ທັງໝົດ

ກາຊ CF4 ແລະ O2 ຄຸນນະພາບສູງ 6N ໃນສ່ວນປະກອບຂອງ H2 ແລະ Ar ສຳລັບການປັບຄ່າໃນຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍພາສີເທີ (plasma etching) ຂອງອຸດສາຫະກຳເຊມີເຄີນເຕີ

ກາຊ CF4 ແລະ O2 ຄຸນນະພາບສູງ 6N ໃນສ່ວນປະກອບຂອງ H2 ແລະ Ar ສຳລັບການປັບຄ່າໃນຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍພາສີເທີ (plasma etching) ຂອງອຸດສາຫະກຳເຊມີເຄີນເຕີ

ສອບຖາມ

ຄຳອະທິບາຍສັ້ນ
ສອບຖາມ
ຜະລິດຕະພັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ

ກ່ຽວກັບສິນຄ້າ

ເນັ້ນ

ສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນພິເສດນີ້ ມີຄວາມບໍລິສຸດ 99.9999% (6N) ແລະຖືກອອກແບບເປັນພິເສດສຳລັບຂະບວນການຜະລິດເຊມີເຄີເຕີເປັນພິເສດ ເຊັ່ນ: ການກັດເຄື່ອງດ້ວຍພາສມ່າ (Plasma Etching) ແລະ ຂະບວນການຜະລິດຊັ້ນບາງຂັ້ນສູງ. ດ້ວຍການປະສົມຢ່າງແນ່ນອນລະຫວ່າງ Carbon Tetrafluoride (CF4) ແລະ Oxygen (O2) ໃນຕົວແທນທີ່ສົມດຸນຂອງ Hydrogen (H2) ແລະ Argon (Ar), ສ່ວນປະກອບນີ້ໃຫ້ຄວາມຮ່ວມມືທາງເຄມີທີ່ຖືກຕ້ອງເພື່ອຄວບຄຸມຄວາມເລືອກໄດ້ຂອງການກັດ (etch selectivity) ແລະ ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຮູບຮ່າງ (profile anisotropy) ໃນການຜະລິດທີ່ມີຂະໜາດນ້ອຍກວ່າ 1 ນາໂນແມັດ. ຄວາມບໍລິສຸດຂະດັ້ນ 6N ຮັບປະກັນວ່າສິ່ງປົນເປືືອນທີ່ເປັນເຄື່ອງປະກອບທີ່ເປັນອາຫານ (trace metallic impurities) ແລະ ຄວາມຊື້ນ (moisture) ຈະບໍ່ມີຢູ່ເລີຍ, ເຊິ່ງຊ່ວຍປ້ອງກັນການປົນເປືືອນຂອງ wafer ແລະ ປັບປຸງອັດຕາການຜະລິດອຸປະກອນໃຫ້ດີຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ ໂດຍເປັນພິເສດສຳລັບໂຄງສ້າງທີ່ສັບສົນເຊັ່ນ: 3D NAND ແລະ FinFET. ການເພີ່ມ Argon ໃນສ່ວນປະກອບນີ້ຈະໃຫ້ພະລັງງານທີ່ຈຳເປັນສຳລັບການກະຕຸ້ນດ້ວຍ ion (ion bombardment) ເພື່ອການກັດທາງຟີຊິກ (physical sputtering), ໃນຂະນະທີ່ອັດຕາສ່ວນລະຫວ່າງ Hydrogen ແລະ Oxygen ໄດ້ຖືກປັບຄ່າຢ່າງລະອຽດເພື່ອຄວບຄຸມຊັ້ນປ້ອງກັນທີ່ເກີດຈາກ polymer (polymer passivation layers), ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຮູບແຕກ (trenches) ທີ່ມີອັດຕາສ່ວນສູງ (high-aspect-ratio) ແລະ ຮູບຮ່າງຂ້າງທີ່ຕັ້ງຊື່ນ (vertical sidewalls) ຢ່າງແທ້ຈິງ. ທຸກໆຖັງກາຊ (cylinder) ແມ່ນຜະລິດດ້ວຍວິທີການປະສົມທີ່ອີງໃສ່ນ້ຳໜັກ (gravimetric mixing) ທີ່ທັນສະໄໝ ແລະ ຜ່ານຂະບວນການປ້ອງກັນພາຍໃນ (internal passivization) ທີ່ເປັນເອກະສິດ ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມເປັນປະຕິກິລິຍາສູງເຫຼົ່ານີ້ຈະຄົງທີ່ ແລະ ບໍ່ເปลີ່ນແປງຈາກຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນທີ່ກຳນົດໄວ້ເທື່ອໃດ. ສ່ວນປະກອບນີ້ມາພ້ອມກັບໃບຢືນຢັນຜົນການວິເຄາະ (Certificate of Analysis - CoA) ທີ່ຄົບຖ້ວນ ແລະ ສາມາດຕິດຕາມການວັດແທກໄດ້ຕາມມາດຕະຖານສາກົນ. ສ່ວນປະກອບນີ້ເປັນທາງເລືອກທີ່ເໝາະສົມທີ່ສຸດສຳລັບຫ້ອງທົດລອງ R&D ແລະ ໂຮງງານຜະລິດເຊມີເຄີເຕີທີ່ມີປະລິມານສູງ ເຊິ່ງຕ້ອງການຄວາມເປັນເອກະພາບຢ່າງສົມບູນໃນຂະບວນການ plasma chemistry. ສ່ວນປະກອບທີ່ສົມດຸນ 'ທັງໝົດໃນໜຶ່ງ' ນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສັບສົນຂອງລະບົບກາຊ (gas delivery systems) ໂດຍການຫຼຸດຈຳນວນທໍ່ກາຊແຕ່ລະທໍ່ທີ່ຕ້ອງໃຊ້, ເຊິ່ງຈະຫຼຸດຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງຈຸດທີ່ອາດຮັ່ວ (leak points) ແລະ ສະເໜີຄວາມງ່າຍດາຍໃນຂະບວນການປັບຄ່າ mass flow controller (MFC).

ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ

AGEM ໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໃນປີ 2008 ເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບແລະຜູ້ໃຫ້ບໍລິການອຸປະກອນກາຊວນທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນເວທີສາກົນ, ມີສຳນັກງານໃຫຍ່ຕັ້ງຢູ່ທີ່ໄຕ້ຫວັນ, ຈີນ. ດ້ວຍປະສົບການດ້ານອຸດສາຫະກຳທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານເປັນເວລາ 16 ປີ, ການມີ presence ໃນຕ່າງປະເທດ, ຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານການຜະລິດທີ່ເດັ່ນເຖິງ, ແລະ ຊຸດຜະລິດຕະພັນທີ່ຄົບຖ້ວນ, ບໍລິສັດນີ້ໄດ້ເຮັດໃຫ້ຕົວເອງເປັນບໍລິສັດທີ່ເປັນເຄື່ອງໝາຍໃນອຸດສາຫະກຳອຸປະກອນກາຊວນ. ບໍລິສັດດຳເນີນຍຸດທະສາດການພັດທະນາໃນລະດັບສາກົນ, ໂດຍການສ້າງຕັ້ງຖານການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝໃນຈີນແດນຫຼາຍ, ໄຕ້ຫວັນ, ຈີນ ແລະ ອິນເດຍ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດເປັນເຄືອຂ່າຍການຜະລິດ ແລະ ການບໍລິການທີ່ຄອບຄຸມເຖິງເອເຊຍ ແລະ ຂະຫຍາຍໄປທົ່ວໂລກ. ຖານແຕ່ລະແຫ່ງຖືກຕິດຕັ້ງດ້ວຍແຖວການຜະລິດອັດຈະລິຍະ ແລະ ອຸປະກອນທົດສອບທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມທັງໝົດຕັ້ງແຕ່ການປຸງແຕ່ງວັດຖຸດິບຈົນເຖິງການຈັດສົ່ງຜະລິດຕະພັນສຳເລັດ. ດ້ວຍຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດປະຈຳປີທີ່ຢູ່ໃນອັນດັບຕົ້ນໆຂອງອຸດສາຫະກຳ, ບໍລິສັດນີ້ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຫຼາກຫຼາຍຂອງລູກຄ້າທົ່ວໂລກໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວ. ກິດຈະກຳຫຼັກຂອງບໍລິສັດເນັ້ນໃສ່ອຸປະກອນຫຼັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບກາຊວນ, ລວມເຖິງຜະລິດຕະພັນທີ່ຄົບຖ້ວນເຊັ່ນ: ກາຊວນອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆ, ວາວກາຊວນທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານເປັນພິເສດ, ຖັງກາຊວນຄວາມດັນສູງ, ຖັງກາຊວນທີ່ເບົາແລະເຮັດຈາກອາລູມີເນີ້ມ, ແລະ ອຸປະກອນຫຼຸດຄວາມດັນທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ. ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເຂດທີ່ສຳຄັນຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເຄມີ, ອີເລັກໂຕຣນິກ, ສາທາລະນະສຸກ, ແລະ ພະລັງງານ. ໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານເຕັກນິກທີ່ເລິກເຊິ່ງ, ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງຈາກລະບົບການຈັດການຄຸນນະພາບ ISO9001 ແລະ ການຮັບຮອງສາກົນທີ່ມີອຳນາດອື່ນໆອີກຫຼາຍຢ່າງ, ເຊັ່ນ: ການຮັບຮອງ ASME ສຳລັບອຸປະກອນຄວາມດັນສູງ, ການຮັບຮອງ CE-PED ສຳລັບການເຂົ້າຕະຫຼາດ EU, ແລະ ການຮັບຮອງ IECEx ສຳລັບການນຳໃຊ້ທົ່ວໂລກໃນສະຖານທີ່ທີ່ມີຄວາມສ່ຽງຈະເກີດການລະເບີດ. ຕົວຊີ້ວັດສຳຄັນດ້ານປະສິດທິພາບເຊັ່ນ: ຄວາມສາມາດໃນການປິດຜັນ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມດັນ, ແລະ ການປ້ອງກັນຄວາມປອດໄພ ໄດ້ບັນລຸເຖິງລະດັບທີ່ທັນສະໄໝໃນເວທີສາກົນ. ບໍລິສັດນີ້ສະເໝີໃຊ້ການປະດິດສ້າງເຕັກໂນໂລຊີເປັນປັດໄຈການແຂ່ງຂັນຫຼັກ, ໂດຍການຈັດຕັ້ງທີມງານ R&D ທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນລະດັບສາກົນ ແລະ ການລົງທຶນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນການທຳລາຍຂອບເຂດເຕັກໂນໂລຊີ.

FAQs

ເວລານຳເຂົ້າສິນຄ້າສຳລັບສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດ 99.9999% (6N) ແມ່ນເທົ່າໃດ?

ສຳລັບກາຊທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນພິເສດ (UHP) ເຊັ່ນ: CF4/O2, ເວລານຳເຂົ້າສິນຄ້າທົ່ວໄປແມ່ນ 10-15 ມື້ເຮັດວຽກ. ສິ່ງນີ້ລວມເຖິງການປະສົມຢ່າງແນ່ນອນ ແລະ ການທົດສອບຄວາມສະຖຽນຕົວຫຼາຍຂັ້ນຕອນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂະດັນ 6N ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ.

ທ່ານຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງສ່ວນປະກອບ CF4/O2 ແນວໃດ?

ພວກເຮົາໃຊ້ວິທີການຊົ່ວງນ້ຳໜັກ (ການຊົ່ວງນ້ຳໜັກທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ) ໃນຂະນະທີ່ເຕີມກາຊ, ເຊິ່ງເປັນວິທີການປະສົມທີ່ຖືກຕ້ອງທີ່ສຸດ. ທຸກໆຖັງຈະຖືກວິເຄາະດ້ວຍ Gas Chromatography (GC) ແລະ ມາພ້ອມດ້ວຍໃບຢືນຢັ້ງຜົນການວິເຄາະ (COA) ທີ່ສາມາດຕິດຕາມໄດ້ຈາກ NIST ຫຼື ມາດຕະຖານແຫ່ງຊາດ.

