Amestec de gaze cu puritate ridicată 6N CF4 și O2 în balans de hidrogen și argon pentru calibrarea gravurii cu plasmă în industria semiconductorilor

Interogare

Prezentare generală
Interogare
Produse conexe

Despre produs

Subliniază

Această amestec de calibrare cu puritate ultraînaltă de 99,9999 % (6N) este o soluție specializată de gaze pentru procese, concepută în mod specific pentru cerințele riguroase ale gravării prin plasmă a semiconductorilor și ale proceselor avansate de depunere a straturilor subțiri. Prin amestecarea precisă a tetrafluorurii de carbon (CF4) și a oxigenului (O2) într-o matrice echilibrată de hidrogen (H2) și argon (Ar), acest amestec oferă sinergia chimică exactă necesară pentru controlul selectivității gravării și al anizotropiei profilului în fabricarea la scară subnanometrică. Puritatea de grad 6N asigură că impuritățile metalice în urme și umiditatea sunt practic inexistente, prevenind contaminarea wafere-lor și îmbunătățind semnificativ randamentul dispozitivelor pentru arhitecturi complexe, cum ar fi 3D NAND și FinFET. Prezența argonului furnizează energia necesară bombardamentului ionilor pentru sputterarea fizică, în timp ce raportul dintre hidrogen și oxigen este calibrat cu mare precizie pentru a regla straturile de pasivare polimerice, asigurând canale cu raport înalt de înălțime/lățime și pereți laterali perfect verticali. Fiecare cilindru este pregătit folosind amestecarea gravimetrică avansată și este supus unei pasivizări interne proprietare, pentru a garanta stabilitatea acestor componente reactive și pentru a evita orice deviere de la concentrația specificată pe parcursul timpului. Furnizat cu un Certificat complet de Analiză (CoA) și trazabil la standarde internaționale, acest amestec reprezintă alegerea ideală pentru laboratoarele de cercetare-dezvoltare (R&D) și pentru fabricile de semiconductori de înalt volum care necesită o consistență absolută în chimia plasmei. Acest amestec „all-in-one” echilibrat simplifică sistemele de livrare a gazelor, reducând numărul de conducte individuale de gaz necesare, ceea ce minimizează punctele potențiale de scurgere și facilitează procesul de calibrare a controlului de debit masic (MFC).

Despre noi

AGEM a fost înființată în 2008 ca producător și furnizor de servicii profesionist, de nivel multinational, de echipamente pentru gaze, cu sediul central în Taiwan, China. Cu 16 ani de experiență specializată în domeniu, prezența sa globală, arta superioară a fabricației și portofoliul complet de produse i-au consolidat statutul de întreprindere de referință în sectorul echipamentelor pentru gaze. Compania își urmărește o strategie de dezvoltare globală, înființând baze moderne de producție în China continentală, Taiwan, China și India, formând astfel o rețea de producție și servicii care acoperă Asia și se extinde la nivel global. Fiecare bază este dotată cu linii de producție inteligente și echipamente de testare de precizie, permițând un control pe întregul proces, de la prelucrarea materiilor prime până la livrarea produselor finite. Având o capacitate anuală de producție care se menține constant printre liderii din industrie, compania poate răspunde rapid nevoilor diverse ale clienților săi globali. Activitatea de bază se concentrează pe echipamentele centrale legate de gaze, cuprinzând un spectru complet de produse, inclusiv diverse gaze industriale, supape speciale pentru gaze, butelii de înaltă presiune, butelii ușoare din aluminiu și reducători de presiune de înaltă precizie. Aceste produse sunt utilizate pe scară largă în sectoare esențiale, cum ar fi cel chimic, electronic, medical și energetic. Beneficiind de o expertiză tehnică profundă, produsele au obținut certificarea ISO9001 privind Sistemul de Management al Calității și mai multe certificate internaționale de autoritate, inclusiv certificarea ASME pentru echipamente de înaltă presiune, certificarea CE-PED pentru accesul pe piața UE și certificarea IECEx pentru echipamente antiexplozive, valabilă la nivel global. Indicatorii cheie de performanță, cum ar fi performanța de etanșare, rezistența la presiune și protecția în domeniul siguranței, au atins niveluri internațional avansate. Compania acordă în mod constant prioritate inovației tehnologice ca principală forță competitivă, constituind o echipă internațională de cercetare și dezvoltare și investind continuu în progrese tehnologice.

Întrebări frecvente

Care este termenul de livrare pentru amestecurile personalizate cu puritate 99,9999 % (6N)?

Pentru gaze de puritate ultraînaltă (UHP), cum ar fi CF4/O2, termenul de livrare tipic este de 10–15 zile lucrătoare. Acesta include amestecarea precisă și testarea de stabilitate în mai multe etape, pentru a asigura atât puritatea de grad 6N, cât și precizia concentrației.

Cum garantați precizia concentrației amestecului CF4/O2?

Folosim metoda gravimetrică (cântărire de înaltă precizie) în timpul umplerii, care este cea mai precisă tehnică de amestecare. Fiecare butelie este analizată prin cromatografie în fază gazoasă (GC) și este însoțită de un Certificat de Analiză (COA) trazabil la standardele NIST sau naționale.

Este acest amestec stabil, având în vedere că conține atât hidrogen (H2), cât și oxigen (O2)?

Da. Urmeazăm strict protocoalele de siguranță privind amestecarea, menținând concentrația componentelor inflamabile și oxidante în limite sigure sau echilibrându-le cu argon (Ar), pentru a asigura stabilitatea chimică și a preveni orice reacții periculoase în interiorul buteliei.

Ce tip de butelie și ce tip de robinet sunt utilizate pentru acest gaz semiconductor?

Folosim cilindri din aliaj de aluminiu pasivat intern sau cilindri din oțel inoxidabil lustruit pentru a preveni adsorbția la suprafață. Pentru gazele de calitate 6N, echipăm de obicei cu supape DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 sau din oțel inoxidabil SS 316L, pentru a asigura etanșeitatea totală și a preveni contaminarea.

Care sunt cerințele de stocare pentru acest amestec de gaze?

Cilindrii trebuie stocați într-un loc răcoros, uscat și bine ventilat, departe de expunerea directă la soare și de sursele de căldură (temperatură < 50° C). Asigurați-vă că cilindrii sunt fixați în poziție verticală pentru a preveni căderea.

Oferiți livrare internațională pentru gaze periculoase?

Da, ne specializăm în logistica mărfurilor periculoase de Clasa 2. Ofertăm documentație completă, inclusiv FISA (Ficha de Informare privind Siguranța), ambalaje certificate UN și declarații DG (Mărfuri Periculoase) pentru transport maritim sau aerian.