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Nome do Produto: |
Sulfeto de hexafluoreto |
Pureza: |
99,9-99,999% |
Número CAS |
2551-62-4 |
Número EINECS |
219-854-2 |
Fórmula molecular: |
F6S |
Massa molar |
2551-62-4.mol |
Nº da ONU: |
1080 |
Classe de Perigo |
2.2 |
Aparição: |
incolor |
Odor: |
gás Incolor |
Item de inspeção |
unidade |
Purificação |
|
SF6 |
% |
≥99,999 |
≥99,99 |
O2+Ar |
ppmw |
≤ 2,0 |
≤10 |
N2 |
ppmw |
≤3.0 |
≤40 |
CF4 |
ppmw |
≤0.5 |
≤ 30 |
H2O |
ppmw |
≤ 2,0 |
≤10 |
HF |
ppmw |
≤40 |
≤ 0,3 |
THC(CH4) |
ppmw |
≤0.1 |
≤1.0 |
CO2 |
ppmw |
≤0.5 |
≤6 |
Co |
ppmw |
≤0.5 |
≤2 |
Aplicação:
Semicondutores |
Gravação a plasma. O produto de gravação/descomposição do plasma de flúor pode realizar a gravação |
||||||
Medicina |
Anestesia, reparos de descolamento de retina, imagens por ultrassom |
||||||
Equipamento elétrico |
Disjuntores de alta tensão e equipamentos de comutação isolados a gás |
||||||
Sistemas de micro-ondas de alta potência |
Pressuriza dutos de onda, Isola o duto de onda, impedindo arcos internos |

Tamanho da embalagem |
cilindro de 40Ltr |
cilindro de 47Ltr |
cilindro de 50Ltr |
||
Conteúdo de Preenchimento/Cil |
50kg |
52 kg |
55-60kg |
||
QTD em Contêiner de 20 pés |
260Cyl |
260Cyl |
260Cyl |
||
Válvula |
CGA580, CGA590, QF-2C |







