- ຄຳອະທິບາຍສັ້ນ
- ສອບຖາມ
- ຜະລິດຕະພັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ

ອາກອນ (AR), ໂຟລີນ (F2), ເຮລຽມ (He), ເນອອນ (Ne) - ແກັດທີ່ປະສົມໄວ້ລ່ວງໆ ແລ້ວ ເຊິ່ງຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ເລເຊີ່ເຄື່ອງມືດ້ານຕາເຮັດວຽກໄດ້ ແມ່ນເປັນສ່ວນຫຼາຍປະກອບດ້ວຍ ໂຟລີນ ແລະ ອາກອນ, ໂດຍໃຊ້ເນອອນເປັນແກັດທີ່ປະສົມເພື່ອຮັກສາຄວາມສົມດຸນ. ຂວດທີ່ບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາຈັດສົ່ງແມ່ນເຮັດດ້ວຍເຫຼັກ, ມີການກວດສອບຄວາມປອດໄພກ່ອນທີ່ຈະເຕີມແກັດທຸກຄັ້ງ, ຂວດທີ່ບໍ່ໄດ້ມາດຕະຖານຈະບໍ່ຖືກເຕີມແກັດອີກ ແລະ ຈະຖືກນຳມາຮີໄຊເຄິ່ງ. ແກັດເລເຊີ່ ອີກຊີມເມີ ປະກອບດ້ວຍສ່ວນປະກອບຂອງແກັດທີ່ບໍ່ເຮັດປະຕິກິລິຍາ (ແກັດອື່ນໆ) ແລະ ຮາໂລເຈັນ. ເລເຊີ່ 193 nm ຖືກສ້າງຂຶ້ນຈາກປະຕິກິລິຍາລະຫວ່າງອາກອນ (Ar) ແລະ ໂຟລີນ (F2) ໃນເງື່ອນໄຂທີ່ເໝາະສົມຂອງການ kíchຕື້ນດ້ວຍໄຟຟ້າ ແລະ ຄວາມກົດດັນສູງ. ຂະບວນການນີ້ຕ້ອງໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີຂັ້ນສູງ ແລະ ມີບໍລິສັດແກັດບໍ່ກີ່ທີ່ຈະສາມາດປະຕິບັດໄດ້ໃນທົ່ວໂລກ
แก๊สเอ็กไซเมอร์สำหรับรุ่นย่อยบางรุ่น |
||||||
ຍີ່ຫໍ້ |
ຄວາມຍາວຂອງຄື້ນ |
ຫມໍ້ໄຟ |
ວາວ |
|||
COHERENT |
193nm |
20 ໄຫ |
DIN 8 |
|||
B & L |
193nm |
20 L/50 L |
DIN 8/DIN 14 |
|||
Zeiss |
193nm |
10L/20 L |
DIN 14 |
|||
VISX |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
NIDEK |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
LASERSIGHT |
193nm |
10 L |
CGA 679 |
|||
Alcon |
193nm |
20L |
DIN8 |
|||
SCHWIND |
193nm |
10 L |
DIN 8/DIN 14 |
|||
SUMMIT |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||






AGEM ນຳສະເໜີວິທີແກ້ໄຂທີ່ຖືກອອກແບບຢ່າງແນ່ນອນສຳລັບຄວາມຕ້ອງການດ້ານກາຊທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນດ້ວຍເລເຊີ່ ເອກຊີເມີ: ກາຊທີ່ໃຊ້ປັບຄ່າເລເຊີ່ ເອກຊີເມີ ຂອງເຄຣີໂທນ (Krypton) ທີ່ປະກອບດ້ວຍ Xe, Kr ແລະ Ne ເຊິ່ງຖືກອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນການຖ່າຍຮູບດ້ວຍແສງ (photolithography) ແລະ ການຜະລິດເຄື່ອງຈັກເຊມີຄອນດັກເຕີ (semiconductor process gases) ທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການສູງ. ເປັນຜູ້ສະໜອງທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ໃນດ້ານກາຊທີ່ມີຄວາມເປັນພິເສດ, AGEM ນຳໃຊ້ປະສົບການຫຼາຍທົດສະວັດໃນການຜະລິດກາຊ ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ (R&D) ເພື່ອສະໜອງສ່ວນປະກອບກາຊ Kr/Xe/Ne ທີ່ໃຊ້ປັບຄ່າ ເຊິ່ງບັນລຸເງື່ອນໄຂທີ່ເຂັ້ມງວດດ້ານຄວາມບໍລິສຸດ, ຄວາມສະຖຽນ ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຕິດຕາມທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການຜະລິດ ແລະ ສະຖານທີ່ຫ້ອງທົດລອງ.
