Семикондукторууд нь хамгийн их зүйлсээс, таны смартфон, персонал компьютер болон бусад бүх электрон зүйлсэнд байдаг. Эдгээр нь тодорхой ажлын баримт бүрэн дээр үйлдвэрлэгдэнэ, газын олон төрлийг ашигладаг. Дараах нь тухайн байгууллагын ашиглах олон төрлийн газын талаар, эдгээрийн хувьд ямар чухал хүчирхэг технологиудыг бид хэрэглэдэг вэ гэдгийг тайлбарладаг. Хөдөө аж ахуйн сектор, семикондуктор үйлдвэрлэхэд ашигладаг газын төрлүүд Семикондукторууд нь ихэвчлэн шинж чанаруудын жишээнд хамааран, мөн эдгээрийг үйлдвэрлэхэд ашигладаг процессууд нь ихэвчлэн шингээх, цоожуулах, цохих процесстэй холбоотой. Эдгээр газуудын шинж чанарууд, ашиглалтын зорилго, эсвэл амьдралын нөөцөд хамааран өөрчлөгдөнө. Тиймээс индустрийн газын санхүүгчид, семикондукторын газын санхүүгчид эсвэл лабораторит дээр ашигладаг газууд нь ихэвчлэн хэрэглэгчдийн зорилгоор тохирогдоно. Одоогоор бид семикондуктор үйлдвэрлэхэд ашигладаг олон газын заримыг танилцуулах болно. Силан SiH4: Энэ нь газ удаан өнгөтэй бөгөөд томъёолсондаа томъёоны үндэслэл болох силигний материал юм. Энэ нь оюун, устай хурдан холбогдож, силигний оксид (SiO) болон водород газ үүсгэдэг. Силан нь силигний материалыг хурдан эсвэл илүү бага температурт цоожуулахад ашигладаг. Нитроген N2 элемент: Энэ нь хүчирхэггүй газ юм, энд хөрш хөдөлгөөнтэй холбогдохгүй. Энэ нь үйлдвэрлэлийн процесс дунд O2-г, усны хэмжээг цэвэрлэхэд ашигладаг. Энэ нь бусад газуудын ажиллагааг хяналтаар хөгжүүлэх, никромын цоожлуулалт, плазмаар хөгжүүлэгдсэн никромын цоожлуулалтад гар газ гэсэн үүрэгтэй.
Хайдроген (H2) - Хайдроген нь материалуудаас чимэгтэй бусад хэсгүүдийг арилгах төгсөгч газ болохыг зориулж ашигладаг. Семикондуктор үйлдвэрлэх үед энэ нь анниал, цэвэрлэх зэрэг олон процесстэй холбоотой чухал үйл ажиллагааны алхам юм. Мөн хайдроген нь санаачлагат CMOS үйлдвэрлэлийн үндсэн хувьд ашигладаг метал гариг үүсгэдэг.
Стабиль Оксиген (O2/O) - лист дээр оруулах, спецификацийн хугацаа гэх мэт. Газны оксиген нь плазма процессын олон хэсэгт ашиглагддаг, жишээлбэл etch, strip/ash процессүүдэд. Түүнчлэн энэ нь SiOx-р хөрвүүлэх эсвэл метал хэсгүүдийг оксигенд хамааруулан пассивчлагдахад хамгийн их үзүүлэх хариуцлагатай.
Хлорин (Cl2): Хлорин нь шаргалтай хоолойтой, жигд эсвэл улаан цагаан дулаан, хамгийн ихдээ хөдөлгөөнтэй хоолойтой нонметал юм. Энэ нь силигэн-бүхий материалууд, силигэн хоёртын оксид, алуминийн төрлийн олон металуудтай ихээхэн хамааруулан ашиглагддаг ба семикондукторын структурыг этчинг хийхэд олон ашигладаг.
Хүчирхэгчийн үйлдвэрлэлийн үндсэнд газ нь ашиглагддаг бөгөөд энэ нь хүчирхэгчийн үйлдвэрлэлийн чадвар нэмэгдсэн тул томоохон зөвхөн электроник бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх боломжийг олгодог. Газ нь хүчирхэгчийн салбарт ихээхэн ашигтай.
Силан, аммиак, нитроген газууд нь хүчирхэгчийн хувьд ашигладаг шинээр байгуулсан силиг оксид эсвэл нитридийг дэвсгэрлэхэд (thin film) ашигладаг. Дэвсгэрлэл.
Эрэлт: Энэ нь хүчирхэгчидээс хамаарахгүй материал эсвэл зургийг хасахад ашигладаг, жишээ нь хлорин, фтор, кислород газууд.
