EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Მაღალი სისუფთავის 6N CF₄ და O₂ გაზის ნარევი წყალბადისა და არგონის ბალანსით, ნახსენების პლაზმის ეტჩინგის კალიბრაციისთვის ნახსენების მრეწელობაში
Მოთხოვნა
Უხანის ერი გაზი ელექტრონიკა
Უხანის ერი გაზი ელექტრონიკა
Მასალების ენტერპრაიზი კო., ლტდ
Კონტაქტი და გაყიდვები
Ელ. ფოსტა
[email protected]
Ტელ. / ვეჩატი / ვაცაპ
+ 86 158 0713 4086
|
Ვაცაპი
Ტელ./ფაქსი
Ტელ:+886-7-621 8118Ფაქსი:+886-7-621 8998
Ჩინეთი, ხუბეი, უხანი, ჟუიეშანი, ჰუაჟუნგის საერთაშორისო პლაზა, ფაზა I, ერთეული 1, 10-ე სართული, ოთახი 02
- Შეხედულება
- Მოთხოვნა
- Დაკავშირებული პროდუქტები
Პროდუქტის შესახებ
Ხაზგასმით
Ეს ულტრამაღალი სისუფთავის (99,9999 %, 6N) კალიბრაციის ნარევი არის სპეციალიზებული პროცესული აირის ხსნარი, რომელიც შეიმუშავეს სემიკონდუქტორების პლაზმური ეტჩინგისა და მოწინავე თინ-ფილმის პროცესების მკაცრი მოთხოვნილებების დასაკმაყოფილებლად. კარბონ ტეტრაფლუორიდის (CF4) და ჟანგბადის (O2) ზუსტი შერევით წყალბადის (H2) და არგონის (Ar) ბალანსირებულ მატრიცაში ეს ნარევი უზრუნველყოფს საჭიროების მიხედვით საჭიროებულ ქიმიურ სინერგიას, რათა მარეგულირდეს ეტჩინგის სელექტიურობა და პროფილის ანიზოტროპია სანანომეტრული წარმოების დროს. 6N-გრადუსის სისუფთავე უზრუნველყოფს მიკრო მეტალური ნარევებისა და ტენის თითქმის არ არსებობას, რაც თავისდათავით არის საფრთხე ვეიფერების დასაბრუნებლად და მნიშვნელოვნად ამაღლებს მოწყობილობის გამოსახულებას 3D NAND და FinFET როგორც სირთულის არქიტექტურების შემთხვევაში. არგონის ჩართვა უზრუნველყოფს საჭიროების მიხედვით იონური შეტევის ენერგიას ფიზიკური სპუტერინგის მიზნით, ხოლო წყალბადის/ჟანგბადის შეფარდება საჭიროების მიხედვით არის მკაცრად კალიბრირებული პოლიმერული პასივაციის ფენების მორგების მიზნით, რათა უზრუნველყოფოს მაღალი ასპექტის ღრმა ხვრელები სრულიად ვერტიკალური გვერდებით. ყველა ცილინდრი მზადდება მეტოდით, რომელიც ეფუძნება მასის გაზომვას, და გადის პროპრიეტარულ შიდა პასივაციას, რათა უზრუნველყოფოს ამ რეაქტიული კომპონენტების სტაბილობა და მათი კონცენტრაციის მითითებული მნიშვნელობიდან გადახრის არ მოხდეს დროთა განმავლობაში. მიწოდებულია სრული ანალიზის სერტიფიკატით (CoA) და საერთაშორისო სტანდარტებზე დაკავშირებული, ეს ნარევი არის იდეალური არჩევანი კვლევისა და განვითარების ლაბორატორიების და მასშტაბური სემიკონდუქტორების წარმოების საწარმოების მიერ, რომლებსაც საჭიროების მიხედვით აუცილებელია მათი პლაზმური ქიმიის აბსოლუტური მუდმივობა. ეს „ყველაფერი ერთად“ ბალანსირებული ნარევი გამარტივებს აირის მიწოდების სისტემებს იმ გზით, რომ ამცირებს ცალკეული აირის ხაზების რაოდენობას, რაც შესაძლებლობას აძლევს შესაძლო დაშლის წერტილების მინიმიზაციას და მასის ნაკადის კონტროლის (MFC) კალიბრაციის პროცესის გამარტივებას.