ຄຳອະທິບາຍສິນຄ້າ ແລະ ຄຸນລັກສະນະສຳຄັນ
ສ່ວນປະກອບກາດເລເຊີ excimer ນີ້ຖືກປະສົມເພື່ອສະໜັບສະໜູນລະບົບເລເຊີ excimer ຂອງ krypton ແລະ xenon ແລະໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງໃນການປັບຄ່າ Kr/Xe/Ne ສຳລັບຂະບວນການຜະລິດທາງດ້ານອີເລັກໂທຣນິກ ແລະ ເລເຊີ. ກາດປັບຄ່າເລເຊີ excimer ຂອງ AGEM ທີ່ປະກອບດ້ວຍ xenon, krypton ແລະ neon ມີໃຫ້ຢູ່ໃນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນທີ່ຄວບຄຸມໄດ້ຢ່າງເຂັ້ມງວດ ແລະ ມີການຢືນຢັນຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ສ່ວນປະກອບກາດເລເຊີ excimer ນີ້ຮັບປະໂຍດຈາກການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງ AGEM ແລະ ປະສົບການທີ່ຍາວນານໃນການໃຫ້ບໍລິການກາດພິເສດ ເຊິ່ງຮັບປະກັນການສະໜອງທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ ແລະ ພຶດຕິກຳທີ່ຄາດການໄດ້ໃນເງື່ອນໄຂການໃຊ້ງານ.
- ຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ຄວາມເປັນເອກະພາບ: AGEM ຮັບປະກັນສ່ວນປະກອບທີ່ບໍລິສຸດສູງ ແລະ ການປະສົມທີ່ຖືກຕ້ອງເພື່ອຜະລິດສ່ວນປະກອບກາດເລເຊີ excimer ທີ່ມີຄວາມເປັນເອກະພາບ. ສ່ວນປະກອບກາດປັບຄ່າ Kr/Xe/Ne ນີ້ຜະລິດດ້ວຍຂະບວນການທີ່ໄດ້ຮັບການຢືນຢັນແລ້ວ ແລະ ເຕັກນິກການວິເຄາະທີ່ທັນສະໄໝເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ອາດຈະສົ່ງຜົນຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງເລເຊີ ຫຼື ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປັບຄ່າ.
- ການປັບຄ່າທີ່ຕິດຕາມໄດ້: ແຕ່ລະຖັງກາຊ Kr/Xe/Ne ທີ່ໃຊ້ປັບຄ່າມີເອກະສານຮັບຮອງທີ່ຕິດຕາມໄດ້ ແລະ ເອກະສານຂອງແຕ່ລະຊຸດ ເພື່ອສະໜັບສະໜູນຂະບວນການທີ່ເປັນໄປຕາມມາດຕະຖານ ISO ແລະ ລະບົບຄຸນນະພາບສຳລັບໂຮງງານຜະລິດເຊມີຄອນດັກເຕີ ແລະ ຫ້ອງທົດລອງ. ປະສົມກາຊເອັກຊີເມີ ແມ່ນເໝາະສຳລັບການວັດແທກທີ່ມີຄວາມສຳຄັນ ໂດຍທີ່ການຕິດຕາມໄດ້ ແລະ ຄຸນນະພາບທີ່ມີເອກະສານຢືນຢັນແມ່ນຈຳເປັນ.
- ຄວາມສະຖຽນ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານ: ສູດສຳລັບກາຊ ແລະ ວິທີການຫໍ່ຫຸ້ມຮັກສາຄວາມເປັນຢູ່ຂອງປະສົມກາຊເອັກຊີເມີ ໃນເວລາເກັບຮັກສາ ແລະ ຂົນສົ່ງ, ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງທີ່ສ່ວນປະກອບຈະປ່ຽນແປງ. ວິທີແກ້ໄຂກາຊພິເສດຂອງ AGEM ລວມເຖິງການຈັດການຖັງກາຊ ແລະ ຄຳແນະນຳກ່ຽວກັບການເກັບຮັກສາເພື່ອຮັກສາຄວາມສະຖຽນຂອງກາຊໃນເວລາໃຊ້ງານ.
