- Overzicht
- Inquiry
- Gerelateerde producten

Argon (AR), fluor (F2), helium (He), neon (Ne) – De voorgemengde gassen die worden gebruikt om de laser in oogheelkundige excimerlaserapparatuur te activeren, bestaan voornamelijk uit fluor en argon, met neon als balansgas. De flessen die door ons bedrijf worden geleverd, zijn stalen flessen; de veiligheid wordt voor elke vullingsprocedure gecontroleerd, en niet-normatieve flessen worden niet opnieuw gevuld maar gerecycled. Excimerlasergassen bestaan uit een mengsel van edelgas (inert gas) en halogeen. De 193 nm-laser wordt gegenereerd door de reactie tussen Ar- en F2-gassen onder geschikte omstandigheden van elektrische stimulatie en hoge druk. Dit proces vereist geavanceerde technologie en kan wereldwijd slechts door zeer weinig gasbedrijven worden uitgevoerd.
Excimer gassen voor partiële modellen |
||||||
Merk |
Golflengte |
De volgende categorieën: |
Klep |
|||
Samenhangend |
193nm |
20 L |
DIN 8 |
|||
B & L |
193nm |
20 L/50 L |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
Zeiss |
193nm |
10L/20 L |
DIN 14 |
|||
VISX |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
NIDEK |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||
LASERSIGHT |
193nm |
10 liter |
CGA 679 |
|||
Alcon |
193nm |
20L |
DIN8 |
|||
SCHWIND |
193nm |
10 liter |
DIN 8/ DIN 14 |
|||
SUMMIT |
193nm |
16 L |
CGA 679 |
|||






AGEM presenteert een nauwkeurig geconstrueerde oplossing voor de gasmengselbehoeften van excimerlasers: een krypton-excimerlaserkalibratiegas bestaande uit Xe, Kr en Ne, afgestemd op veeleisende toepassingen in fotolitografie en halfgeleiderprocesgassen. Als vertrouwd leverancier van speciaalgasoplossingen baseert AGEM zich op decennia ervaring in gasproductie en O&O om Kr/Xe/Ne-kalibratiemengsels te leveren die voldoen aan strenge eisen op het gebied van zuiverheid, stabiliteit en traceerbaarheid voor productie- en laboratoriumomgevingen.
Productoverzicht en belangrijkste kenmerken
Deze excimerlaser-gasmengsel is ontwikkeld voor gebruik in krypton- en xenonexcimerlasersystemen en voor nauwkeurige Kr/Xe/Ne-calibratieprestaties in optische en elektronische productieprocessen. Het kalibratiegasmengsel voor kryptonexcimerlasers van AGEM (Xe/Kr/Ne) is verkrijgbaar in gecontroleerde concentraties met strenge verificatie. Het excimerlaser-gasmengsel profiteert van de strikte kwaliteitscontroles van AGEM en diens jarenlange ervaring met speciaalgassen, wat een betrouwbare levering en voorspelbaar gedrag onder bedrijfsomstandigheden garandeert.
- Zuiverheid en consistentie: AGEM waarborgt hoogwaardige componenten en nauwkeurige menging om een consistent excimerlaser-gasmengsel te produceren. De Kr/Xe/Ne-calibratiemengsel wordt vervaardigd met gevalideerde processen en geavanceerde analysetechnieken om onzuiverheden die de laserprestaties of kalibratienauwkeurigheid kunnen beïnvloeden tot een minimum te beperken.
- Traceerbare kalibratie: Elke cilinder Kr/Xe/Ne-kalibratiegas wordt geleverd met een traceerbare certificering en batchdocumentatie, ter ondersteuning van ISO-conforme procedures en kwaliteitssystemen voor halfgeleiderfabrieken en laboratoria. De excimerlaser-gasmengsel is geschikt voor kritieke metrologie waarbij traceerbaarheid en gedocumenteerde kwaliteit essentieel zijn.
- Stabiliteit en houdbaarheid: De formulering en verpakking behouden de integriteit van het excimerlaser-gasmengsel tijdens opslag en vervoer, waardoor het risico op samenstellingverandering wordt verminderd. De speciaalgasoplossingen van AGEM omvatten cilinderbeheer en aanbevelingen voor opslag om de gasstabiliteit tijdens gebruik te behouden.
- Veiligheid en conformiteit: Het Kr/Xe/Ne-kalibratiegas wordt vervaardigd in overeenstemming met wettelijke vereisten en beste praktijken, en voldoet aan de veiligheids-, etiketterings- en hanteringsnormen die nodig zijn voor industriële en laboratoriumomgevingen. AGEM levert veiligheidsinformatiebladen en technische ondersteuning voor integratie in bestaande gasafvoersystemen.
Toepassingen
De kalibratiegasmengsel Xe Kr Ne van AGEM’s Krypton Excimer Laser Gas is ontworpen voor diverse toepassingen waarbij exacte gascompositie en kalibratiegedrag van essentieel belang zijn:
- Fotolithografie en microfabricage: Als excimerlasmengsel ondersteunt de mengsel KrF- en XeCl-lasersystemen, waardoor nauwkeurige patronering en kalibratietaken in de productie van halfgeleiders mogelijk zijn. Het Kr/Xe/Ne-kalibratiegas is geoptimaliseerd om consistente belichtingskenmerken te behouden en om de laserausgangsparameters te verifiëren.
