БҮХ

Дөрвөн зуун (6N) чистотын CF4, O2 хийн холимог, устөрөөд (H2), аргон (Ar) тулгуур хийд, хагас дамжуулалт (плазма) хийн шинжилгээний салбарын калибровка

Дөрвөн зуун (6N) чистотын CF4, O2 хийн холимог, устөрөөд (H2), аргон (Ar) тулгуур хийд, хагас дамжуулалт (плазма) хийн шинжилгээний салбарын калибровка

Асуулга

Хойшоо үзэх
Асуулга
Холбогдож буй бүтээлүүд

Бүтээгдэхүүний тухай

Илтгэнэ

Энэ хэт өндөр цэвэрлэгээтэй 99.9999% (6N) калибрлах хослол нь хагас дамжуулагч плазмагийн гүүрийн болон дэвшилтэт нарийн киноны процессын хатуу шаардлагыг хангахын тулд тусгайлан боловсруулсан үйл явцын газрын шийдэл юм. Нүүрсний тетрафторуй (CF4) болон хүчилтөрөгчийн (O2) хооронд хийн (H2) болон аргоны (Ar) тэнцвэртэй матрицад тохирсон хольцоор хольцоо нь субнанометр үйлдвэрлэлийн үед хайгуулын сонгон шалгаруулалтын болон профилийн а 6N-ийн цэвэршилт нь металлын бохирдол, намгар бараг байхгүй байхыг баталгаажуулж, ваффрын бохирдол үүсэхээс урьдчилан сэргийлж, 3D NAND, FinFET зэрэг нарийн төвөгтэй архитектурт төхөөрөмжийн үр ашгийг ихээхэн нэмэгдүүлдэг. Аргоныг оруулахад Аливаа цилиндрыг дэвшилтэт гравиметрикийн хольцооор бэлтгэж, эдгээр реактив бүрэлдэхүүн хэсгүүд тогтвортой хэвээр байхын тулд болон тодорхойлсон төвлөрлөөс цаг хугацааны явцад зөрчилдөхгүй байхыг баталгаажуулахын тулд дотоод угаах үйл ажиллагааг гүйцэт Энэхүү хослол нь шинжилгээний бүрэн гэрчилгээ (CoA) -тэй, олон улсын стандартад нийцсэн бөгөөд плазмын химийн хувьд бүрэн тогтвортой байх шаардлагатай судалгаа, хөгжлийн лаборатори, өндөр хэмжээний хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдэд тохиромжтой сонголт юм. Энэ "бүгд нэг" тэнцвэртэй хольцоо нь хэрэгцээтэй газын шугам шугамны тоог бууруулах замаар газ нийлүүлэх системийг хялбаршуулж, ийнхүү урсалт үүсэх боломжийг багасгаж, массын урсгалын хяналтын (MFC) калибрлах үйл яв

Бидний тухайд

AGEM нь 2008 онд Тайвань, Хитадад төвтэй газрын хийн тоноглолын олон улсын мэргэжлийн үйлдвэрлэгч ба үйлчилгээ үзүүлэгч компани бүрдүүлж, 16 жилийн туршлагатай түүний дэлхийн хамрах хүрээ, дэлхийн түвшний үйлдвэрлэлийн уралдаан, бүрдүүлсэн бүтээгдэхүүний сангийн хүрээ нь газрын хийн тоноглолын салбард стандарт үйлдвэрлэгч компани болж бататгаж. Компанийн глобализацийн хөгжлийн стратеги нь Хитадын үндсэн нутаг, Тайвань, Хитад, Индид орчин үеийн үйлдвэрлэлийн суурийг бүрдүүлж, Ази хүрээс дэлхийн хамрах хүрээг хамрах үйлдвэрлэлийн ба үйлчилгээний сүлжээг бүрдүүлж. Тус бүрдүүлсэн суурийн нүүрд оюун ухааны үйлдвэрлэлийн шугам ба нарийн тунгаж шалгах тоноглол бүрдүүлж, анхны материал бүлтгэхээс бүтээгдэхүүн хүртэлх бүх процессын хяналтыг хангаж. Жилийн үйлдвэрлэлийн чадал нь тогтмол салбарын удирдагчидын дунд бүрдүүлж, компани дэлхийн үйлчлүүлэгчдийн олон төрлийн шаардлагад хурдан хариу үзүүлж чадаж. Үндсэн үйл ажиллагаа нь газрын хийн холбогдом цөм тоноглолын үйлдвэрлэлд төвлөрж, төрөл бүрийн үйлдвэрлэлийн хий, тусгай хийн вентиль, өндөр даралттай цилиндр, хөнгөн цагаан цилиндр, өндөр нарийн тунгаж шалгах даралт бууруулагч зэрэг бүх төрлийн бүтээгдэхүүнийг хамрах юм. Эдгээр бүтээгдэхүүнүүд химийн, цахим, здравоохранение, энергетик зэрэг чухал салбаруудад өргөн хэрэглэж. Гүнзгий техник мэдлэгт тулгуурлан бүтээгдэхүүнүүд ISO9001 Чанарын менеджментын системийн сертификат, өндөр даралттай тоноглолын ASME сертификат, Европын зах зүйлд гаргах CE-PED сертификат, дэлхийн хамрах хүрээд хэрэглэх IECEx эксплозион-тугшуур сертификат зэрэг олон авторитетт международный сертификатыг хүлээн авж. Бүтээгдэхүүний герметик чанар, даралт төдийгүй хамгаалалт зэрэг түлхүүр үзүүрлүүд нь дэлхийн түвшний өндөр түвшинд хүртүүлж. Компанийн технологийн новаторство нь түүний үндсэн үйл ажиллагаа бөлгөөн, олон улсын НИТ бүлгийг бүрдүүлж, технологийн шинэ түлхүүрлүүдийн хүртүүлж тасралтгүй хөрөнгө оруулж.

