Aké stupne čistoty C4F6 ponúkate
Ponúkame C4F6 pre polovodičový priemysel, vrátane stupňa 4N (99,99 %), 4,5N (99,995 %) a 5N (99,999 %). Vyššie stupne čistoty sú k dispozícii na vyžiadanie.
Aké sú typické aplikácie C4F6
C4F6 sa predovšetkým používa pri plazmovom leptaní v polovodičovom priemysle, leptaní dielektrických vrstiev, leptaní oxidov, leptaní nízkok dielektrických materiálov (low-k), výrobe MEMS a výrobe pokročilých integrovaných obvodov.
Aké veľkosti tlakových nádob sú dostupné
Štandardné balenie zahŕňa valce s objemom 47 l, 10 l, 8 l a špeciálne valce podľa požiadavky zákazníka. Pre polovodičové aplikácie je k dispozícii elektropolovanie vnútorného povrchu valca.
Aký je typický tlak plnenia a hmotnosť plnenia
Typické parametre plnenia zahŕňajú tlak plnenia až 13–15 MPa a hmotnosť plnenia približne 20–25 kg do valca s objemom 47 l. Presná hmotnosť plnenia závisí od stupňa čistoty a požiadaviek zákazníka.
Aký typ uzáveru sa používa pre valce s C4F6
Medzi bežné typy ventilov patria CGA 716, DISS 716 a špeciálne ventily pre polovodičový priemysel. Výber ventilov je možné prispôsobiť na základe regionálnych noriem.
Ako zabezpečujete čistotu a stabilitu plynov?
Zabezpečujeme kvalitu prostredníctvom pokročilých systémov čistenia plynov, technológií odstraňovania vlhkosti a kyslíka, plynovej chromatografie (GC) a certifikátu analýzy (COA), ktorý sa dodáva s každou tlakovou nádobou.
Aká je doba dodania?
Bežná doba dodania je 15 až 25 dní po prijatí zálohy. Rýchlejšia dodávka je možná v závislosti od dostupnosti skladom a pripravenosti tlakových nádob.
Akým certifikáciám vyhovujú vaše valce?
Naše valce vyhovujú štandardom ISO 9809, DOT 3AA, TPED a EN. Tretia strana môže vykonať kontrolu na žiadosť.