Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Paetae 1: He Aha te Whakatiki Plasma?

Kia ora koutou, kei te mohio tonu koutou i hea te mea nei e tuhi plasma? Ko te tuhi plasma he mahi i whakamahi mai ki te hanga mea matatika, penei i nga puhipuhi rorohiko i roto i nga paetara me etahi atu mea matatika. Ki te whakamahi i tetahi raupapa aratau e inoi ana i te kupu lithography, ka tuhia etahi hanga itiiti ki runga i nga momo - he whanonga nui i te whakangungu i enei whare. He mea nui noa te tuhi i tenei waa, he ahua gas e taea ana te whaiwhai i te whenua i whakamahia ai tatou. Ko te gas ka whakamahia e tatou i te wa o tenei mahi ko te C3F8.

Ko te C3F8 he gas nui rawa hei whakapiki i te raruraru i te whakarite i nga mea ka tuhituhia. E noho ana he mea nui rawa hei whakapakari i te tuhi i te pai rawa ano i te whakamahi i etahi atu gas. Ki te whakamahi i te C3F8, ka kitea e tatou nga tuhi pai rawa ake o nga hanga. Ko tenei whakatikatika ka whaihua ki te hanga i nga puhipuhi rorohiko, me etahi atu whare matatika e hiahiatia ana ki te mahi pai.

C3F8: Whakapai i te Whanonga Tuhi

I tēnei whakaaro, ka mahi te C3F8 hei wāhanga toitū kia whai kaha ake ai te mataku o te tahua. Ko te mahi o te C3F8 he whakamutu i te hokinga mai o te plasma ki ngā taiepa o te wāhi tahua. Ko te mea nui, ka taea e te plasma te hoki mai ki ngā taiepa e whaiherehere ana i te wā o te tahua āpiti. Ki te whakamahi i te C3F8, ka tango ia i te plasma ki te mea e hiahia ana kia tahua. Ka noho tēnei e whakangungu ana, ā, ka whakarite i te katoa o te mahi.

He pai anō hoki te C3F8 i te whiuwhiu pai. E hīnau ana tēnei ki te whakatū tonu, ā, ka noho i ana āhuatanga kaweata mō ētahi tau. Nā reira, ki te whakamahi i te C3F8, ka whakangungu hoki i te tahua, ā, ka whakaae hoki kia mau tonu te pai o te rite.

[[STIR] Whakawhanake Matua Page 3: CH4 Whakamahi o te C3F8 ki te Mahi i ngā Pūkoro Rorohiko Iti]

Kei a koe te whakaaro i te wā kua tae ki te whakamahinga hei hanga i ngā pūtahi komiputa iti nei? Ko tēnā he whakapā mai i ngā raenga kōriki—raenga iti nui—ki runga i tētahi pūtahi sīleni. Ko tēnei sīleni he materiana matua mo ngā raraunga. Ko te C3F8 he mea nui tino mō tēnei mahi, nā tērā e taea ai te whakatupu i ngā whakaritenga pai me ngā kawe pai. Hei tāku, ko tērā te take, nā te mea ka hiahiatia e te pūtahi komiputa ngā raenga pai kia pai te mahi.

Nā te C3F8 ka taea e ngā hanganga ēnei raenga iti ki te pai me te taea anō i te whakaaturanga. E noho ana tēnei hei whai mana i runga i ia pūtahi. Ko te C3F8 he etihana maha anō, nā tērā ka taea te whakarite i ngā momo hanga maha. Ko tēnei e whakaae ana i ngā kaihanga ki te hanga i ngā mea raraunga maha, pērā i ngā waea tohu me ngā paetūā hoki.

C3F8 – Te Wāhi Matua hei Whakatūmomo

Ka tae atu ki te whakamahi i te gas block, ko te C3F8 koeke noa iho he mea whai take hoki. Ngaea ana ia e tino haumaru i te ara me te taea te whakamahi anō i te nuinga o ngā wā, koia enei he whakaaetanga iti noa iho. E hīnau ana tēnei kia kitea e ngā pūkenga e hiahia ana ki te hokohoko i te iti nei o ngā momo gas nui rawa i te utu. Ko tenei ka taea e ngā kāwanatanga te tirotiro i te itinga o te utu i waenganui i te hanga i te pai rawa o te C3F8 i roto i te whakamahere.

Ki runga anō hoki, ko te C3F8 he mea māhorahora noa iho i a Papatuanuku. Kāore he paunga pai tenei hei whakamārama mo te āhua o te ao nei i tenei wā, e tū tonu ana te rongoā i te kaiwhakaaweawe ika. Ko te C3F8 he mea tino pai rawa i runga i ngā momo gas katoa, kāore ia i te whakaputu i ngā raruraru i te rangi. Koinei te mea pai rawa mo ngā pūkenga whakaaro pai e hiahia ana ki te whakamahi i te whakamahana i te hanga i o rātou mahi.

Ko te C3F8 Kei te pai me te haere tonu te Whakarere

Nō te mea, ko C3F8 te wāhi etahi hoki e whiwhi ana i te mahi herehere tino mōhio ki ngā pūnaha nui. E hiahiatia ana tēnei he wā mōhiki mō ngā kaihanga i te whakangungu o ētahi rorohiko. Ki runga i te C3F8, ka taea hoki e rātau te tirotiro i te moni me te wehi hoki i te taiao.