Polovodivky sú vo všetkom, od vašich mobilných telefónov a osobných počítačov po akýkoľvek iný typ elektronickej hračky. Musia byť vyrobené cez špecifický proces a použiť množstvo plynov. Následujúci text popisuje prehľad o rôznych typech plynov, ktoré používa len jedna priemyselná spoločnosť, a ako tieto vysoko technologické látky slúžia na výrobu vecí, od ktorých skutočne závisíme. Rôzne typy plynov používané v priemyselnom výrobe polovodiviek Polovodivky sa tvoria pomocou komplexného radu procesov, ako je etčenie, nanesenie vrstiev a čistenie. Rôzne vlastnosti a aplikácie týchto plynov sa líšia podľa konkrétnych použití alebo atmosférických podmienok, či už ide o dodávateľov priemyselných plynov, dodávateľov špeciálnych plynov pre polovodivky, alebo v laboratóriách, kde poskytujú široké spektrum vhodné pre všetky s kritickými vlastnosťami potrebnými na splnenie úlohy uspokojivo. Dnes, v tejto súvislosti, predstavujeme niektoré z hlavných plynov používaných v procesoch výroby materiálov. Silán SiH4: Tento plyn je bezbarvý a tiež sa nachádza ako významný silíciový elektronický materiál. Je známy tým, že je veľmi dynamický a rýchlo reaguje s kyslíkom a vodou na vytvorenie oxidu sílicu SiO a vodíka. Silán sa dá použiť na umiestnenie silíciových materiálov, ako je SiNx, buď rýchlo, alebo pri relatívne nízkej teplote. Prvkový dusík N2: Tento plyn je neaktívny a bráni oxidácii. Je nepretržite vyrábany a potrebný na vyčistenie zariadenia v údržbnej fáze na odstránenie návalu O2 a vlhkosti. Tento plyn sa tiež používa na podporu a dopravu činností iných plynov, ako nosný plyn pri nanesení niklu parom a plazmovom posilovanom nanesovaní niklu parom.
Vodík (H2) - Vodík sa používa ako redukujúci plyn odstránením nepožadovaných látkových znečistení. V výrobe polovodičov je dôležitým krokom vo viacerých procesoch, ako sú anealing a čistenie. Okrem toho vytvára metalické brány pre výrobu pokročilých CMOS zariadení.
Stabilný kyslík (O2/O) - zadajte listy a špecifické doby dodania atď. Plyn kyslík sa pri používaní v mnohých plazmových procesoch, ako sú etching a strip/ash o ]]> slúži tiež ako reaktant na oxidáciu kovových povrchov na SiOx alebo passivating kovových povrchov cez oxidáciu.
Chlór (Cl2): Chlór je žltavý alebo červenohnedý fúmujuči, nekovy s ostrou vôňou v kapalnom stave. Tento plyn, ktorý je veľmi reaktívny s kovovými materiálmi na báze kovov, oxidom kovu a mnohými kovmi, ako je hliník, má široké aplikácie v etchingu polovodičových štruktúr.
Skutočnosť, že sa pri výrobe polovodičov používajú plyny, priniesla vznik vysokoquality elektroniky, ako produkty zvyšujúcich sa schopností výroby polovodičov. Plyny majú tiež niekoľko významných použití a výhod v priemysle polovodičov.
Plyny ako silán, amóniak a dusík sa používajú na nanosenie oxidu alebo nitridu kremíku, ktoré budú predstavovať tenké filmy polovodičov. Nanosenie.
Etčenie: Používa sa na vyberové odstránenie nežiaduchých materiálov alebo vzorov z polovodičov pomocou plynov ako chlor, fluor a kyslík.
Procesné plyny: Hydrogen a dusík sú potrebné na prevádzku oboru čistiacích zariadení pre polovodiče (purifikácia) s cieľom znížiť znečistenia, ktoré môžu ovplyvniť výkon zariadení.