Үйл ажиллагааны газ: Хүчирхэгчийн цэцэрлэгтэй бутлуур үйлдвэрлэх тоног төхөөрөмжийг цэцэрлэглэх (зөвшөөрөл) үед хидроgen, нитроген газууд нь чухал хамаарлын материалуудыг бууруулахад ашигладаг.
Цэвэрлэх: Энэ нь томоохон ашигтай байдаг, зөвхөн тоног төхөөрөмжийг засварлах үед системээс кислород, усны хамгийг хасахад ашигладаг.
Үр дүнгээр, төмөр хийсэн бус аж ахуй нь зөвлөмжтэй материалуудын жишээ болон процессыг хамгийн саналтай хэмжээнд өргөжүүлэхийг хүссэн байдаг. Шинэ газууд нь эрдэм шинжилгээний хөгжлийнхаа тулд төмөр хийсэн бусын технологид ороход их хэрэгтэй байна. Энэ нь төмөр хийсэн бусын бүтээгдэхүүнд ашиглагдах хэтэрхий технологийн газуудын зарим жишээ юм:
Фтор агуулсан угамсар: Фтор агуулсан газууд нь хамгийн саналтай цахилгаан цонхны дизайнуудыг бий болгоход сайн учраас эдгээр газууд нь хязгаарлагдсан холих (etch) болон нэмэх (deposition) процесстэй харьцуулахад ихээр хурдан хариуцах чадвартай.
CO2 - Спаттеринг, CVD болон цэвэрлэх үйлдлүүдэд ашигладаг анхны газ.
Энэ нь төмөр хийсэн бусын бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн хувьд зориулж өнгөрсөн шинэчлэл юм. Өнөөдөрх боломжтой шинэ эх сурвалжийн системүүдийн тулд. Үйлдвэрлэгчид нь амжилтанд оролцох, албадлыг бууруулах, эрхсэж байх замд шинэчлэл хийх арга замыг хайж байна. Одоогоор хамгийн шинэчлэгдсэн газууд болон химиа хүргэх системүүдийн жагсаалт энд дараал Lagtaa.
Газын түгээмэл систем (семикондукторуудад шаардлагатай бага хэмжээний газ эсвэл дотоод химийн шинж чанаруудыг зөвхөн нягтлалтай байдлаар тохируулахад ашигладаг)
Эерэг: Шинэчлэлийн цуврал үзэгчид оzoone плазма болон хүчирхэг хамгийн амжилттай арга хэмжээнүүд семикондуктор материалуудаас чанар татсан устгахад.
Семикондукторын газ нь ихээр амжилттай электроникийн хэрэгслүүдийг үйлдвэрлэхэд хүссэн боловч ялангуяа нөхцөл буюу амьдралд хязгаарлалттай эрсдэл үзүүлдэг. Семикондукторын салбарт хүчирхэг хэмжээнд газ recycle-лах, татсан устгах програмууд байдаг. Энэ нь семикондукторын газтай холбоотой нөхцөл буюу амьдралд хязгаарлалттай холбоотой алдааг бууруулахад үйлдвэрлэгчид яаж ажилладаг вэ гэдгээрээ ижил юм.
Эхний болон ихэвчлэн тодорхой нь Татсан Устгах -> Үйлдвэрлэгчид семикондуктор үйлдвэрлэх үед гаргасан татсан устгах мөнгөний хэмжээг бууруулахыг хамгийн их хүсч байна. Химийн шинж чанаруудыг, газыг бууруулах, recycle-лах эсвэл хучингүй системүүдийг үүсгэх зэрэг.
Цэвэрлэх, үйлдвэрлэлийн амьсгалыг дахин ашиглах нь орчин үеийн тухайн бодлогын хамгийн чухал арга болох ёстой. Үйлдвэрлэлийн үйл ажиллагаагаар хамгийн их өвчтөнгөөс сэргийлэх, цэвэрлэх, дахин ашиглах арга замуудыг ашиглахад зориулсан технологийн дунд цогцолбор шатанд илүү их тохиолдол гарах боломжтой.
Товчоо: Электроник техник газыг ашигладаг байдаг. Үйлдвэрийн компаний нь эдгээр газын хэрэглээг багасгах, процессийг сайжруулах, байгаль орчныг хамгаалах зорилгоор ажилладаг. Семикондукторын сектор нь газын хэрэглээг багасгахад зориулан ажилладаг ба эдгээр газын байгаль орчны үр дүнгээс хамгаалахад суурь боловсруулалтын кампануудыг эхлүүлсэн.