Ჩვენს შესახებ
AGEM დაარსდა 2008 წელს როგორც მრავალეროვნული პროფესიონალური წარმოებლისა და აირის აღჭურვილობის მომსახურების მიმწოდებლის კომპანია, რომლის შტაბ-ბინა მდებარეობს ტაივანში, ჩინეთში. 16 წლიანი მიზანმიმართული ინდუსტრიული გამოცდილობით, მისი გლობალური მასშტაბი, უმაღლესი დონის წარმოებლური მასტერობა და სრული პროდუქტების ასორტიმენტი მის მდგომარეობას დაამკაცა როგორც აირის აღჭურვილობის სექტორში ეტალონური კომპანიის. კომპანია მისდევს გლობალიზაციის განვითარების სტრატეგიას და ჩინეთის მთავარ ნაკრძალში, ტაივანში, ჩინეთში და ინდოეთში აშენებს თანამედროვე წარმოებლურ ბაზებს, რაც ქმნის წარმოებისა და მომსახურების ქსელს, რომელიც მოიცავს აზიას და გადაიჭიმება მთელს მსოფლიოში. თითოეული ბაზა აღჭურვილია ინტელექტუალური წარმოებლური ხაზებით და სიზუსტის მაღალი დონის ტესტირების მოწყობილობებით, რაც საშუალებას აძლევს სრულად კონტროლირებას საწყისი მასალების დამუშავებიდან დამთავრებული პროდუქტის მიწოდებამდე. წლიური წარმოების შესაძლებლობით მუდმივად ინდუსტრიის ლიდერებს შორის მოხვედრის შედეგად, კომპანია შეძლებს სწრაფად რეაგირებას მსოფლიოს მომხმარებლების სხვადასხვა საჭიროებაზე. ძირითადი საქმიანობა ეძღვნება აირის დაკავშირებულ ძირეულ აღჭურვილობას და მოიცავს სრულ პროდუქტების ასორტიმენტს, რომელშიც შედის სხვადასხვა სამრეწველო აირი, სპეციალიზებული აირის ვალვები, მაღალი წნევის ცილინდრები, მსუბუქი ალუმინის ცილინდრები და მაღალი სიზუსტის წნევის შემცირებლები. ეს პროდუქტები ფართოდ გამოიყენება განსაკუთრებით მნიშვნელოვან სექტორებში, როგორიცაა ქიმია, ელექტრონიკა, ჯანდაცვა და ენერგეტიკა. ღრმა ტექნიკური ექსპერტიზის გამოყენებით, პროდუქტებმა მიიღეს ISO9001 ხარისხის მართვის სისტემის სერტიფიკატი და რამდენიმე ავტორიტეტული საერთაშორისო სერტიფიკატი, მათ შორის მაღალი წნევის აღჭურვილობის შესახებ ASME სერტიფიკატი, ევროკავშირის ბაზარზე შესასვლელად CE-PED სერტიფიკატი და მსოფლიო მასშტაბით გამოსაყენებლად IECEx აფეთქების წინააღმდეგო სერტიფიკატი. სიმჭიდროვის მახასიათებლები, წნევის წინააღმდეგობა და უსაფრთხოების დაცვის მახასიათებლები მიაღწიეს საერთაშორისო დონეს. კომპანია მუდმივად აფასებს ტექნოლოგიურ ინოვაციებს როგორც თავისი ძირეულ კონკურენტულ უპირატესობას, აკრეფს საერთაშორისო კვლევისა და განვითარების გუნდს და უწყვეტლად ინვესტირებს ტექნოლოგიურ აღმოჩენებში.
