Campuran Gas CF4 dan O2 Berkemurnian Tinggi 6N dalam Keseimbangan Hidrogen dan Argon untuk Kalibrasi Pengukiran Plasma Semikonduktor

Pertanyaan

Gambaran Umum
Pertanyaan
Produk berkaitan

Mengenai Produk

Menonjolkan

Campuran Kalibrasi ultra-tulin ini dengan ketulenan 99.9999% (6N) merupakan penyelesaian gas proses khusus yang direkabentuk secara khusus untuk memenuhi tuntutan ketat dalam Proses Pengikisan Plasma Semikonduktor dan Proses Lapisan Nipis Lanjutan. Dengan mencampurkan secara tepat Karbon Tetrafluorida (CF4) dan Oksigen (O2) di dalam matriks seimbang Hidrogen (H2) dan Argon (Ar), campuran ini memberikan sinergi kimia yang tepat bagi mengawal ketepatan pengikisan dan anisotropi profil dalam pembuatan sub-nanometer. Ketulenan gred 6N menjamin bahawa bendasing logam jejak dan kelembapan hampir tidak wujud, seterusnya mengelakkan kontaminasi wafer dan meningkatkan hasil peranti secara ketara untuk arsitektur kompleks seperti 3D NAND dan FinFET. Kehadiran Argon menyediakan tenaga tembakan ion yang diperlukan bagi sputtering fizikal, manakala nisbah Hidrogen/Oksigen dikalibrasi secara teliti untuk mengatur lapisan pempasan polimer, memastikan alur bernisbah aspek tinggi dengan dinding sisi yang tegak sempurna. Setiap silinder disediakan menggunakan kaedah pencampuran gravimetrik lanjutan dan menjalani proses pasivasi dalaman eksklusif untuk menjamin komponen reaktif ini kekal stabil dan tidak berubah daripada kepekatan yang ditetapkan sepanjang masa. Dilengkapi Sijil Analisis (CoA) yang komprehensif serta boleh dilacak rujukannya kepada piawaian antarabangsa, campuran ini merupakan pilihan ideal bagi makmal R&D dan kilang semikonduktor berkelantangan tinggi yang memerlukan konsistensi mutlak dalam kimia plasma mereka. Campuran seimbang "semua-dalam-satu" ini mempermudah sistem penghantaran gas dengan mengurangkan bilangan saluran gas individu yang diperlukan, seterusnya meminimumkan titik kebocoran berpotensi dan mempercepat proses kalibrasi kawalan aliran jisim (MFC).

Mengenai kami

AGEM ditubuhkan pada tahun 2008 sebagai pengilang profesional dan penyedia perkhidmatan peralatan gas bersekala multinasional, berpangkalan di Taiwan, China. Dengan 16 tahun kepakaran industri yang khusus, jejak globalnya, kecekapan pembuatan yang unggul, serta portofolio produk yang komprehensif, kedudukannya telah terukuh sebagai syarikat rujukan dalam sektor peralatan gas. Syarikat ini berpegang kepada strategi pembangunan globalisasi, dengan menubuhkan tapak pengeluaran moden di Daratan China, Taiwan, China, dan India, membentuk rangkaian pengeluaran dan perkhidmatan yang merangkumi Asia dan meluas secara global. Setiap tapak dilengkapi dengan talian pengeluaran pintar dan peralatan ujian ketepatan, membolehkan kawalan proses penuh dari pemprosesan bahan mentah hingga penghantaran produk siap. Dengan kapasiti pengeluaran tahunan yang sentiasa berada di antara pemimpin industri, syarikat ini mampu memberi tindak balas pantas terhadap pelbagai keperluan pelanggan global. Perniagaan utamanya berfokus kepada peralatan teras berkaitan gas, merangkumi pelbagai produk seperti pelbagai gas industri, injap gas khas, silinder tekanan tinggi, silinder aluminium ringan, serta pengurang tekanan berketepatan tinggi. Produk-produk ini digunakan secara meluas dalam sektor-sektor kritikal seperti kimia, elektronik, penjagaan kesihatan, dan tenaga. Berbekalkan kepakaran teknikal yang mendalam, produk-produk ini telah memperoleh sijil Sistem Pengurusan Kualiti ISO9001 serta pelbagai sijil antarabangsa berwibawa lain, termasuk sijil ASME untuk peralatan tekanan tinggi, sijil CE-PED untuk akses ke pasaran EU, dan sijil IECEx untuk perlindungan letupan bagi aplikasi global. Petunjuk prestasi utama seperti prestasi kedap, rintangan tekanan, dan perlindungan keselamatan telah mencapai tahap maju antarabangsa. Syarikat ini sentiasa menjadikan inovasi teknologi sebagai kekuatan persaingan utamanya, dengan membentuk pasukan penyelidikan dan pembangunan (R&D) antarabangsa serta terus melabur dalam pecahan teknologi baharu.

Soalan Lazim

Berapa masa tempoh ketika pesanan campuran khas dengan ketulenan 99.9999% (6N)?

Bagi gas ultra-tulen (UHP) seperti CF4/O2, masa tempoh ketika pesanan lazimnya ialah 10–15 hari bekerja. Ini termasuk pencampuran tepat dan ujian kestabilan berperingkat untuk memastikan ketulenan gred 6N serta ketepatan kepekatan.

Bagaimana anda menjamin ketepatan kepekatan campuran CF4/O2?

Kami menggunakan kaedah gravimetrik (penimbangan berketepatan tinggi) semasa proses pengisian, iaitu teknik pencampuran paling tepat. Setiap silinder dianalisis melalui Kromatografi Gas (GC) dan dilengkapi Sijil Analisis (COA) yang boleh dilacak balik kepada NIST atau piawaian kebangsaan.

Adakah campuran ini stabil memandangkan ia mengandungi kedua-dua Hidrogen (H2) dan Oksigen (O2)?

Ya. Kami secara ketat mematuhi protokol pencampuran keselamatan di mana kepekatan komponen mudah terbakar dan pengoksidaan dikekalkan dalam had keselamatan atau diseimbangkan dengan Argon (Ar) untuk memastikan kestabilan kimia dan mencegah sebarang tindak balas berbahaya di dalam silinder.

Jenis silinder dan injap apakah yang digunakan bagi gas semikonduktor ini?

Kami menggunakan silinder aloi aluminium yang dipasifkan secara dalaman atau silinder keluli tahan karat yang digilap untuk mengelakkan penyerapan permukaan. Bagi gas gred 6N, kami biasanya melengkapinya dengan injap DISS (Sistem Penjadualan Pintar Digital) 660 atau injap keluli tahan karat SS 316L untuk memastikan tiada kebocoran dan mengelakkan kontaminasi.

Apakah keperluan penyimpanan bagi campuran gas ini?

Silinder harus disimpan di kawasan yang sejuk, kering dan berventilasi baik, jauh daripada cahaya matahari langsung dan sumber haba (suhu < 50° C). Pastikan silinder diikat secara tegak untuk mengelakkan tumbang.

Adakah anda menyediakan penghantaran antarabangsa bagi gas berbahaya?

Ya, kami pakar dalam logistik barang berbahaya Kelas 2. Kami menyediakan dokumentasi lengkap termasuk MSDS (Lembaran Data Keselamatan Bahan), pembungkusan bersijil UN, dan deklarasi DG (Barang Berbahaya) untuk penghantaran laut atau udara.