AGEM нь Тайван дахь газын бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэлийн болон шинжлэх ухааны төв юм. Энэ үйлдвэр нь энэ талбарт 25 жил хэтрүүлэх шинжлэх ухааны ач холбогдолтой, дэлхийн зургаан онцлогтой бүсэнд оршин тогтоно. Тэдний мэдлэг нь дундад газ, тохиргооны газ, осон газуудад хамаарахгүй байдаг: Тайван - Каохсиung хот (Иргэний төв, ШУТ) Инд - Мумбаи, Вадодара, Коимбатуре, Пуне, Бенгалур, Дели; Хятад - Ухан; Дундад Ази - Дубай (ХАЭ), Сауди Араб; Европ - Кембридж. Бидний гаргасан газын боловсрол нь техникийн консультинг, татварлаг, шинэчлэл, зорчигчдын шалгамж, паккаж, шиппинг, зураг зургах, бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэл юм.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашиглагддаг хийн хувьд хийн газархай бүр хамгийн том асуудал юм, түүн дагуу бид чачирхайг шалгахын тулд түүнийг таваас илүү удаа шалгаж, чачирхайг холбогдох чанарын баталгаа өгдөг. Бид чанарын хатуу хяналттай бүрэн ажиллах чадвартай үйлдвэрлэлийн шугам, мөн худалдан авч ашиглалтын дараах үйлчилгээний нүүрснүүр системтэй. Түүн дагуу бидний худалдан авч ашиглалтын хүчинтүүн үйлчилгээ үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай бүтээдүүртүүнүүд үзүүрлүүрт хүртэлх чанартай б......
AGEM нь олон төрлийн криоген цилиндрүүдийг бий болгоно. Эдгээр нь шинэчлэгчид, аргон, угилсан оюун, нитроген, нитроус оксид гэх мэт усны температур дээр байршуулж болох юм. Бид импортот байгаа шугам, тоног төхөөрөмжүүдийг ашиглан ихэвчлэн ажиллахад туслах боломжийг олгодог. Газын хадгаламжийн төхөөрөмжүүдийг ашигладаг, газын дээд давхарgas phase талбарт нь өмнөлөгчөөр өргөж байна. Хоёр төрлийн хамгаалалтын шугам нь амар санаатай ажиллахад ихэвчлэн тусламж өгдөг. Бидний криоген цилиндрүүд нь дараах байдлыг хадgalж болно: Толгой хэмжээ: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/500L/1000L Ажил давхар: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa Доторхи цувралын температур: (-196) Хойд цувралын температур: 50oC+20oC Хамгаалал: Хамгийн их хослох вакуум хамгаалалт Хадгалагдах материал: LO2, LN2, LAr, LCO2, LNG
AGEM нь үйлчилгээний газрын хувьд үйл ажиллагаагаа өөрөөсөн зорилгоор шинэчлэхийг зөвшөөрдөг, жишээлбэл шалгах газ. Бид үйлчлүүлэгчидээс илэрхийлсэн тусгай зорилгоор хамтран ажилладаг. Хэрвээ таны талаар бодох газын чисталтын хэмжээ, цилиндрийн урт эсвэл баримтлалын сонголтууд байгаа бол AGEM нь танд харгалзах үйлчилгээг олгоход туслах болно. Энэ нь таны ашиглахад зориулагдсан шалгах газын цилиндрийг таны зорилгоор хангасан болгоход тусална, ямар ч ажлын үеэр ч хямдлалгүй ажиллахад тусална. AGEM-ийн бүтээгдэхүүний төрөл нь шалгах газ дээр хязгаарлагддаггүй. AGEM-ийн каталог нь Хидрокарбон газ, Халокарбон, Химиа газ, Редк газуудыг агуулдаг. Таны хэрэглээний тухай газын төрлийг AGEM танд хүргэх боломжтой.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) нь Тайван дахь газын үйлдвэрлэлийн байгууллага бөгөөд дэлхий даяар 6 ялгарын хувьд ихэвчлэн хэрэглэгчдийн, электроникийн, том хэмжээний болон шалгах газуудын талд ихэвчлэн мэргэжилтэй байдаг
Китай, Ухань, Цианган дүүрэг, Хуансяохэ гудамж 182, Хуанчжун олон улсын плаза, А байшин, 1002-р өрөө, 430014
Copyright © Эрдэнэ Сарны Газын Электроник Материалуудын Байгууллагад хамгаалагдсан. Нууцлалын бодлого
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
