Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd.

Метан нь микрочипүүдийг бүтээх, дэлхийн электроникт ашиглагддаг өргөн хэрэгслүүдийг үйлдвэрлэхэд ашиглагддаг нэг өргөн газ юм. Үнэндээ энэ нь зориулж байгаа электроник үзэмжүүдийг үйлдвэрлэхэд шаардлагатай 99.999%-ыг тодорхойлдог. Тэгээд метанд нь чухал хэрэгслүүдийг үүсгэхэд их санаа оруулна, гэхдээ түүнийг ашиглахад мэдрэмжтэй болгоно.

Энэ нь метаны микроэлектроникийн талбарт чухал учраас болж байна

Микроэлектроник нь бидний зоригтойн дотор үзэх боломжгүй хямд цагц, төвөгтэй байршил бий гүйцэтгэх сургамж юм. Эдгээр хямд цагцууд нь бидний өдөр тутмын аюулгүй байдлын олон төвөгтэй байршилд хамаарч байна. Энэ нь шинжлэх ухааны энэ хэсгийн хувьд чухал бөгөөд метант нь эдгээр хямд байршилүүдийг зөв зохицуулахад тусалдаг нэг их материал юм. Метан нь чипүүдийг зохицуулахдаа чухал хэсэгтэй бөгөөд энэ нь хийхээс өмнөхөөр ямар ч хийх боломжгүй байх ёстой. Бид метаныг өөрийн зоригтойн дотор үзэх боломжгүй боловч энэ нь бидний өдөр тутмын амьдралд чухал газ юм.

Метанын эрэмбэлэх, бүртгүүлэх ажилд хүчин тогтмол

Эдгээр хоёр амжилт, эртсийн байршил өөрчилөх (etching) болон материал нэмэх (deposition), микросистемийн элементүүдэд ашиглагдах бага цагцтай цахилгаан шугамуудыг бүтээхэд ашигладаг. Эртсийн байршил өөрчилөх нь талбайн дээвэр солихын дуртай материалаас хязгаарлагдсан зорилгоор бүтээгдэхүүн үүсгэх үйл ажил юм. Энэ нь мод дахь зураг үүсгэхээр илэрхийлэж болно. Харин deposition нь талбанд материалыг нэмж, зураг үүсгэх нэмэлт үйл ажил юм. Энэ нь төсөөлөнд зураг дэвшүүлэх гэсэн үг юм. Эдгээр хоёр амжилт methane-ийг зориулж, зураг үүсгэхэд туслахад ашигладаг. Энэ нь электроникт хамаарахгүй бөгөөд чухал үр дүнтэй юм.

Methane-ийн чимээгүй байдлын талаар

Микроэлектроникийн бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэл дунд methane-ийн чимэг нь хамгийн өргөн зориулалттай. Энэ нь ашиглагдаж буй methane нь хамгийн ихээр татангаар байх ёстой гэсэн үг. Мөнгөн тооны саад, контаминацийн үр дүнгээр etching ба deposition процессуудад ихэнхдээ амжилтгүй үзэгдэл гарч болно. Methane доторх импуритиүүд процессийг алдаатай болгоод цахилгаан цонхнуудыг бүтээхэд алдаа гаргаж болно. Энэ нь алдаатай электроник багц, ажиллахгүй төхөөрөмжүүдийг үүсгэх боломжтой. Иймд бид methane-ийг хамгийн чимэгтэй байдлаар ашиглахыг хүсч байгаа юм. Энэ нь бидний бүтээгдэхүүнд алдаа гарахыг хамгийн бага хэмжээнд тогтоож, цахилгаан цонхнуудыг ажиллуулахад анхны үр дүнгийг олгодог.

Methane ашиглахын тухайн Хянан, Бяцхан

Метаны ашиглалт нь хэд хэдэн хамгааллын талбайг олгодог. Энэ нь бүх цахилгаан үйлдвэрлэлийн үйл ажиллагаагаар зөвхөн ихэвчлэн ашиглагддаг, энэ нь бидний шаардаж буй ихэвчлэн бага хэмжээтэй электроник бүтээгдэхүүнүүдийг үйлдвэрлэх боломжийг олгодог. Сүүлийн дагуул метан нь ихэвчлэн бие даасан, энэ нь үйлдвэрлэгчдэд хялбархан хандах боломжийг олгодог. Гэхдээ микроскопийн инженерчлэлд метаныг ашиглахад холбоотой мэдээж байгаа нэгэн проблем байдаг. Жишээлбэл, метанд сонирхолтой газуудтай ажиллахдаа хамгийн чухал нь хамгааллын арга хэмжээ юм. Хамгааллын арга хэмжээг хангасан удаад ажилтнууд өөрийн ажилд явуулдаг. Үйл ажиллагааны өөрсдөө ихэвчлэн их томоохон бөгөөд эдгээр үйл ажиллагааг зөвхөн зөвлөхийн тулд ихэвчлэн их мэдлэг шаарддаг. Энэ нь үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжүүдийг ажиллуулах, процессыг зохицуулахад профессионалуудын ажил шаарддаг.

Метаны хязгаарлалтууд ба микроелектроникийн эцсийн хувь бодлого

Метаны дасгалтай микройн шинжилгээнд тулгуурлагд хамгийн их үргэлжлэх байдаг. Энэ төрлийн ажлуудад оролцох нь үнэ цэнэтэй, цаг хугацаатай байдаг. Жишээлбэл, энэ нь зарим компанийг микроэлектроникийн үйлдвэрлэхийн тухайн технологийг худалдаж авахад асуудал үзүүлдэг. Мөн метаныг үйлдвэрлэлийн үндсэн материалыг ашиглахад тусламжийн нөөцөөс хамгаалах шаардлагатай гэдэгт итгэлтэй болсон. Хүмүүс шинэ технологиудыг хөгжүүлэхэд газрын эрдэнэгээс хамгаалалтанд зориулагдсан байдаг. Гэхдээ энэ салбард хамгийн сүүлчийн үед ихэнхдээ сонирхож буй шинэчлэлүүд байна! Ерөнхийдөө, уран баримтын аж ахуйн нэгжүүд нь энэ ажлын үйл ажиллагааг хямдаргүй, хүчирхэг болгоход ашигладаг. Жишээлбэл, уран баримтын шинжлэх ухаанын багцууд нь эдгээр ажлыг хийхэд үндсэн энергийг өөрчлөх замаар аюулгүй болгож, нөөцөөс хамгаалах боломжийг судалж байна.

Товчоос, метан нь микрэлектроникт амархан чухал ажил хийдэг. Метан нь зөвхөн бүх байгууллагын үйлдвэрлэлийн процесст дамжуулахад зориулагддаг бөгөөд тодорхой хэмжээнд зөвхөн метаныг ашиглахад ихээхэн чухал юм. Харин ихэнхдээ чухал эсвэл хамгийн ихээр чухал байдлыг олон тооны хамаатнуудын системийг халдвар болгоход хүргэж болно. Тиймээс метаныг ашиглахад ихэнхдээ томъёо буюу хяналтын асуудлууд байгаа ч гэсэн томъёо буюу хяналтын асуудлууд байна. Энэ нь метанд суурилсан микрэлектроникийн хязгаар бөгөөд шинэчлэлтүүдийг сайжруулахад тусалж болох боломжийг олоход оролцож байна. Харин метаныг зөвхөн зөв замд ашиглах боломжтой бол мөн бидний өдөр тутмын амьдралыг сайжруулах технологийг ашигладаг.