- Overzicht
- Inquiry
- Gerelateerde producten



Productnaam: |
Zwavelhexafluoride |
Reinheid: |
99.9-99.999% |
CAS-nummer |
2551-62-4 |
EINECS Nr |
219-854-2 |
MF: |
F6S |
Molaire massa |
2551-62-4.mol |
VN-nummer: |
1080 |
Gevaarlijkheidsklasse |
2.2 |
Verschijning: |
kleurloos |
Geur: |
kleurloze gas |
Controleitem |
eenheid |
Zuiverheid |
|
SF6 |
% |
≥99,999 |
≥99,99 |
O2+Ar |
ppmw |
≤2.0 |
≤ 10 |
N2 |
ppmw |
≤3.0 |
≤40 |
CF4 |
ppmw |
≤0.5 |
≤ 30 |
H2O |
ppmw |
≤2.0 |
≤ 10 |
HF |
ppmw |
≤40 |
≤ 0,3 |
THC(CH4) |
ppmw |
≤0.1 |
≤1.0 |
CO2 |
ppmw |
≤0.5 |
≤6 |
Co |
ppmw |
≤0.5 |
≤2 |
Toepassing:
Halfgeleider |
Plasma-etsen. Etchant/afbreekproduct fluorineplasma kan het etsen uitvoeren |
||||||
Geneesmiddel |
Anesthesie, reparatie van netvlieslosingen, ultrageluidimaging |
||||||
Elektrische apparatuur |
Hoge spanning schakelaars en gas geïsoleerd switchgear |
||||||
Hoge-kracht mikrogolfsystemen |
Drukt de golfweg in, Isoleert de golfweg, voorkomt interne boogvorming |

Verpakkinggrootte |
40Ltr Cilinder |
47Ltr Cilinder |
50Ltr Cilinder |
||
Vullinhoud/Cyl |
50kg |
52 kg |
55-60kg |
||
AANTAL in 20 voet container |
260Cyl |
260Cyl |
260Cyl |
||
Klep |
CGA580, CGA590, QF-2C |







