chilindir a chosc.

Cén cineál cilindir agus válfa a úsáidtear don ghás semiconductoir seo?

Úsáidimid cilindirí alúmanaim-ailiúis inmheánach le pasamháilte nó cilindirí staingneasa crua le polaíniú chun tarrtháil ar an uachtar a sheachaint. Don ghas 6N, cuirimid go minic bálcais DISS (Córas Sainordaithe Digiteach) 660 nó bálcais staingneasa SS 316L chun leathnú nialas a chinntiú agus contamination a sheachaint.

Cad iad na riachtanais stórála don mheascán gais seo?

Ba cheart na cilindirí a stóráil i dtír fuar, tirim, agus le haerú maith, ar as láthair díreach na gréine agus foinsí teochta (teocht < 50° C). Cinntigh go bhfuil na cilindirí securtha go díreach chun titim a sheachaint.

An soláthraíonn sibh longáil ar fud an domhain do ghaistheacha contúirteacha?

Tá, táimid speisialaithe ar loingseoireacht earraí contúirteacha Rang 2. Soláthraímid doiciméid iomlána lena n-áirítear an Bileog Sonraí Slándála Mhatairéal (MSDS), pacáiste atá certaithe ag an Aontas Náisiúnach, agus fhoilsiúcháin Earraí Contúirteacha (DG) do thraenáil san mhara nó sa aer.