EN
AR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
TL
ID
SK
SL
UK
VI
TH
TR
AF
MS
SW
GA
CY
BE
KA
LO
LA
MI
MR
MN
NE
UZ
Vysoká čistota Plyny pre elektroniku Monofluoromethan 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl Fluorid CH3F
- Prehľad
- Dotaz
- Súvisiace produkty
Vysoká čistota Plyny pre elektroniku Monofluoromethan 99.999% FC41 UN 2454 Halocarbon 41 Methyl Fluorid CH3F
AGEM vyrobujú a predávajú plyn Monofluoromethan s vysokou čistotou (CH3F), ktorý sa má používať v procese výroby polovodičových čipov.
Fluoromethan, tiež známy ako methyl fluoride, Freon 41, Halocarbon-41 a HFC-41, je nezátoxický, kapalnosťou činený plyn pri štandardnej teplote a tlaku. Skladá sa z uhlíka, vodíka a fluoru. Názov plynu vychádza z toho, že je to metán (CH4) s fluoratom namiesto jedného z vodíkových atomov. Používa sa v výrobe polovodičov ako etčivý plyn v plazmových etčiacich reaktoroch.
Fluoromethan, viac obvykle nazývaný methyl fluoride (MeF) alebo Halocarbon 41 je nezátoxický kapalnosťou činený plyn používaný v výrobe polovodičových a elektronických produktov. V prítomnosti RF poľa sa rozpadá na fluorové iony pre vybrané etčenie filmov zložených z kovosídlov.
APLIKÁCIA :CH3F je špeciálny plyn používaný v výrobnom procese čipov polovodičov na mikromachinovanie nitridovej vrstvy etčením. CH3F sa využíva hlavne pri výrobe čipov polovodičových pamäťov, vrátane NAND flash a DRAM, ktoré vyžadujú technológiu mikromachinovania. Pretože jeho etčivá výbera je vyššia ako u iných plynov, je CH3F vhodný pre mikromachinovanie viacvrstvovej štruktúry 3D NAND flash. Dopyt po CH3F sa posledními dňami zvyšuje kvôli spusteniu mnohých linií na výrobu 3D NAND flash.
