Ხაზგასმით
Ელექტრონული ხარისხის სისუფთავე ნახსენის წარმოებისთვის. ჩვენი C4F6 ხელმისაწვდომია ულტრა მაღალი სისუფთავის ხარისხებში — მაღალი 5N (99,999 პროცენტი), რომელიც მახასიათდება ძალზე დაბალი ნარევების დონით, მათ შორის ჟანგბადი (O2), ტენი (H2O) და ნახშირწყალბადები, რაც უზრუნველყოფს პლაზმის სტაბილურობას, ეტჩინგის სტაბილურ შედეგებს და მაღალ პროცესულ ხელმეორებადობას, რომელიც სჭირდება საერთაშორისო დონის ნახსენის მოწყობილობების წარმოებისთვის. განსაკუთრებით გამოსადეგი მოწინავე პლაზმის ეტჩინგის აპლიკაციებისთვის. C4F6 სპეციალურად შეიმუშავებულია მაღალი სიზუსტის პლაზმის ეტჩინგის პროცესებისთვის, მათ შორის დიელექტრიკული ფენების ეტჩინგი, ოქსიდული ფენების ეტჩინგი, დაბალი k-მასალების პატერნირება და კრიტიკული განზომილებების კონტროლი. იგი უზრუნველყოფს უმეტეს სელექტიურობას, ანიზოტროპული ეტჩინგის შესაძლებლობას და გაუმჯობესებულ პროფილის სიზუსტეს ტრადიციული ფტორონახშირწყალბადების მიმართ, როგორიცაა CF4, C2F6 და C3F8, რაც მის გამოყენებას იდეალურს ხდის მოწინავე ლოგიკური, მეხსიერების და MEMS წარმოებისთვის. დაბალი გლობალური თბომის პოტენციალის (GWP) ალტერნატივა. ტრადიციული პერფტორონახშირწყალბადების მიმართ, C4F6 უზრუნველყოფს მაღალი ეტჩინგის ეფექტურობას, დაბალი აირის მოხმარებას და შემცირებულ გარემოზე ზემოქმედებას, რაც ნახსენის წარმოების მწარმოებლებს საშუალებას აძლევს მიაღწიონ მათი მდგრადი განვითარების მიზნებს, ხოლო ერთდროულად შეინარჩუნონ მაღალი წარმოების შედეგიანობა და გამომუშავების მაღალი მაჩვენებლები. მკაცრი ნარევების და ტენის კონტროლი. ჩვენ გამოვიყენებთ მოწინავე აირის სუფთავების სისტემებს, სიზუსტის ანალიტიკურ ინსტრუმენტებს და მკაცრ ხარისხის კონტროლის პროტოკოლებს, რათა უზრუნველყოფოთ ტენის (H2O) შემცველობა 1 ppm-ზე ნაკლები, ჟანგბადის (O2) შემცველობა 1 ppm-ზე ნაკლები და სულ მთლიანად ნახშირწყალბადების შემცველობა 1 ppm-ზე ნაკლები, რაც ეფექტურად თავის არიდებს ფირფიტების დაბინძურებას, პლაზმის არასტაბილურობას და პროცესულ დეფექტებს და უზრუნველყოფს მუდმივ და სანდო ნახსენის პროცესირების შედეგებს. სერტიფიცირებული ბალონები ნახსენის წარმოების ხარისხის ზედაპირის დამუშავებით. ჩვენი C4F6 მიწოდებულია სტანდარტულ 47 ლიტრიან და 10 ლიტრიან ბალონებში, ასევე მორგებული ზომის ბალონებში, რომლებიც წარმოებულია ISO 9809, DOT 3AA და TPED EN სტანდარტების შესაბამად, საჭიროების შემთხვევაში შესაძლებელია შიგნით ელექტროპოლირება და პასივაცია, რათა მინიმიზირდეს ნაკრების წარმოქმნა, თავის არიდებული იქნას აირის დაბინძურება და შენახვის და გამოყენების დროს შენარჩუნდეს ულტრა მაღალი აირის სისუფთავე.