ທັງໝົດ

ແກັດປະສົມສຳລັບເລເຊີ Excimer ຂັ້ນການແພດ | ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບເຄື່ອງເລເຊີ Alcon Wavelight, Schwind Amaris, Nidek | ArF 193nm ຄວາມຈຸ 20 ລິດ

ແກັດປະສົມສຳລັບເລເຊີ Excimer ຂັ້ນການແພດ | ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບເຄື່ອງເລເຊີ Alcon Wavelight, Schwind Amaris, Nidek | ArF 193nm ຄວາມຈຸ 20 ລິດ

ສອບຖາມ

ຄຳອະທິບາຍໂດຍຫຍໍ້
ສອບຖາມ
ຜະລິດຕະພັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ

ກ່ຽວກັບສິນຄ້າ

ເນັ້ນ

ຄວາມຖືກຕ້ອງໃນການປະສົມໃນຂະໜາດນາໂນ: ພວກເຮົາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຍີການເຕີມແບບກະລາມມີຕຣິກ (gravimetric) ແລະ ອຸປະກອນຄວບຄຸມການໄຫຼຜ່ານມວນນ້ຳໆ (Mass Flow Controllers - MFC) ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງສ່ວນປະສົມກາຊ ໃນຂອບເຂດທີ່ແຄບຫຼາຍເຖິງ 1% ຫຼື 2%. ສິ່ງນີ້ຮັບປະກັນພະລັງງານຂອງຄື້ນເລເຊີ ແລະ ຄວາມສະຖຽນຂອງມັນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ໃນຂະບວນການຖ່າຍທອດຮູບແບບ DUV. ເຕັກໂນໂລຍີການປ້ອງກັນພື້ນຜິວທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງ: F₂ ແມ່ນມີຄວາມເຄື່ອນໄຫວສູງຫຼາຍ. ຖັງຂອງພວກເຮົາໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວພື້ນຜິວດ້ານໃນດ້ວຍຂະບວນການປ້ອງກັນພິເສດເພື່ອສ້າງຊັ້ນຟຼູໂອຣີດທີ່ເປັນສະຖຽນ, ເພື່ອປ້ອງກັນສ່ວນປະສົມຈາກການເກີດປະຕິກິລິຍາກັບຜິວຂອງຖັງ ແລະ ຮັບປະກັນອາຍຸການເກັບຮັກສາທີ່ຍາວນານ (ສູງສຸດ 12-24 ເດືອນ). ສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນຢ່າງຍິ່ງ: ພວກເຮົາໃຊ້ເພີຍງ Neon ແລະ Krypton/Xenon ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດ 6N (99.9999%) ເປັນກາຊພື້ນຖານ ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງປົນເປືືອນທີ່ເກີດຂຶ້ນໃນປະລິມານນ້ອຍຫຼາຍ (O₂, H₂O, HF) ທີ່ອາດຈະເຮັດໃຫ້ເລເຊີດັບ ຫຼື ບຸບເສຍສ່ວນປະກອບທາງດ້ານເລເຊີ. ການຫໍ່ຫຸ້ມທີ່ມີຄວາມປອດໄພສູງ: ສົ່ງອອກໃນຖັງທີ່ເຮັດຈາກໂລຫະນິເກີນ-ອາລ໌ລອຍ (nickel-alloy) ຫຼື ເຫຼັກທີ່ໄດ້ຮັບການປິ່ນປົວເປັນພິເສດ ທີ່ມີຄວາມດັນສູງ, ປະກອບດ້ວຍວາວ DISS ຫຼື ວາວທີ່ອອກແບບເພື່ອໃຊ້ກັບສານທີ່ກັດກາຍເປັນພິເສດ, ເພື່ອຮັບປະກັນບໍ່ມີການຮົ່ວໄຫຼເລີຍໃນระหวາງການຂົນສົ່ງທົ່ວໂລກ.

ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ

AGEM ໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໃນປີ 2008 ເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບແລະຜູ້ໃຫ້ບໍລິການອຸປະກອນກາຊວນທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນເວທີສາກົນ, ມີສຳນັກງານໃຫຍ່ຕັ້ງຢູ່ທີ່ໄຕ້ຫວັນ, ຈີນ. ດ້ວຍປະສົບການດ້ານອຸດສາຫະກຳທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານເປັນເວລາ 16 ປີ, ການມີ presence ໃນຕ່າງປະເທດ, ຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານການຜະລິດທີ່ເດັ່ນເຖິງ, ແລະ ຊຸດຜະລິດຕະພັນທີ່ຄົບຖ້ວນ, ບໍລິສັດນີ້ໄດ້ເຮັດໃຫ້ຕົວເອງເປັນບໍລິສັດທີ່ເປັນເຄື່ອງໝາຍໃນອຸດສາຫະກຳອຸປະກອນກາຊວນ. ບໍລິສັດດຳເນີນຍຸດທະສາດການພັດທະນາໃນລະດັບສາກົນ, ໂດຍການສ້າງຕັ້ງຖານການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝໃນຈີນແດນຫຼາຍ, ໄຕ້ຫວັນ, ຈີນ ແລະ ອິນເດຍ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດເປັນເຄືອຂ່າຍການຜະລິດ ແລະ ການບໍລິການທີ່ຄອບຄຸມເຖິງເອເຊຍ ແລະ ຂະຫຍາຍໄປທົ່ວໂລກ. ຖານແຕ່ລະແຫ່ງຖືກຕິດຕັ້ງດ້ວຍແຖວການຜະລິດອັດຈະລິຍະ ແລະ ອຸປະກອນທົດສອບທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມທັງໝົດຕັ້ງແຕ່ການປຸງແຕ່ງວັດຖຸດິບຈົນເຖິງການຈັດສົ່ງຜະລິດຕະພັນສຳເລັດ. ດ້ວຍຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດປະຈຳປີທີ່ຢູ່ໃນອັນດັບຕົ້ນໆຂອງອຸດສາຫະກຳ, ບໍລິສັດນີ້ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຫຼາກຫຼາຍຂອງລູກຄ້າທົ່ວໂລກໄດ້ຢ່າງວ່ອງໄວ. ກິດຈະກຳຫຼັກຂອງບໍລິສັດເນັ້ນໃສ່ອຸປະກອນຫຼັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບກາຊວນ, ລວມເຖິງຜະລິດຕະພັນທີ່ຄົບຖ້ວນເຊັ່ນ: ກາຊວນອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆ, ວາວກາຊວນທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານເປັນພິເສດ, ຖັງກາຊວນຄວາມດັນສູງ, ຖັງກາຊວນທີ່ເບົາແລະເຮັດຈາກອາລູມີເນີ້ມ, ແລະ ອຸປະກອນຫຼຸດຄວາມດັນທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ. ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເຂດທີ່ສຳຄັນຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເຄມີ, ອີເລັກໂຕຣນິກ, ສາທາລະນະສຸກ, ແລະ ພະລັງງານ. ໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຊ່ຽວຊານດ້ານເຕັກນິກທີ່ເລິກເຊິ່ງ, ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງຈາກລະບົບການຈັດການຄຸນນະພາບ ISO9001 ແລະ ການຮັບຮອງສາກົນທີ່ມີອຳນາດອື່ນໆອີກຫຼາຍຢ່າງ, ເຊັ່ນ: ການຮັບຮອງ ASME ສຳລັບອຸປະກອນຄວາມດັນສູງ, ການຮັບຮອງ CE-PED ສຳລັບການເຂົ້າຕະຫຼາດ EU, ແລະ ການຮັບຮອງ IECEx ສຳລັບການນຳໃຊ້ທົ່ວໂລກໃນສະຖານທີ່ທີ່ມີຄວາມສ່ຽງຈະເກີດການລະເບີດ. ຕົວຊີ້ວັດສຳຄັນດ້ານປະສິດທິພາບເຊັ່ນ: ຄວາມສາມາດໃນການປິດຜັນ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມດັນ, ແລະ ການປ້ອງກັນຄວາມປອດໄພ ໄດ້ບັນລຸເຖິງລະດັບທີ່ທັນສະໄໝໃນເວທີສາກົນ. ບໍລິສັດນີ້ສະເໝີໃຊ້ການປະດິດສ້າງເຕັກໂນໂລຊີເປັນປັດໄຈການແຂ່ງຂັນຫຼັກ, ໂດຍການຈັດຕັ້ງທີມງານ R&D ທີ່ມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນລະດັບສາກົນ ແລະ ການລົງທຶນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນການທຳລາຍຂອບເຂດເຕັກໂນໂລຊີ.