Ხშირად დასმული კითხვები
Რა არის მორგებული 99,9999 % (6N) სისუფთავის ნარევების წარმოების ვადა?
Ულტრამაღალი სისუფთავის (UHP) აირებისთვის, როგორიცაა CF4/O2, ტიპური წარმოების ვადა შეადგენს 10–15 სამუშაო დღეს. ეს მოიცავს სიზუსტის მაღალი დონის შერევასა და მრავალეტაპიან სტაბილობის ტესტირებას 6N ხარისხის სისუფთავისა და კონცენტრაციის სიზუსტის უზრუნველყოფად.
Როგორ უზრუნველყოფთ კონცენტრაციის სიზუსტის CF4/O2 ნარევში?
Ჩვენ სავსების დროს გამოვიყენებთ გრავიმეტრიულ მეთოდს (მაღალი სიზუსტის წონვას), რომელიც ყველაზე სიზუსტეს უზრუნველყოფს შერევის ტექნიკას. თითოეული ცილინდრი ანალიზდება აირის ქრომატოგრაფიით (GC) და მიაწოდება ანალიზის სერტიფიკატი (COA), რომელიც დაკავშირებულია NIST-ს ან ეროვნულ სტანდარტებს.
Ამ ნარევის სტაბილობა უზრუნველყოფილია იმის გამო, რომ მასში შედის როგორც წყალბადი (H2), ასევე ჟანგბადი (O2)?
Კი. ჩვენ მკაცრად ვერთვართ უსაფრთხოების შერევის პროტოკოლებს, სადაც ალყოფადი და ოქსიდაციის კომპონენტების კონცენტრაცია შენარჩუნებულია უსაფრთხო ზღვარში ან გასწორებულია არგონით (Ar), რათა უზრუნველყოფილი იყოს ქიმიური სტაბილობა და ცილინდრის შიგნით ნებისმიერი საშიში რეაქციების თავიდან აცილება.
Რომელი ტიპის ცილინდრი და ვალვა გამოიყენება ამ ნახევარგამტარული აირისთვის?
Ჩვენ გამოვიყენებთ შიგნიდან პასივირებულ ალუმინის შენაირების ცილინდრებს ან გამოხვეულ ნეიროსტანის ცილინდრებს ზედაპირული ადსორბციის თავიდან ასაცილებლად. 6N ხარისხის აირებისთვის ჩვენ ჩვეულებრივ ვამაგრებთ DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 ან SS 316L ნეიროსტანის სავალვულოებს, რათა უზრუნველყოფოთ ნებისმიერი გაჟონვა და დაბინძურების თავიდან ასაცილებლად.
Რა არის ამ აირების ნარევის შენახვის მოთხოვნები?
Ცილინდრები უნდა იქნას შენახული გამხმარი, შუშის და კარგად გამოვეთერებული ადგილას, პირდაპირი მზის სხივებისა და სითბოს წყაროებისგან შორს (ტემპერატურა < 50° C). დარწმუნდით, რომ ცილინდრები უფლებობის მიხედვით არის დამაგრებული ვერტიკალურად, რათა მათ ვერ დაეცეს.
Ახორციელებთ თუ არა საერთაშორისო გადაცემას საშიშროების შემცველი აირებისთვის?
Კი, ჩვენ სპეციალიზირებულები ვართ კლასი 2-ის საშიშროების შემცველი საქონლის ლოგისტიკაში. ჩვენ ვამოწობთ სრულ დოკუმენტაციას, რომელშიც შედის MSDS (Material Safety Data Sheet), UN-ის სერტიფიცირებული შეფუთვა და DG (Dangerous Goods) დეკლარაციები ზღვის ან აეროტრანსპორტის მიერ გადაცემისთვის.
