Hoogzuiver CF₄/O₂-gasmengsel (6N) in waterstof- of argon-draaggas voor kalibratie bij plasma-etsen in de halfgeleiderindustrie

Inquiry

Overzicht
Inquiry
Gerelateerde producten

Over het product

Hoogtepunt

Deze ultrahoogzuivere kalibratiemengsel met een zuiverheid van 99,9999 % (6N) is een gespecialiseerde procesgasoplossing die specifiek is ontworpen voor de strenge eisen van plasma-etching in halfgeleiders en geavanceerde dunne-filmprocessen. Door koolstoftetrafluoride (CF4) en zuurstof (O2) nauwkeurig te mengen in een evenwichtige matrix van waterstof (H2) en argon (Ar), biedt deze mengsel de exacte chemische synergie die nodig is om de etch-selectiviteit en profielanisotropie te beheersen bij fabricage op sub-nanometerschaal. De 6N-zuiverheid garandeert dat sporen van metalenverontreinigingen en vocht vrijwel volledig afwezig zijn, waardoor wafers worden beschermd tegen verontreiniging en de opbrengst van complexe architecturen zoals 3D NAND en FinFET aanzienlijk wordt verbeterd. Het toevoegen van argon zorgt voor de benodigde ionenbombardementsenergie voor fysiek sputteren, terwijl de verhouding tussen waterstof en zuurstof zorgvuldig is afgestemd om de polymeerpassiveringslagen te regelen, wat leidt tot hoog-aspect-ratio-trechten met perfect verticale zijwanden. Elke cilinder wordt bereid met geavanceerde gravimetrische mengtechniek en ondergaat een eigen passiveringsprocedure om te waarborgen dat deze reactieve componenten stabiel blijven en niet afwijken van de gespecificeerde concentratie in de tijd. Geleverd met een uitgebreid Certificaat van Analyse (CoA) en traceerbaar naar internationale normen, is dit mengsel de ideale keuze voor O&O-laboratoria en halogeveelheid halfgeleiderfabrieken die absolute consistentie in hun plasma-chemie vereisen. Dit ‘all-in-one’-evenwichtige mengsel vereenvoudigt gasafleveringssystemen door het aantal individuele gasleidingen te verminderen, waardoor mogelijke lekplekken worden beperkt en het kalibratieproces van massastroomregelaars (MFC’s) wordt gestroomlijnd.

Over ons

AGEM werd in 2008 opgericht als een multinationaal professioneel fabrikant en dienstverlener van gasapparatuur, met hoofdkantoor in Taiwan, China. Met 16 jaar toegewijde branche-ervaring, een wereldwijd bereik, superieure productievaardigheden en een uitgebreid productassortiment heeft het bedrijf zijn positie als referentiebedrijf in de sector gasapparatuur vastgelegd. Het bedrijf volgt een globalisatiestrategie en heeft moderne productiebases opgericht op het Chinese vasteland, in Taiwan, China en India, waardoor een productie- en servicenetwerk is ontstaan dat Azië bestrijkt en wereldwijd uitstrekt. Elke basis is uitgerust met intelligente productielijnen en precisietestapparatuur, waardoor volledige procescontrole mogelijk is, van grondstofverwerking tot levering van het eindproduct. Met een jaarlijkse productiecapaciteit die voortdurend tot de top van de branche behoort, kan het bedrijf snel inspelen op de uiteenlopende behoeften van klanten over de hele wereld. De kernactiviteiten richten zich op gasgerelateerde kernapparatuur, met een volledig assortiment producten, waaronder diverse industriële gassen, gespecialiseerde gasafsluiters, hogedrukcilinders, lichtgewicht aluminiumcilinders en hoogprecieze drukverlaagders. Deze producten worden breed toegepast in cruciale sectoren zoals chemie, elektronica, gezondheidszorg en energie. Dankzij diepgaande technische expertise zijn de producten gecertificeerd volgens het ISO 9001-kwaliteitsmanagementsysteem en hebben ze meerdere gezaghebbende internationale certificaten verkregen, waaronder ASME-certificering voor hogedrukapparatuur, CE-PED-certificering voor toegang tot de EU-markt en IECEx-explosiebeveiligingscertificering voor wereldwijde toepassing. Belangrijke prestatie-indicatoren zoals afdichtingsprestatie, drukweerstand en veiligheidsbescherming hebben internationaal geavanceerde niveaus bereikt. Het bedrijf stelt technologische innovatie voortdurend centraal als zijn kerncompetitieve kracht en heeft een internationaal onderzoeks- en ontwikkelingsteam samengesteld, dat continu investeert in technologische doorbraken.

Veelgestelde vragen

Wat is de levertijd voor op maat gemaakte mengsels met een zuiverheid van 99,9999 % (6N)?

Voor ultra-hoogzuivere (UHP) gassen zoals CF4/O2 bedraagt de gebruikelijke levertijd 10–15 werkdagen. Dit omvat nauwkeurig doseren en meertrapsstabiliteitstests om de 6N-zuiverheid en concentratienauwkeurigheid te garanderen.

Hoe garandeert u de concentratienauwkeurigheid van het CF4/O2-mengsel?

Tijdens het vullen gebruiken we de gravimetrische methode (zeer nauwkeurig wegen), wat de meest nauwkeurige mengtechniek is. Elke cilinder wordt geanalyseerd via gaschromatografie (GC) en wordt geleverd met een Analysecertificaat (COA) dat traceerbaar is naar NIST of nationale normen.

Is dit mengsel stabiel, gezien het zowel waterstof (H2) als zuurstof (O2) bevat?

Ja. Wij volgen strikt veilige mengprotocollen, waarbij de concentratie van brandbare en oxidatieve componenten binnen veilige grenzen wordt gehouden of in evenwicht wordt gebracht met argon (Ar) om chemische stabiliteit te waarborgen en gevaarlijke reacties binnen de cilinder te voorkomen.

Welk type cilinder en klep worden gebruikt voor dit halfgeleidergas?

Wij gebruiken intern gepassiveerde cilinders van aluminiumlegering of gepolijste cilinders van roestvrij staal om oppervlakteadsorptie te voorkomen. Voor gassen van 6N-kwaliteit zijn deze cilinders doorgaans uitgerust met DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660- of SS 316L-roestvrijstalen kleppen om lekvrijheid te garanderen en verontreiniging te voorkomen.

Wat zijn de opslagvereisten voor dit gasmengsel?

Cilinders moeten worden opgeslagen op een koele, droge en goed geventileerde plaats, buiten direct zonlicht en weg van warmtebronnen (temperatuur < 50 °C). Zorg ervoor dat de cilinders rechtop staan vastgezet om omvallen te voorkomen.

Verzenden jullie gevaarlijke gassen wereldwijd?

Ja, wij zijn gespecialiseerd in logistiek voor gevaarlijke goederen van klasse 2. Wij verstrekken volledige documentatie, waaronder MSDS (Material Safety Data Sheet), UN-gecertificeerde verpakking en DG-verklaringen (Dangerous Goods) voor zee- of luchtvracht.