- Prehľad
- Dotaz
- Súvisiace produkty
Informácie o produkte:
Tetrachlorid uhlíka je kryogénny chladivý agent, ktorý je relatívne neaktívny v normálnych podmienkach, vytlačovač kyslíka a tiež sa používa v rôznych procesoch etčenia pľatov.
CF4 je momentálne najčastejšie používaný plyn na plazmové etčenie v mikroelektronike. Môže sa široko uplatňovať pri etčení tenkých filmových materiálov ako je kremnica, oxid kremna, nitrid kremna, fosforanokremičitá sklo a wolfrám, a tiež pri čistení povrchu elektrónickych zariadení a solárnych buniek. Ďalej sa široko používa v produkcií laserovej technológie, fázovom izolovaní plynu, nízkej teplotnej chladničke, detekcii únikov, ovládaní polohy vesmírnych raket a ako dezkontaminačný agens v produkcii tlačených obvodov.
Z dôvodu chemickej stability tetrafluoridu uhlíka sa môže tetrafluorid uhlíka používať v hutníckej výrobe a v plastovej prprene