- ຄວາມປອດໄພ ແລະ ການປະຕິບັດຕາມ: ກາຊ Kr/Xe/Ne ທີ່ໃຊ້ປັບຄ່າຜະລິດຕາມຂໍ້ກຳນົດດ້ານກົດໝາຍ ແລະ ວິທີປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງເປັນໄປຕາມມາດຕະຖານດ້ານຄວາມປອດໄພ, ປ້າຍຊື່ ແລະ ວິທີການຈັດການທີ່ຈຳເປັນສຳລັບສະພາບແວດລ້ອມໃນອຸດສາຫະກຳ ແລະ ຫ້ອງທົດລອງ. AGEM ສະໜອງເອກະສານຂໍ້ມູນດ້ານຄວາມປອດໄພ (SDS) ແລະ ການຊ່ວຍເຫຼືອດ້ານເຕັກນິກເພື່ອປະສົມເຂົ້າກັບສາຍກາຊທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ.
ການນຳໃຊ້
ກາດຄຳປັບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຄື່ອງລາເຊີຣ໌ excimer ຍີ່ຫໍ້ Krypton ຂອງ AGEM ແມ່ນເປັນສ່ວນປະກອບທີ່ປະກອບດ້ວຍ Xe, Kr ແລະ Ne ເຊິ່ງຖືກອອກແບບມາສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຖືກຕ້ອງສູງຂອງອັດຕາສ່ວນກາດ ແລະ ຄຸນສົມບັດໃນການຄຳປັບຄວາມຖືກຕ້ອງ:
- ການຖ່າຍຮູບດ້ວຍແສງ (Photolithography) ແລະ ການຜະລິດຊິ້ນສ່ວນຈຸລະພາກ: ເປັນສ່ວນປະກອບກາດລາເຊີຣ໌ excimer ທີ່ສະໜັບສະໜູນລະບົບລາເຊີຣ໌ KrF ແລະ XeCl ເພື່ອໃຫ້ບັນລຸການຈັດຮູບທີ່ຖືກຕ້ອງ ແລະ ການຄຳປັບຄວາມຖືກຕ້ອງໃນການຜະລິດເຊມີເຄີ (semiconductor). ກາດຄຳປັບຄວາມຖືກຕ້ອງ Kr/Xe/Ne ແມ່ນຖືກປັບແຕ່ງຢ່າງເປັນພິເສດເພື່ອຮັກສາຄຸນສົມບັດການສົ່ງຜ່ານແສງທີ່ສົມໍາເທົ່າກັນ ແລະ ຢືນຢັນຄຸນສົມບັດການສົ່ງອອກຂອງລາເຊີຣ໌.
- ການຄຳປັບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງກາດໃນຂະບວນການຜະລິດເຊມີເຄີ: ສ່ວນປະກອບກາດຄຳປັບຄວາມຖືກຕ້ອງ Kr/Xe/Ne ເໝາະສົມຢ່າງຍິ່ງສຳລັບການຄຳປັບຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຊັນເຊີ, ອຸປະກອນຄວບຄຸມການໄຫຼ (flow controllers), ແລະ ເຄື່ອງມືວິເຄາະທີ່ໃຊ້ໃນການຈັດການກາດໃນຂະບວນການຜະລິດເຊມີເຄີ. ວິທີແກ້ໄຂກາດພິເສດຂອງ AGEM ຮັບປະກັນມາດຕະຖານອ້າງອີງທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຄວບຄຸມຂະບວນການ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິຜົນຂອງການຜະລິດ.
- ການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ການພັດທະນາ: ຫ້ອງທົດລອງ R&D ທີ່ເຮັດວຽກດ້ານການພັດທະນາເລເຊີ, ມາດຕະການແສງ, ແລະ ການວິເຄາະກາຊີນໃນຂະບວນການເປີດເຜີຍສາມາດອີງໃສ່ສ່ວນປະກອບກາຊີນ excimer ຂອງ AGEM ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ເງື່ອນໄຂການທົດລອງທີ່ສາມາດເຮັດຊ້ຳໄດ້. ກາຊີນ calibrations Kr/Xe/Ne ຊ່ວຍສຳລັບການພັດທະນາວິທີການ, ການຢືນຢັນເຄື່ອງມື, ແລະ ການສຶກສາທຽບທຽບ.
- ການທົດສອບອຸປະກອນທາງດ້ານແສງ: ການປັບຄ່າເຄື່ອງມືສະເພກໂຕຣສະກອບ, ເຄື່ອງຈັບແສງ UV, ແລະ ອຸປະກອນທາງດ້ານແສງອື່ນໆ ມີປະໂຫຍດຈາກສູດກາຊີນ calibrations Kr/Xe/Ne ທີ່ຖືກຕ້ອງຂອງ AGEM. ສ່ວນປະກອບກາຊີນ excimer ຊ່ວຍໃນການກຳນົດຄ່າເລີ່ມຕົ້ນ ແລະ ການຢືນຢັນຄວາມເປັນເສັ້ນຊື່ຂອງເຄື່ອງມື.