Vyplachovanie: Jednou z jeho hlavných úloh je, že slúži ako vyplachovací plyn počas údržby zariadení, aby sa odstránil kyslík a vlhkosť zo systému a tak udržal materiály v sústave čisté.
Následkom toho nevidí koniec pátrania po stále sofistikovanejších materiáloch a procesoch, keď sa rozvíja polovodičová technológia. Vylepšené plyny sú nevyhnutné pre nadchádzajúce pokroky v oblasti polovodičov. Tu sú niektoré z týchto vysoko technologických plynov používaných v výrobe polovodičov:
Fluorovodíky: Dôvodom, prečo sú fluorované plyny vhodné na vykonávanie moderných dizajnov obvodu, je ten, že reagujú agresívne a vybratene k etčaniu (odstraňovanie častíc) a depozícii (pridávanie častí).
CO2 - Inertný plyn používaný pre aplikácie ako je špeciálne naspäť, CVD a čistenie.
Hoci by to mohlo byť vnímavané ako krok dopredu v výrobe polovodičov, iba kvôli novým dodávkovým systémom, ktoré sú dnes k dispozícii. Výrobci neustále hľadajú spôsoby, ako zvýšiť účinnosť, znížiť odpad a zvýšiť bezpečnosť. Niektoré z najnovších pokročilých plynov a chemických dodávkových systémov sú uvedené tu hneď pod.
Systém dodávky plynov (pre plyny, ktoré presne riadia malé množstvá plynových / kapalných chemikálií potrebných v polovodičoch)
Zdroj: Pokročilé systémy na mokré čištanie veľkosti ozoonovej plazmy a peroxidu draselného pre najefektívnejšie metódy na odstránenie nepožadovaných látok z materiálu polovodičov.
Polovodičové plyny môžu stimulovať požiadavku na efektívnejšiu elektroniku, no tiež predstavujú nebezpečné environmentálne hrozby. Existujú niektoré programy na zníženie odpadu a recyklovanie plynu a iné veci v rámci polovodičovej priemyselnej štruktúry. Toto sa nesmie líšiť od toho, ako výrobca pracuje na zmierňovaní environmentálnych obáv spojených s polovodičovými plynm
Prvá a najpriamejšia je Redukcia odpadu -> Výrobci sú stále na vyhľadávaní spôsobov na zníženie množstva odpadu vyprodukovaného počas výroby polovodičov. Veci ako zníženie množstiev chemických látok a plynov používaných, ich recyklovanie tam, kde je to možné, alebo tvorba uzavretých cyklov.
Re-cyklovanie: Cyklovanie plynov a chemikálií bude ešte jednou kľúčovou metódou, ktorá pomáha znížiť environmentálne dôsledky. Vznik odpadu môže byť oveľa jednoduchšie minimalizovaný výrobcami, ktorí umožňujú získavanie, čistenie a recyklovanie plynov alebo chemikálií použitých počas výroby.
Zhrnutie: Plyn je nevyhnutný pre výrobu niektorých z najlepších elektronických zariadení. Výrobci sú oddaní vylepšovaniu jak pokročilých plynov, tak a tiež riešení dodávok, ktoré podporujú optimálne procesy, zníženie odpadu a bezpečnosť komunity. Polovodičový sektor sa tiež bude pohybovať smerom k spotrebe plynu - a celkový environmentálny otisk týchto plynov spustil v posledných rokoch mnoho kampaní na podporu udržateľnosti.
AGEM poznáva, že každý zákazník vyžaduje rôzne veci v oblasti špeciálnych plynov, ako sú kalibračné plyny. Ponúkame prispôsobené riešenia, ktoré spĺňajú špecifické potreby našich klientov. Ak potrebujete určitú mieru čistoty, veľkosť valca alebo balnicke options, AGEM môže spolupracovať s vami na prispôsobenie svojich produktov presným požiadavkám. Tento stupeň prispôsobenia zabezpečí, že získate najlepší kalibračný plynový valc na vaše aplikácie, čo zvýši celkovú účinnosť a výkon. Ponuka AGEM nie je obmedzená len na kalibračné plyny. Katalóg AGEM obsahuje uhľovodíky, halokarbonské plyny, chémicky plyny a redké plyny. Môžete mať istotu, že AGEM má presný druh plynu, ktorý potrebujete.
