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Mistura Gasosa de Alta Pureza (6N) de CF₄ e O₂ em Equilíbrio com Hidrogênio e Argônio, para Calibração em Gravação a Plasma em Semicondutores
Consulta
Wuhan Air Gas Electronic
Wuhan Air Gas Electronic
Materials Enterprise Co., Ltd
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Sala 02, 10º andar, Unidade 1, Fase I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, China
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Sobre o produto
Destaque
Esta mistura de calibração de ultra-alta pureza 99,9999 % (6N) é uma solução especializada de gás de processo projetada especificamente para atender às rigorosas exigências da gravação a plasma em semicondutores e dos processos avançados de filmes finos. Ao misturar com precisão tetrafluoreto de carbono (CF4) e oxigênio (O2) dentro de uma matriz equilibrada de hidrogênio (H2) e argônio (Ar), esta mistura fornece a sinergia química exata necessária para controlar a seletividade da gravação e a anisotropia do perfil na fabricação subnanométrica. A pureza de grau 6N garante que impurezas metálicas traço e umidade sejam virtualmente inexistentes, prevenindo a contaminação de wafers e melhorando significativamente o rendimento de dispositivos em arquiteturas complexas, como NAND 3D e FinFET. A inclusão de argônio fornece a energia necessária de bombardeamento iônico para a sputtering física, enquanto a proporção H2/O2 é cuidadosamente calibrada para ajustar as camadas de passivação polimérica, assegurando trincheiras de alta relação altura/largura com paredes laterais perfeitamente verticais. Cada cilindro é preparado mediante mistura gravimétrica avançada e submetido à passivação interna proprietária, garantindo que esses componentes reativos permaneçam estáveis e não desviem da concentração especificada ao longo do tempo. Fornecida com um Certificado de Análise (CoA) abrangente e rastreável até padrões internacionais, esta mistura é a escolha ideal para laboratórios de P&D e fábricas de semicondutores de alto volume que exigem consistência absoluta em sua química de plasma. Essa mistura equilibrada "tudo-em-um" simplifica os sistemas de fornecimento de gás, reduzindo o número de linhas individuais de gás necessárias, minimizando assim os possíveis pontos de vazamento e otimizando o processo de calibração dos controladores de fluxo de massa (MFC).
Sobre nós
A AGEM foi fundada em 2008 como fabricante profissional multinacional e prestadora de serviços de equipamentos para gases, com sede em Taiwan, China. Com 16 anos de experiência especializada no setor, sua presença global, excelência na manufatura e portfólio abrangente de produtos consolidaram sua posição como empresa referência no setor de equipamentos para gases. A empresa adota uma estratégia de desenvolvimento globalizado, estabelecendo bases modernas de produção no continente chinês, em Taiwan, China, e na Índia, formando uma rede de produção e serviços que abrange a Ásia e se estende globalmente. Cada base é equipada com linhas de produção inteligentes e equipamentos de testes de alta precisão, permitindo o controle de todo o processo — desde o processamento das matérias-primas até a entrega do produto acabado. Com capacidade anual de produção constantemente entre as líderes do setor, a empresa consegue responder rapidamente às diversas necessidades de seus clientes globais. O negócio central concentra-se em equipamentos nucleares relacionados a gases, abrangendo uma gama completa de produtos, incluindo diversos gases industriais, válvulas especiais para gases, cilindros de alta pressão, cilindros leves de alumínio e redutores de pressão de alta precisão. Esses produtos são amplamente aplicados em setores críticos, tais como química, eletrônica, saúde e energia. Contando com profundo conhecimento técnico, os produtos obtiveram a certificação do Sistema de Gestão da Qualidade ISO 9001 e múltiplas certificações internacionais reconhecidas, incluindo a certificação ASME para equipamentos de alta pressão, a certificação CE-PED para acesso ao mercado da União Europeia e a certificação IECEx para equipamentos à prova de explosão, válida para aplicação global. Indicadores-chave de desempenho, como desempenho de vedação, resistência à pressão e proteção de segurança, atingiram níveis internacionalmente avançados. A empresa prioriza consistentemente a inovação tecnológica como seu principal diferencial competitivo, reunindo uma equipe internacional de P&D e investindo continuamente em avanços tecnológicos.
Perguntas frequentes
Qual é o prazo de entrega para misturas personalizadas com pureza de 99,9999 % (6N)?
Para gases de pureza ultra-alta (UHP), como CF4/O2, o prazo de entrega típico é de 10 a 15 dias úteis. Isso inclui a mistura precisa e testes de estabilidade em múltiplos estágios para garantir a pureza na classe 6N e a exatidão da concentração.
Como vocês garantem a exatidão da concentração da mistura CF4/O2?
Utilizamos o método gravimétrico (pesagem de alta precisão) durante o enchimento, que é a técnica de mistura mais precisa. Cada cilindro é analisado por Cromatografia Gasosa (GC) e acompanha um Certificado de Análise (COA) rastreável ao NIST ou a padrões nacionais.
Essa mistura é estável, considerando que contém tanto Hidrogênio (H2) quanto Oxigênio (O2)?
Sim. Seguimos rigorosamente os protocolos de segurança para mistura, mantendo a concentração de componentes inflamáveis e oxidantes dentro dos limites seguros ou equilibrando-os com Argônio (Ar) para assegurar estabilidade química e evitar reações perigosas no interior do cilindro.
Que tipo de cilindro e válvula são utilizados para esse gás para semicondutores?
Utilizamos cilindros de liga de alumínio com passivação interna ou cilindros de aço inoxidável polido para evitar adsorção na superfície. Para gases de grau 6N, equipamo-los normalmente com válvulas de aço inoxidável DISS (Sistema Digital Inteligente de Programação) 660 ou SS 316L, garantindo vazamento zero e prevenindo contaminação.
Quais são os requisitos de armazenamento para esta mistura gasosa?
Os cilindros devem ser armazenados em local fresco, seco e bem ventilado, afastado da luz solar direta e de fontes de calor (temperatura < 50 °C). Certifique-se de que os cilindros estejam fixados na posição vertical para evitar quedas.
Vocês oferecem envio internacional para gases perigosos?
Sim, especializamo-nos na logística de mercadorias perigosas Classe 2. Fornecemos toda a documentação necessária, incluindo FISPQ (Ficha de Informações de Segurança de Produtos Químicos), embalagem certificada pela ONU e declarações DG (Mercadorias Perigosas) para transporte marítimo ou aéreo.
