- Prehľad
- Dotaz
- Súvisiace produkty
Na polovodičový proces plazmatického nanesenia plynu a etčika 99.9% C318 Perfluorocyclobutan Chladivý plyn C4F8
V produkci polovodičových materiálů a zariadení slúži oktafluorocyclobutan ako nánosný plyn a etčik. Taktiež bol vyšetrovaný ako chladivý plyn v špecializovaných aplikáciách, ako náhrada za ozón rozrušujúce chlorofluorukleslenky. Využitím jeho volatile a chemickú inertnosťou môže byť oktafluorocyclobutan nájdený v niektorých aerosolizovaných jedlach. Je uvedený v Kodeksu Alimentarius pod číslom 946 (E946 pre EÚ). Vyšetrová sa ako možná náhrada za šestfluorid síry ako dielektrický plyn.