- Kalibratie van halfgeleiderprocesgassen: De Kr/Xe/Ne-kalibratiemengsel is zeer geschikt voor het kalibreren van sensoren, stromingsregelaars en analytische instrumenten die worden gebruikt bij het beheer van halfgeleiderprocesgassen. De speciaalgasoplossingen van AGEM garanderen betrouwbare referentiestandaarden die essentieel zijn voor procescontrole en optimalisatie van opbrengst.
- Onderzoek en ontwikkeling: Onderzoeks- en ontwikkelingslaboratoria die werken aan laserontwikkeling, optische metrologie en gasfase-diagnostiek kunnen vertrouwen op het excimerlaser-gasmengsel van AGEM voor reproduceerbare experimentele omstandigheden. Het Kr/Xe/Ne-calibratiegas ondersteunt methodenontwikkeling, instrumentvalidatie en vergelijkende studies.
- Testen van optische componenten: De kalibratie van spectroscopische systemen, UV-detectors en andere optische instrumenten profiteert van de nauwkeurige Kr/Xe/Ne-calibratiegasmengsels van AGEM. Het excimerlaser-gasmengsel helpt bij het vaststellen van basissignalen en het verifiëren van de lineariteit van instrumenten.
Innovatie en technische voordelen
AGEM combineert expertise op het gebied van materiaalkunde en innovaties op het gebied van gasmenging om unieke technische voordelen te leveren:
- Geavanceerde mengtechnologie: AGEM gebruikt hoogwaardige massastroom- en mengtechnologieën om exacte mengverhoudingen van excimerlaser-gassen te bereiken. Deze nauwkeurige menging vermindert de variatie tussen batches en levert Kr/Xe/Ne-calibratiegassen die voorspelbaar presteren in gevoelige instrumenten en lasers.
- Robuuste kwaliteitsborging: Elke Kr/Xe/Ne-calibratiegasfles wordt grondig geanalyseerd met behulp van geavanceerde meetapparatuur om samenstelling en onzuiverheidsniveaus te bevestigen. De speciaalgasoplossingen van AGEM worden ondersteund door zorgvuldige documentatie en kwaliteitscontroleprotocollen, ontworpen voor omgevingen waar hoge betrouwbaarheid vereist is.
- Op maat gemaakte oplossingen: AGEM biedt afgestemde Kr/Xe/Ne-calibratiegasmengsels om specifieke klantvereisten te vervullen op het gebied van concentratie, flesformaat en certificering. De excimerlaser-gasmengeling kan worden afgestemd op bepaalde lasersystemen of kalibratiestandaarden, waardoor optimale prestaties worden gegarandeerd in diverse operationele scenario’s.
- Wereldwijde ondersteuning met lokale responsiviteit: AGEM’s O&O-mogelijkheden en wereldwijde distributienetwerk zorgen voor snelle reactie en technische ondersteuning in zes regio’s. Klanten profiteren van lokaal beschikbare levering, terwijl ze tegelijkertijd toegang behouden tot AGEM’s expertise op het gebied van speciaalgassen en consistente productkwaliteit.
Technische specificaties – representatief
AGEM’s kalibratiegas voor krypton-excimerlasers (Xe/Kr/Ne-mengsel) is verkrijgbaar in diverse samenstellingen en flesconfiguraties. Typische kenmerken zijn: geverifieerde concentraties van krypton, xenon en neon in gecontroleerde verhoudingen; onzuiverheidsspecificaties die voldoen aan de eisen van de halfgeleiderindustrie en laboratoria; en gecertificeerde documentatie voor traceerbaarheid. AGEM kan op verzoek exacte analyserapporten en een certificaat van analyse verstrekken.
Aanbevelingen voor gebruik en hantering
- Installeer en gebruik de excimerlaser-gasmengsel volgens de richtlijnen van de fabrikant voor lasersystemen en gasafhandelingsinfrastructuur. - Volg AGEM’s aanbevelingen voor opslag en flesbeheer om de integriteit van het Kr/Xe/Ne-calibratiegas te behouden. - Raadpleeg AGEM’s technische team voor ondersteuning bij kalibratieprotocollen, concentratiekeuze en veiligheidsmaatregelen die zijn afgestemd op uw operationele omgeving.
Waarom AGEM kiezen
AGEM staat in voor onverminderde productexcellentie. Als in Taiwan gevestigd gasfabrikant en O&O-bedrijf dat gespecialiseerd is in speciaalgasoplossingen, combineert AGEM strenge kwaliteitscontrole met diepgaande vakinhoudelijke kennis op het gebied van elektronische, bulk- en kalibratiegassen. Klanten die AGEM kiezen voor hun Kr/Xe/Ne-calibratiebehoeften, krijgen toegang tot hoogzuivere excimerlaser-gasmengsels, betrouwbare documentatie en technische ondersteuning voor halfgeleiderprocesgassen en precisie-optische toepassingen.
Voor organisaties die betrouwbare oplossingen voor excimerlaser-gasmengsels en nauwkeurige kalibratieprestaties van Kr/Xe/Ne nodig hebben, vormt het kryptonexcimerlaser-kalibratiegas van AGEM – een Xe/Kr/Ne-gasmengsel – een hoogwaardige, traceerbare en aanpasbare optie. Ondersteund door de expertise van AGEM op het gebied van speciaalgassen en een strenge kwaliteitsborging, ondersteunt dit excimerlaser-gasmengsel cruciale toepassingen in fotolitografie, kalibratie van procesgassen voor halfgeleiders en onderzoek, waarbij stabiliteit, zuiverheid en documentatie van essentieel belang zijn.
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