Utečky v plynoch používaných v výrobe polovodičov je veľkým problémom. Skúšky na utiek testujeme aspoň päťkrát, aby sa zabezpečila kvalita. Náš spoločnosť ponúka kompletnú výrobnú a testovaciu linku a aplikáciu prísneho riadenia kvality a dokonalého systému služieb po predaji, aby sa zabezpečilo, že zákazníci dostanú produkty najvyššej kvality a široké spektrum služieb. Naše oddanie poskytovaniu vynikajúcich zákazníckych služieb a vysoké kvality je niečím, čo nás hrdí. Náš dovedný tím je vždy pri ruke, aby vám pomohol a zabezpečil, aby ste dostali najlepšie služby ku vašemu úplnému spokojnosti. Náš servis 24x7 nás odlišuje. Som tu pre vás celý deň, každý deň, po celý čas.
AGEM ponúka široký výber kryogenných válcov na ochlazovanie nadmerného tekutého a plynového stredia ako je kapalný kyslík a argon. Dokážu tiež uchovávať oxid uhličitý, dusík a smiešky dusíku. Používame importované ventiláče a nástroje pre zabezpečenie maximálneho výkonu. Použite zariadenia na úsporu plynu a dajte prednosť použitiu prekmitu plynu v fázovom priestore. Dvojitý bezpečnostný ventil poskytuje pevnú istotu pre bezpečné fungovanie. Ponúkame široký výber kryogenných válcov, ktoré dokážu obsahovať nadmerné tekutiny využívané v každodennom živote. Plná objem: 80L/100L/175L/195L/210L/232L/410L/500L/1000L Pracovný tlak: 1.37MPa/2.3MPa/2.88MPa/3.45MPa Návrhová teplota vnútorného zberníka: +196 Návrhová teplota vonkajšieho zberníka: 20oC+50oC Izolácia: Vakuum s viacslovnou obalovanou Ukladanie médium: LO2, LN2, LArLCO2, LNG
AGEM pôsobí na Tajwane už viac než 25 rokov. Máme rozsiahle odborné vedomosti z oblasti výskumu a vývoja a môžeme ponúknuť jedinečné vedomosti v oblasti špeciálnych, hromadných a kalibračných plynov v rámci 6 rôznych regiónov. Tajvan - mesto Kaohsiung (hlavné stanice, centr výskumu a vývoja) India - Mumbai, Vadodara, Coimbatore, Pune, Bengaluru, Delhi, Čína - Wuhan, Stredný východ - Dubaj (Spojené arabské emiráty) a Kráľovstvo Saúdskej Arábie, Spojené kráľovstvo - Cambridge. Riešenia pre plyny, ktoré ponúkame, zahŕňajú technické poradenstvo, sestavovanie a spúšťanie do prevádzky, testovanie vzoriek, balenie a dopravu, dizajn čiarok a výrobu.
AIR GAS ELECTRONIC MATERIALS (AGEM) je závod na výrobu plynov a výskum a vývoj, ktorý sa nachádza na Tajwane, s nezrovnateľnou expertizou v oblasti špeciálnych, elektronickej, hromadnej a kalibračnej plynov po celom svete v 6 rôznych regiónoch
Miestnosť 2&3, 10. poschodie, jednotka 1, fáza I, Huazhong International Plaza, Zhuyeshan, Wuhan, Hubei, Čína
Copyright © Air Gas Electronic Materials Enterprise Co., Ltd. Zásady ochrany osobných údajov
EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