FAQs

ທ່ານສາມາດຜະລິດສ່ວນປະກອບທີ່ເປັນເອກະລັກສຳລັບອຸປະກອນ ASML, Cymer, ຫຼື Gigaphoton ໄດ້ຫຼືບໍ່?

ແມ່ນແລ້ວ. ພວກເຮົາສາມາດປັບແຕ່ງອັດຕາສ່ວນໂມເລກຸນຢ່າງເປັນເອກະລັກ (ຕົວຢ່າງ: 5% F2 ໃນ Neon ຮ່ວມກັບ Ar/Kr ໃນປະລິມານນ້ອຍ) ເພື່ອໃຫ້ເຂົ້າກັບຄວາມຕ້ອງການດ້ານ "pre-mix" ຫຼື "fill-gas" ທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຜູ້ຜະລິດ laser excimer ທັງໝົດ.

ທ່ານຮັບປະກັນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງ Fluorine ໃນໄລຍະເວລາດົນນານແນວໃດ?

ຜ່ານເຕັກນິກການປ້ອງກັນພື້ນຜິວ (passivation) ແລະ ການຂັບໄລ່ຄວາມຊື້ນຂັ້ນສູງຂອງພວກເຮົາ, ພວກເຮົາຮັບປະກັນວ່າຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງ F2 ຈະຄົງທີ່ຕະຫຼອດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຖັງກາດ, ເພື່ອປ້ອງກັນບັນຫາ "gas drift" ທີ່ເຮັດໃຫ້ພະລັງງານ laser ລົດຕ່ຳລົງ.

ຂໍ້ບັງຄັບດ້ານການຈັດສົ່ງສຳລັບສ່ວນປະກອບເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນຫຍັງ?

ເນື່ອງຈາກມີສ່ວນປະກອບ Fluorine, ສ່ວນປະກອບເຫຼົ່ານີ້ຈັດຢູ່ໃນປະເພດ UN 3306, Class 2.3 (ເປັນພິດ) + 2.1 (ລ້ຽງໄຟ) ຫຼື 8 (ກັດກຣ່ອນ) ເປັນອັນຕະລາຍຍ່ອຍ. ພວກເຮົາຈັດຫາເອກະສານທີ່ສອດຄ່ອງຕາມມາດຕະຖານ IMO ແລະ ການຫໍ່ຫຸ້ມສຳລັບສິນຄ້າອັນຕະລາຍ (DG packaging) ພິເສດຈາກສູນກາງຂອງພວກເຮົາທີ່ໄຕ້ຫວັນ ແລະ ຈີນ.

ທ່ານມີບໍລິການຈັດສົ່ງກາດທີ່ຫາຍາກ (Ne, Kr, Xe) ເປັນສ່ວນປະກອບແຍກຕ່າງຫາກ ເພື່ອໃຊ້ໃນການປັບສຳລັບການປຸງແຕ່ງທີ່ເວັບໄຊທ໌ (on-site blending) ຫຼືບໍ່?

ແມ່ນແລ້ວ, ພວກເຮົາສາມາດຈັດຫາອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນອັນໆໄປ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ປະກອບຂຶ້ນລ່ວງໆແລ້ວ ເຊັ່ນ: ອາຍແກັສ "Halogen" ແລະ "Rare Gas" ຂຶ້ນກັບການຕັ້ງຄ່າຂອງຕູ້ອາຍແກັສໃນລະບົບເລເຊີຂອງທ່ານ.