Ყველა კატეგორია

სემიკონდუქტორების წარმოებაში გამოყენებული გაზები

Სემიკონდუქტორები არის ყველაფერში, თქვენს სმარტფონებში და პერსონალურ კომპიუტერებში და ნებისმიერ ელექტრონულ გადაწყვეტილებში. ისინი უნდა გადაქვახან კონკრეტული პროცესის მეშვეობით და გამოიყენონ რაოდენობა გაზები. შემდეგ ჩამოთვლილი აღწერს გამოთვლილ გაზების ტიპების ანგარიშნებს, რომლებიც ერთ-ერთი ინდუსტრია იყენებს და როგორ ამ მაღალი ტექნოლოგიის საბაზისო სამაგრები გამოვიყენოთ რათა შევქმნათ იმ რამდენიმე, რაზეც ჩვენ ვიდებით. რამდენიმე განსხვავებული გაზის ტიპი მსოფლიოში სემიკონდუქტორების წარმოებაში. სემიკონდუქტორები ფორმირებულია სირიაში სირიული პროცესების მეშვეობით, როგორიცაა გაჭრივება, დეპოზიცია და გასუფთავება. ამ გაზების განსხვავებული თვისებები და აპლიკაციები ვარიაცია კონკრეტული გამოყენების ან ატმოსფერული პირობების მიხედვით, მიუხედავად იმისა, რომ იქნება ინდუსტრიული გაზის მომწიფეების გარშემო, სპეციალური სემიკონდუქტორის გაზის მომწიფეების გარშემო ან ლაბორატორიაში, რაც გაძლევს განსაზღვრულ სპექტრს, რომელიც შეიცავს ყველას კრიტიკული თვისებებით, რომლებიც საჭიროა დავასრულოთ ამ დავალება სრულყოფილი და სატეხნოლოგიუროდ საკმარისი. დღეს, ამ ანგარიშნების მიხედვით, ჩვენ შევისაბამებთ რამდენიმე მთავარი გაზი, რომელიც გამოიყენება მასალის წარმოების პროცესში. სილანი SiH4: ეს გაზი არის უფერი და ასევე წარმოადგენს სიგნიფიკანტურ სილიკონ-ბაზირ ელექტრონულ მასალას. ის ცნობილია იმით, რომ ძალიან დინამიურია და სწრაფად რეაქცია ხდება ჰაერთან და წყალთან, რათა შექმნას სილიკონ oksidi SiO და ჰიდროგენის გაზი. სილანი შეიძლება გამოიყენონ სილიკონ-ბაზირ მასალის დასასრული, როგორიცაა SiNx, ან სწრაფად ან საპარასკონი ტემპერატურაზე. აზოტი N2 ელემენტი: ეს გაზი არის ინერტული და არ დაარქვებს ოქსიდაციას. ის უნდა გადაქვათ წარმოების პროცესში მანქანის გასუფთავებისთვის O2 და წყალის გამოსაცემად. ასეთი გაზი შეიძლება გამოიყენონ სხვა გაზების აქტივობის დახმარებისთვის და მუშაობის როგორც ტრანსპორტირების გაზი ნიკრომის ვაპორის დეპოზიციაში და პლაზმის გამოყენებით ნიკრომის ვაპორის დეპოზიციაში.

Ჰიდროგენი (H2) - ჰიდროგენი იყენება რედუცირების ამაღლების საშუალებით, რათა წაშალოს მასალებისგან ნებისმიერი უნდავები. სემიკონდუქტორების შესარჩევად, ეს მნიშვნელოვანი ეტაპია რამდენიმე პროცესში, როგორიცაა ანელირება და გასუფთავება. განსხვავებით, ჰიდროგენი შექმნის მეტალურგიულ გატე რომელიც გამოიყენება განვითარებული cmos მოწყობილობების წარმოებისთვის.

Სტაბილური ოქსიგენი (O2/O) - შეიტანეთ ფულის გვერდი და სპეციალური დროები და ა.შ. O აერი. მიუხედავად იმისა, რომ ადგილზე გამოიყენება ბევრ პლაზმის პროცესში, როგორიცაა ჭრა და strip/ash o ]]>, ის ასევე სამუშაოდ გამოიყენება როგორც რეაქტანტი სილიკონ-ბაზირ მასალების გარდაქმნაში SiOx-ში ან მეტალურგიული ზედაპირების გარდაქმნაში გარდაქმნის საშუალებით.

Ჟორჯინი (Cl2): ჟორჟინი არის ყვითელი ან წითელი მოხვევა, არა-მეტალი ძალიან მწვანე მრავალი როგორც თეთრი. ეს აერი, რომელიც ძალიან რეაქტიურია სილიკონ-ბაზირ მასალებთან, სილიკონ ბისახლითა და ბევრ მეტალთან, როგორიცაა ალუმინი, მართლაც იყენება სემიკონდუქტორების სტრუქტურების ჭრის საშუალებით.

Მაღალი სხვაობის პირობებში გაზთა გამოყენების მთავარი და სემიკონდუქტორების გამოწვევის საშუალებები

Სამყაროში გაზების გამოყენების ფაქტი პირდაპირ მიიღო სამხრეთ ელექტრონიკის შექმნა, რაც გამოწვეულია გაზების გამოყენებით სემიკონდუქტორების წარმოების შუალედების გაზრდით. გაზები სამხრეთ ელექტრონიკის ინდუსტრიაში ასევე მარტივი გამოყენებებისა და მიერთივობების მქონე არიან.

Გაზები, როგორიცაა სილანი, ამონიაკი და აზოტი გამოიყენება სილიკონის oksიდის ან ნიტრიდის ჩამორთვისთვის, რაც იქნება სემიკონდუქტორების მცირე ფილმები. ჩამორთვა.

Გაჭრვილობა: გამოიყენება გაზების მეშვეობით (როგორიცაა ჰლორი, ფლუორი და ჟანგბადი) სემიკონდუქტორებიდან გარდაქმნილი უნდა იყოს არასასურველი მასალები ან მონაცემები.

Პროცესული გაზები: ჰიდროგენი და აზოტი საჭიროა სემიკონდუქტორების მოწყობილობების გასწრაფებისთვის (პურიფიკაცია), რათა შეზღუდოს იმპურიტები, რომლებიც შეიძლება გავლენა იქნებინ მოწყობილობის მუშაობაზე.

Გასუფთავება: მისი ძირითადი გამოყენებებიდან ერთ-ერთია იმის გამოყენება გასუფთავების გაზის როლში, როდესაც მოწყობილობებზე მუშაობს მენტენანსი, რათა გამოიკიდეს ჟანგბადი და წყლის მოცულობები სისტემიდან, რაც მასალების მიერთივობას უზრუნველყო.

Why choose AGEM სემიკონდუქტორების წარმოებაში გამოყენებული გაზები?

Დაკავშირებული პროდუქტის კატეგორიები

Ნვ ნაოპაგთრვ ქრჲ რპწბგაქ?
Სვანეთსა და კვანძში

Მოთხოვნა ციფრით