ສ່ວນປະກອບນີ້ມີຄວາມສະຖຽນຕົວບໍ? ເນື່ອງຈາກມີທັງ Hydrogen (H2) ແລະ Oxygen (O2).

ແມ່ນແລ້ວ. ພວກເຮົາປະຕິບັດຕາມບົດແນວທາງດ້ານຄວາມປອດໄພໃນການປະສົມຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ໂດຍທີ່ຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງສ່ວນປະກອບທີ່ຕິດໄຟ ແລະ ສ່ວນປະກອບທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດການເຜົາໄໝ້ຈະຖືກຄວບຄຸມໃຫ້ຢູ່ໃນຂອບເຂດທີ່ປອດໄພ ຫຼື ຖືກດຸນດ່ຽນດ້ວຍ Argon (Ar) ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສະຖຽນຕົວທາງເຄມີ ແລະ ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ເກີດປະຕິກິລິຍາອັນຕະລາຍໃນຖັງ.

ຖັງ ແລະ ວາວທີ່ໃຊ້ສຳລັບກາຊເຄື່ອງສຳລັບອຸດສາຫະກຳເຊມີເຄີນີ້ແມ່ນປະເພດໃດ?

ພວກເຮົາໃຊ້ບໍລິສຸດທິ່ມີການປ້ອງກັນພາຍໃນດ້ວຍອະລູມິເນີ້ມທີ່ຖືກປ້ອງກັນແລ້ວ ຫຼື ບໍລິສຸດທີ່ເຮັດຈາກເຫຼັກສະຕາເລດທີ່ໄດ້ຮັບການຂັດເງົາເພື່ອປ້ອງກັນການດູດຊຶມທີ່ເກີດຂື້ນທີ່ໜ້າເປືອກ. ສຳລັບກາຊທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດ 6N, ພວກເຮົາມັກຈະຕິດຕັ້ງວາວທີ່ເຮັດຈາກເຫຼັກສະຕາເລດ SS 316L ຫຼື ລະບົບຈັດຕັ້ງຢ່າງເປັນເອກະລາດ (DISS) ລຸ້ນ 660 ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຈະບໍ່ມີການຮົ່ວໄຫຼເລີຍ ແລະ ປ້ອງກັນການປົນເປືືອນ.

ເງື່ອນໄຂການເກັບຮັກສາສຳລັບສ່ວນປະກອບກາຊນີ້ແມ່ນຫຍັງ?

ບໍລິສຸດຄວນເກັບໄວ້ໃນບ່ອນທີ່ເຢັນ ແຫ້ງ ແລະ ມີການລະບາຍອາກາດດີ, ຫ່າງຈາກແສງຕາເວັນໂດຍກົງ ແລະ ບ່ອນທີ່ມີຄວາມຮ້ອນ (ອຸນຫະພູມ < 50° C). ຕ້ອງຮັບປະກັນວ່າບໍລິສຸດຖືກເກັບໄວ້ໃນທ່າທີ່ຕັ້ງຊື່ຂື້ນເທິງເພື່ອປ້ອງກັນການລົ້ມ.

ທ່ານສະເໜີການຈັດສົ່ງທົ່ວໂລກສຳລັບກາຊທີ່ເປັນອັນຕະລາຍຫຼືບໍ?

ແມ່ນແລ້ວ, ພວກເຮົາເຊີ່ยวຊານດ້ານການຂົນສົ່ງສິນຄ້າອັນຕະລາຍປະເພດ 2. ພວກເຮົາສະເໜີເອກະສານຄົບຖ້ວນ ລວມທັງບົດລາຍງານຄວາມປອດໄພຂອງວັດຖຸ (MSDS), ການຫໍ່ຫຸ້ມທີ່ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງຈາກ UN, ແລະ ການປະກາດສິນຄ້າອັນຕະລາຍ (DG) ສຳລັບການຂົນສົ່ງທາງທະເລ ຫຼື ທາງອາກາດ.