ນະວາດົມກະຕິ ແລະ ຂໍ້ດີດ້ານເທັກນິກ
AGEM ປະສົມຜະສົມຄວາມຊຳນິຊຳນານດ້ານວິທະຍາສາດວັດສະດຸ ແລະ ນະວັດຕະກຳດ້ານການປຸງແຕ່ງກາຊີນເພື່ອສະເໜີຂໍ້ດີດ້ານເຕັກນິກທີ່ເປັນເອກະລັກ:
- ເຕັກໂນໂລຢີການປະສົມຂັ້ນສູງ: AGEM ນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີການຄຳນວນແລະການປະສົມທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງເພື່ອບັນລຸອັດຕາສ່ວນການປະສົມຂອງກາຊເອັກຊີເມີຣ໌ທີ່ຖືກຕ້ອງຢ່າງແທ້ຈິງ. ການປະສົມທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງການຜະລິດແຕ່ລະຊຸດ ແລະສະໜອງກາຊຄຳນວນທີ່ປະກອບດ້ວຍ Kr/Xe/Ne ທີ່ເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຄົງທີ່ໃນເຄື່ອງມື ແລະເລເຊີທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງ.
- ການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບທີ່ເຂັ້ມແຂງ: ທຸກໆຖັງກາຊຄຳນວນ Kr/Xe/Ne ຖືກວິເຄາະຢ່າງລະອຽດດ້ວຍເຄື່ອງມືທີ່ທັນສະໄໝທີ່ສຸດເພື່ອຢືນຢັນປະກອບສ່ວນ ແລະລະດັບສິ່ງປົນເປື້ອນ. ວິທີແກ້ໄຂກາຊພິເສດຂອງ AGEM ມີເອກະສານຢືນຢັນທີ່ລະອຽດ ແລະຂະບວນການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບທີ່ອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການຄວາມເຊື່ອຖືສູງ.
- ວິທີແກ້ໄຂທີ່ປັບແຕ່ງຕາມຄວາມຕ້ອງການ: AGEM ສະເໜີກາຊຄຳນວນ Kr/Xe/Ne ທີ່ປັບແຕ່ງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າເປັນພິເສດ ເພື່ອໃຫ້ເໝາະສົມກັບຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ ຂະໜາດຖັງ ແລະການຮັບຮອງ. ອັດຕາສ່ວນກາຊເອັກຊີເມີຣ໌ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມລະບົບເລເຊີ ຫຼືມາດຕະຖານການຄຳນວນທີ່ເປັນເອກະລັກ ເພື່ອໃຫ້ບັນລຸຜົນການທີ່ດີທີ່ສຸດໃນສະຖານະການການໃຊ້ງານທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
- ການສະໜັບສະໜູນທົ່ວໂລກດ້ວຍຄວາມໄວໃນການຕອບສະຫນອງທ້ອງຖິ່ນ: ຄວາມສາມາດດ້ານການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາ (RD) ແລະ ຂໍ້ຂ່າຍການຈັດສົ່ງທົ່ວໂລກຂອງ AGEM ໃຫ້ຄວາມສາມາດໃນການຕອບສະຫນອງຢ່າງໄວວາ ແລະ ການສະໜັບສະໜູນດ້ານເຕັກນິກໃນແຕ່ລະເຂດທັງຫົກ. ລູກຄ້າໄດ້ຮັບປະໂຫຍດຈາກການຈັດຫາສິນຄ້າທີ່ເໝາະສົມຕາມທ້ອງຖິ່ນ ແຕ່ຍັງຄົງເຂົ້າເຖິງຄວາມຊຳນິຊຳນານດ້ານວິທີການການຜະລິດກາຊທີ່ເປັນພິເສດຂອງ AGEM ແລະ ຄຸນນະພາບສິນຄ້າທີ່ສອດຄ່ອງກັນ.
ຂໍ້ມູນດ້ານເຕັກນິກ - ຕົວຢ່າງ
ກາຊທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງເລເຊີ່ Excimer ທີ່ມີສ່ວນປະກອບ Krypton ຂອງ AGEM (Xe Kr Ne mixture gas) ມີໃຫ້ບໍລິການໃນຮູບແບບທີ່ແຕກຕ່າງກັນທັງດ້ານອັດຕາສ່ວນຂອງສ່ວນປະກອບ ແລະ ຮູບແບບຂອງຖັງກາຊ. ຄຸນລັກສະນະທົ່ວໄປປະກອບດ້ວຍ: ອັດຕາສ່ວນຂອງ Krypton, Xenon ແລະ Neon ທີ່ໄດ້ຮັບການຢືນຢັນແລ້ວໃນອັດຕາສ່ວນທີ່ຄວບຄຸມໄດ້; ຂໍ້ກຳນົດດ້ານສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ເໝາະສົມຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸດສາຫະກຳເຊມີເຄີນ ແລະ ຫ້ອງທົດລອງ; ແລະ ເອກະສານຢືນຢັນທີ່ຮັບຮອງເພື່ອການຕິດຕາມທີ່ມາ. AGEM ສາມາດຈັດຫາບົດລາຍງານການວິເຄາະແລະໃບຢືນຢັນການວິເຄາະໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການ.
