Gasvoorziening van hoge zuiverheid (99,999 %) van C4F6 (hexafluorobutadieen), 10 l of 8 l, voor high-techtoepassingen en elektronicafabricage

Navraag

Overzicht
Navraag
Gerelateerde producten

Over het product

Hoogtepunt

Elektronische zuiverheidsgraad voor halfgeleiderproductie: Onze C4F6 is verkrijgbaar in ultrahoge zuiverheidsgraden tot 5N (99,999 procent), met uiterst lage onzuiverheidsniveaus, waaronder zuurstof (O2), vocht (H2O) en koolwaterstoffen. Dit garandeert superieure plasma-stabiliteit, consistente etsprestaties en hoge procesherhaalbaarheid, vereist voor de fabricage van geavanceerde halfgeleiderapparaten. Geoptimaliseerd voor geavanceerde plasma-etsapplicaties: C4F6 is specifiek ontworpen voor hoogwaardige plasma-etsprocessen, waaronder dielektrisch etsen, etsen van oxide-lagen, structurering van low-k-materialen en controle van kritieke afmetingen. Het biedt superieure selectiviteit, anisotrope etscapaciteit en verbeterde profielnauwkeurigheid in vergelijking met conventionele fluorkoolstofgassen zoals CF4, C2F6 en C3F8, waardoor het ideaal is voor geavanceerde logica-, geheugen- en MEMS-productie. Alternatief met een laag globaal opwarmingspotentieel (GWP): In vergelijking met traditionele perfluorkoolstofgassen biedt C4F6 een hogere etsrendement, lagere gasverbruik en een geringere milieubelasting, wat halfgeleiderfabrikanten helpt bij het bereiken van duurzaamheidsdoelstellingen zonder in te boeten op productieprestaties en opbrengst. Strikte controle op onzuiverheden en vocht: Wij maken gebruik van geavanceerde gaszuiveringsystemen, precisie-analyse-instrumenten en strenge kwaliteitscontroleprotocollen om vocht (H2O) ≤ 1 ppm, zuurstof (O2) ≤ 1 ppm en totale koolwaterstoffen ≤ 1 ppm te waarborgen. Dit voorkomt effectief wafelverontreiniging, plasma-onstabiliteit en procesdefecten, en zorgt voor consistente en betrouwbare halfgeleiderprocesprestaties. Gecertificeerde cilinders met halfgeleiderkwaliteit oppervlaktebehandeling: Onze C4F6 wordt geleverd in standaardcilindergrootten van 47 L en 10 L, evenals op maat gemaakte cilinders, vervaardigd conform de ISO 9809-, DOT 3AA- en TPED EN-normen, met optionele interne elektropolijst- en passiveringsbehandeling om deeltjesvorming te minimaliseren, gasverontreiniging te voorkomen en de ultrahoge gaszuiverheid tijdens opslag en gebruik te behouden.

Over ons

AGEM werd in 2008 opgericht als een multinationaal professioneel fabrikant en dienstverlener van gasapparatuur, met hoofdkantoor in Taiwan, China. Met 16 jaar toegewijde branche-ervaring, een wereldwijd bereik, superieure productievaardigheden en een uitgebreid productassortiment heeft het bedrijf zijn positie als referentiebedrijf in de sector gasapparatuur vastgelegd. Het bedrijf volgt een globalisatiestrategie en heeft moderne productiebases opgericht op het Chinese vasteland, in Taiwan, China en India, waardoor een productie- en servicenetwerk is ontstaan dat Azië bestrijkt en wereldwijd uitstrekt. Elke basis is uitgerust met intelligente productielijnen en precisietestapparatuur, waardoor volledige procescontrole mogelijk is, van grondstofverwerking tot levering van het eindproduct. Met een jaarlijkse productiecapaciteit die voortdurend tot de top van de branche behoort, kan het bedrijf snel inspelen op de uiteenlopende behoeften van klanten over de hele wereld. De kernactiviteiten richten zich op gasgerelateerde kernapparatuur, met een volledig assortiment producten, waaronder diverse industriële gassen, gespecialiseerde gasafsluiters, hogedrukcilinders, lichtgewicht aluminiumcilinders en hoogprecieze drukverlaagders. Deze producten worden breed toegepast in cruciale sectoren zoals chemie, elektronica, gezondheidszorg en energie. Dankzij diepgaande technische expertise zijn de producten gecertificeerd volgens het ISO 9001-kwaliteitsmanagementsysteem en hebben ze meerdere gezaghebbende internationale certificaten verkregen, waaronder ASME-certificering voor hogedrukapparatuur, CE-PED-certificering voor toegang tot de EU-markt en IECEx-explosiebeveiligingscertificering voor wereldwijde toepassing. Belangrijke prestatie-indicatoren zoals afdichtingsprestatie, drukweerstand en veiligheidsbescherming hebben internationaal geavanceerde niveaus bereikt. Het bedrijf stelt technologische innovatie voortdurend centraal als zijn kerncompetitieve kracht en heeft een internationaal onderzoeks- en ontwikkelingsteam samengesteld, dat continu investeert in technologische doorbraken.

Veelgestelde vragen

Welke zuiverheidsgraden van C4F6 biedt u aan?

Wij bieden C4F6 van halfgeleiderkwaliteit, inclusief 4N (99,99 procent), 4,5N (99,995 procent) en 5N (99,999 procent). Hogere zuiverheidsgraden zijn op aanvraag verkrijgbaar.

Wat zijn de typische toepassingen van C4F6?

C4F6 wordt voornamelijk gebruikt bij plasma-etsprocessen in de halfgeleiderindustrie, etsen van diëlektrische lagen, etsen van oxide, etsen van low-k-diëlektrica, productie van MEMS en fabricage van geavanceerde geïntegreerde schakelingen.

Welke cilindergroottes zijn beschikbaar?

De standaardverpakking omvat cilinders van 47 L, 10 L en 8 L, evenals op maat gemaakte cilinders op aanvraag. Elektropolijsten van de binnenzijde van de cilinder is beschikbaar voor halfgeleidertoepassingen.

Wat is de typische vuldruk en vulgewicht?

De typische vulparameters omvatten een vuldruk tot 13–15 MPa en een vulgewicht van ongeveer 20–25 kg in een 47 L-cilinder. Het exacte vulgewicht is afhankelijk van de zuiverheidsgraad en de klantvereisten.

Welk kleptype wordt gebruikt voor C4F6-cilinders?

Veelvoorkomende kleptype zijn CGA 716, DISS 716 en aangepaste halfgeleiderkwaliteitskleppen. De keuze van kleppen kan worden afgestemd op regionale normen.

Hoe waarborgt u de zuiverheid en stabiliteit van het gas?

Wij waarborgen de kwaliteit via geavanceerde gaszuiveringsystemen, technologie voor het verwijderen van vocht en zuurstof, gaschromatografie (GC)-analyse en een Analysecertificaat (COA) dat bij elke cilinder wordt meegeleverd.

Wat is de levertijd?

De gebruikelijke levertijd bedraagt 15 tot 25 dagen na ontvangst van de aanbetaling. Snellere levering is mogelijk, afhankelijk van de voorraadbeschikbaarheid en de voorbereiding van de cilinders.

Aan welke certificeringen voldoen uw cilinders?

Onze cilinders voldoen aan de ISO 9809-, DOT 3AA-, TPED- en EN-normen. Een inspectie door een externe partij is op verzoek beschikbaar.