Vysokopresná zmes plynu CF₄ a O₂ čistoty 6N v základni vodíka a argónu pre kalibráciu plazmového leptania v polovodičovom priemysle

Dopyt

Prehľad
Dopyt
Súvisiace produkty

O výrobku

Vyzdvihnúť

Táto ultračistá kalibračná zmes s čistotou 99,9999 % (6N) je špecializované technologické plynové riešenie navrhnuté špeciálne pre náročné požiadavky plazmového leptania polovodičov a pokročilých tenkofilmových procesov. Presným zmiešaním tetrafluórmethánu (CF4) a kyslíka (O2) v vyváženej matrici vodíka (H2) a argónu (Ar) táto zmes poskytuje presnú chemickú synergiku potrebnú na kontrolu selektivity leptania a anizotropie profilu pri výrobe podnanometrových štruktúr. Čistota triedy 6N zabezpečuje takmer úplnú neprítomnosť stopových kovových nečistôt a vlhkosti, čím sa zabráni kontaminácii platní a významne sa zvyšuje výťažok zariadení pri komplexných architektúrach, ako sú 3D NAND a FinFET. Prítomnosť argónu poskytuje potrebnú energiu iónovej bombardovacej zložky pre fyzikálne sputterovanie, zatiaľ čo pomer vodíka ku kyslíku je dôsledne kalibrovaný na ladenie polymérnych pasivačných vrstiev, čo zaisťuje vysokopomerové drážky s dokonale zvislými stenami. Každá tlaková nádoba sa pripravuje pomocou pokročilého gravimetrického zmiešavania a podlieha vlastnej internej pasivizácii, aby sa zaručila stabilita týchto reaktívnych zložiek a ich koncentrácia sa v čase nemenila. Táto zmes sa dodáva s komplexným osvedčením o analýze (CoA) a je stopovateľná do medzinárodných noriem. Je ideálnou voľbou pre výskumné a vývojové laboratóriá a vysokorozsahové polovodičové výrobné závody, ktoré vyžadujú absolútnu konzistenciu svojej plazmovej chémie. Táto „všetko-v-jednom“ vyvážená zmes zjednodušuje systémy dodávky plynov znížením počtu jednotlivých plynových prívodov, čím sa minimalizujú potenciálne miesta úniku a zefektívni sa kalibrácia hmotnostných prietokových regulátorov (MFC).

O nás

AGEM bola založená v roku 2008 ako medzinárodný profesionálny výrobca a poskytovateľ služieb v oblasti plynových zariadení so sídlom na Taiwane, Čína. So 16-ročnou zameranou odbornou skúsenosťou v odvetví sa jej globálna prítomnosť, vynikajúca výrobná remeselnosť a komplexný sortiment výrobkov upevnili jej postavenie ako vzorového podniku v odvetví plynových zariadení. Spoločnosť sa riadi stratégiou globálneho rozvoja a založila moderné výrobné základne na čínskom kontinente, na Taiwane, Čína, a v Indii, čím vytvorila výrobnú a servisnú sieť pokrývajúcu Áziu a rozširujúcu sa do celého sveta. Každá základňa je vybavená inteligentnými výrobnými linkami a presnými testovacími zariadeniami, čo umožňuje komplexnú kontrolu celého výrobného procesu – od spracovania surovín až po dodanie hotového výrobku. S ročnou výrobnou kapacitou, ktorá sa trvalo radí medzi najvyššie v odvetví, spoločnosť dokáže rýchlo reagovať na rozmanité potreby svojich zákazníkov po celom svete. Základnou činnosťou je výroba kľúčových plynových zariadení, ktorá zahŕňa komplexný sortiment výrobkov vrátane rôznych priemyselných plynov, špeciálnych plynových ventilov, vysokotlakových tlakových nádob, ľahkých hliníkových tlakových nádob a vysokopresných reduktorov tlaku. Tieto výrobky sa široko používajú v kritických odvetviach, ako sú chemický priemysel, elektronika, zdravotníctvo a energetika. Využitím hlbokých technických znalostí získali výrobky certifikáciu systému manažmentu kvality ISO 9001 a viaceré autoritatívne medzinárodné certifikácie, vrátane certifikácie ASME pre vysokotlakové zariadenia, certifikácie CE-PED pre prístup na európsky trh a ex-zabezpečenej certifikácie IECEx pre globálne použitie. Kľúčové ukazovatele výkonu, ako je tesniaca schopnosť, odolnosť voči tlaku a bezpečnostné ochranné funkcie, dosiahli medzinárodne pokročilé úrovne. Spoločnosť si stále kládla dôraz na technologickú inováciu ako na svoju základnú konkurenčnú výhodu a zformovala medzinárodný výskumný a vývojový tím, ktorý neustále investuje do technologických prelomov.

Často kladené otázky

Aká je doba čakania na vlastné zmesi s čistotou 99,9999 % (6N)?

Pre plyn ultra vysoké čistoty (UHP), ako je CF4/O2, je typická doba čakania 10–15 pracovných dní. Toto zahŕňa presné zmiešavanie a viacstupňové testovanie stability, aby sa zabezpečila čistota triedy 6N a presnosť koncentrácie.

Ako zabezpečujete presnosť koncentrácie zmesi CF4/O2?

Počas plnenia používame gravimetrickú metódu (vysokopresné váženie), ktorá je najpresnejšou technikou zmiešavania. Každá fľaša sa analyzuje pomocou plynovej chromatografie (GC) a dodáva sa s certifikátom analýzy (COA), ktorý je sledovateľný do referenčných štandardov NIST alebo národných štandardov.

Je táto zmes stabilná, keď obsahuje aj vodík (H2) aj kyslík (O2)?

Áno. Prísne dodržiavame bezpečnostné protokoly pre zmiešavanie, pri ktorých sa koncentrácia horľavých a oxidačných zložiek udržiava v bezpečných limitoch alebo sa vyváži argónom (Ar), aby sa zabezpečila chemická stabilita a zabránilo sa akýmkoľvek nebezpečným reakciám vo vnútri fľaše.

Aký typ fľaše a ventilu sa používa pre tento polovodičový plyn?

Na zabránenie adsorpcii na povrchu používame vnútorne pasivované valce z hliníkovej zliatiny alebo leštené nerezové oceľové valce. Pre plyny triedy 6N ich zvyčajne vybavujeme uzávermi DISS (Digital Intelligent Scheduling System) 660 alebo z nerezovej ocele SS 316L, aby sme zabezpečili nulový únik a predišli kontaminácii.

Aké sú požiadavky na skladovanie tejto plynovej zmesi?

Valce je potrebné ukladať v chladnom, suchom a dobre vetranom priestore, mimo priameho slnečného svetla a zdrojov tepla (teplota < 50 °C). Uistite sa, že sú valce pevne upevnené v zvislej polohe, aby nedošlo k ich pádu.

Poskytujete medzinárodné prepravné služby pre nebezpečné plyny?

Áno, špecializujeme sa na logistiku nebezpečných tovarov triedy 2. Poskytujeme kompletnú dokumentáciu vrátane MSDS (Material Safety Data Sheet), balenia certifikovaného podľa štandardov OSN a vyhlásení o nebezpečných tovaroch (DG – Dangerous Goods) pre námornú alebo leteckú prepravu.