ຄຳແນະນຳດ້ານການນຳໃຊ້ ແລະ ການຈັດການ
- ຕິດຕັ້ງ ແລະ ໃຊ້ສ່ວນປະກອບກາຊທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງເລເຊີ່ excimer ຕາມຄຳແນະນຳຂອງຜູ້ຜະລິດສຳລັບລະບົບເລເຊີ່ ແລະ ສິ່ງອຳນວຍຄວາມສະດວກໃນການຈັດການກາຊ. - ປະຕິບັດຕາມຄຳແນະນຳຂອງ AGEM ເກີ່ຍວກັບການຈັດເກັບ ແລະ ການຈັດການຖັງກາຊເພື່ອຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງກາຊ calibrating Kr/Xe/Ne. - ສຳຫຼັບຄຳແນະນຳດ້ານການປັບຄ່າ, ການເລືອກຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນ, ແລະ ມາດຕະການຄວາມປອດໄພທີ່ເໝາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກຂອງທ່ານ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ທີມງານດ້ານເຕັກນິກຂອງ AGEM.
ເປັນຫຍັງຈຶ່ງຄວນເລືອກ AGEM
AGEM ມີຄວາມມຸ່ງໝັ້ນຢ່າງເຂັ້ມງວດຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ. ເປັນບໍລິສັດຜະລິດກາຊ ແລະ ວິຈັຍ-ພັດທະນາທີ່ຕັ້ງຢູ່ໃນໄຕ້ຫວັນ ເຊິ່ງເຊີ່ยวຊານດ້ານກາຊພິເສດ, AGEM ຜະສົມຜະສານການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຢ່າງເຂັ້ມງວດເຂົ້າກັບຄວາມຮູ້ທີ່ເລິກເຊິ່ງດ້ານກາຊສຳລັບອຸດສາຫະກຳເອເລັກໂທຣນິກ, ກາຊປະລິມານຫຼາຍ, ແລະ ກາຊສຳລັບການປັບຄ່າ. ລູກຄ້າທີ່ເລືອກໃຊ້ AGEM ເພື່ອຄວາມຕ້ອງການດ້ານກາຊ Kr/Xe/Ne ສຳລັບການປັບຄ່າຈະໄດ້ຮັບເຖິງຜະລິດຕະພັນກາຊ excimer laser ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເອກະສານທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ແລະ ການຊ່ວຍເຫຼືອດ້ານເຕັກນິກສຳລັບກາຊທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດເຊມີເຄີ່ງເທີ, ແລະ ການນຳໃຊ້ດ້ານເຕັກນິກດ້ານເລເຊີ່ທີ່ຕ້ອງການຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ.
ສຳລັບອົງການທີ່ຕ້ອງການວິທີແກ້ໄຂກາຊທີ່ໃຊ້ໃນເຄື່ອງເລເຊີ excimer ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ ແລະ ຄວາມຖືກຕ້ອງໃນການປັບຄ່າ Kr/Xe/Ne, ກາຊປັບຄ່າເຄື່ອງເລເຊີ excimer ຂອງ AGEM ທີ່ປະກອບດ້ວຍ Xe, Kr ແລະ Ne ແມ່ນທາງເລືອກທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ສາມາດຕິດຕາມທີ່ມາໄດ້ ແລະ ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການ. ດ້ວຍຄວາມຊຳນິຊຳນານດ້ານກາຊພິເສດ ແລະ ລະບົບການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງ AGEM, ກາຊປະສົມສຳລັບເຄື່ອງເລເຊີ excimer ນີ້ສະຫນັບສະຫນູນການຖ່າຍຮູບດ້ວຍແສງ (photolithography), ການປັບຄ່າກາຊທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດເຊມີເຄີ (semiconductor process gases) ແລະ ການຄົ້ນຄວ້າທີ່ຕ້ອງການຄວາມສະຖຽນ, ຄວາມບໍ່ປົນເປື້ອນ ແລະ ເອກະສານຢືນຢັນທີ່ຊັດເຈນ.
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