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삼플루오라이드 질소

AGEM은 다양한 목적을 위한 가스 전문 기업입니다. 엄격한 품질 관리를 통해 최고 수준의 제품을 생산하고 있습니다. 당사는 전 세계 6개 지역에 걸쳐 대기업들에게 가스 솔루션을 제공하는 글로벌 기업입니다.

질소삼불화물(NF₃)을 사용하여 세정 및 에칭 공정의 이점

무색무취의 가스인 삼불화질소는 반도체 제조에 필수적입니다. 이 가스는 반도체 공정 중 실리콘 웨이퍼 위의 잔여물을 제거하는 세척제로 흔히 사용됩니다. 삼불화질소는 매우 반응성이 높아 웨이퍼의 취약한 표면을 손상시키지 않으면서 원치 않는 오염 물질을 제거할 수 있습니다. 또한 삼불화질소는 반도체 또는 전자기기에 사용되는 유리를 에칭하는 데에도 활용되어 고품질 및 고성능 장치를 시장에 널리 공급할 수 있게 합니다.

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