Түгээмэл асуултууд

99.9999% (6N) цэвэрлэгтүүн холимогт ямар хугацаа шаардагдах вэ?

CF4/O2 газын төрлийн ультра-өндөр цэвэрлэгтүүн (UHP) газын хувьд хугацаа нь ихэвчлэн 10–15 ажлын өдөр бөлдөр. Энэ хугацаа нь 6N зэрэг цэвэрлэгтүүн ба концентрацийн нарийн нарийнхан хангахын тулд нарийн холимогт хийж, олон шатын тогтвортой байдлын туршилтыг хамардаг.

CF4/O2 холимогт концентрацийн нарийнханыг та яаж баталгаажуулж буй?

Бид холимогт хийж бүүрт үнэмшүүлэгт массын арга (өндөр нарийнхан жинлэх) ашигладаг, нь хамгийн нарийнхан холимогт хийж бүүрт арга юм. Хүртэл бүх цилиндр Газын хроматографи (GC) ашиглан шинжилдэг, мөн NIST эсвэл улсын стандартад холбогдож буй Шинжилгээний сертификат (COA) илгээдэг.

Энэ холимог тогтвортой вэ, учир нь түүнд утас H2 ба хүчилтөрөгч O2 хоёул газын төрлийн бүрдүүлэгтүүн ордог?

Тийм. Бид аюулгүй холимогт хийж бүүрт дүрэмд түүнд түлштүүн ба исэлдүүлэгтүүн бүрдүүлэгтүүн концентрацияг аюулгүй хязгаарт хадгалж, цилиндр доторх химийн тогтвортой байдлыг хангаж, аюулгүй реакц үүсэхийг саархуулж, аргон (Ar)-д тэнцвэрлүүлж буй.

Семикондукторын газын хувьд ямар төрлийн цилиндр ба вентиль ашигладаг вэ?

Бид гадаргууны илэрлийг урьдчилан сэргийлэх зорилгоор дотооддоо пассивируулсан алюмины элсэлтийн цилиндр эсвэл чийрэгжүүлсэн зэсгүй зэсний цилиндр ашигладаг. 6N зэрэглэлийн хийд бид ихэвчлэн DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 эсвэл SS 316L зэсний сэлбэг сэлбэгээр тоног төхөөрөмжжж, дутагдалгүй байдлыг хангаж, бохирдол үүсгэхгүй байх.

Энэ хийний хослолын хадгалах шаардлага юу вэ?

Цузаан бөмбөг нь дулаан, хуурай, сайн агааржуулсан газар, шууд нарны гэрэл болон дулааны эх үүсвэрээс хол хадгалах хэрэгтэй (халуун байдал < 50°C).

Та аюултай хийсийг дэлхий даяар борлуулах үйлчилгээ үзүүлдэг үү?

Тийм ээ, бид 2 дугаар ангиллын аюултай бараа бүтээгдэхүүний логистикийн чиглэлээр мэргэшсэн. Бид MSDS (Материал аюулгүй байдлын мэдээллийн хуудас), НҮБ-ын баталгаатай багцлал, DG (Хамгийн аюултай бараа) -ийн мэдэгдлийг далайд эсвэл агаарын тээвэрлэлтэд зориулсан бүрэн баримт бичгийг өгдөг.